3.—。2 生产环—境设计要《求
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3?.2.1 洁净室!(区)的空》气洁净度等级应【按现行国《家,标准洁净厂房设计规!范GB 50—073的有》关规定执行》
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洁净室(区【)设计时空气洁净】度等级所处状态(】空态、静态、动【态)应与业主协【商,。确定
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3.》2.2? 各种电子产品】。生产环境的空—气洁净?度等级应根》据生产工艺要求确】定;无?要求时可按本—规范附录A确定
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3.2《.3: 洁净《室,(区)的温度—和相对湿度应—按,表3.2 3—确定
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3.2《.,4 各类电子【产品:生产所需纯水水质、!气体:及化学品的》纯度和杂质含—。量等应根《。据,生产工艺《。。要求确定
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3.2.5 】单向流和混合—流,洁净:室(区)的》噪声级(《空态)不应大—。于65d《B(A)非单向流】洁净室(区)的噪】声级(空《态,。)不应大于6—0dB(《A):
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3.2【.6 洁》净室(?区)的?微振动控《制设计应满足精【密设备、《仪器的振动容许值】要求无要《求时可按本规范附录!C,或根据其工作—。特性确定
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