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3.—。2 生产》环境设计要求—
【
3.2.》1 洁净室(区】)的空?气洁净度等级应按】现行国家标》准洁净厂房设—计规范GB》 50073的【有关规定执行—
洁【。净室:(区)设计时空【气洁净度等》级所处状态(空【态、:静态、动《态)应与业》主协商确《定
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3.?2.2? , 各种?电子:产,品生产环境的空气洁!净度等级应根据【生,产工艺要求确定【;无要?求时可按本规范【附录A确《定
【3.2.3 洁】净室(区)的—温度和相对湿度应按!表3.?。2 3确《。定,。
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《
3—.2.4 》 各类电子产—品生产所需纯水【水,质、气体《及,化学品?的纯度和《杂,质含量等应》根,据生产工《艺要求?确定
《
3.—2.5 单向流和!混合流洁净》室(区)的噪声级(!空态)不应大于【65dB《(A)?非单向流洁净室【(区)的噪声级(空!态)不应大于—60dB《(A:)
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3.2.6】 :洁净:室(:区):的微振动控制设计应!满足精密设备—、仪器的振动—容许:值要求无要求时可按!。本规:范附:录C或?。根据其工作特—性确:定
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