。
?
3.2《 生产环境设计要!求
—
3.》2.1 洁净室(!区,)的空?气洁:净度等级应按现行】国家标准洁净—厂房设计《规范GB 500】73的有关规定执行!
洁净】室(区)设计时空】气洁净度等》级所处?状态(空态》。、,静态、?动态)应与》业主:协,商确:。定
:
:
3《.2.2 各种电!子产品生产环—境,的空气?洁净度等级应根据】生产工艺要求—确定;无《要求时可《按本规范附录—A确定
《
3.2】。.3 洁净室(】区)的温度和—相对湿度《应按表?3.2 3确定
!
—
,。
:
:
》3.:2.4 各类电】。子产品生产所需纯】水水质、气体及【化学品的《纯度:和杂质含量等应根】据生产工艺要求确】。定
3】.2.5 单向】。流和:混合流洁《。净,室(区)《的,噪声级(空态—),不应:大,于65d《B(A)非单向流】洁净室(区)的【噪声级(空态)不】应大于?60d?。B,(,A)
【。
3.2.6 】洁净室(区》)的微振动控制设】计应满足精密设【备、仪器的振—动容许值要求无要求!时可按?本规范附录》C或根据其工作特性!确定
《