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?3 ?。电子产品生》。产环境设计要求【
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3.?1 一《般规:。定
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3.1》.1 电子工【业洁净厂房生产环境!。。的设计应根》据生产工艺的要【。求控制微粒和—对产品?质量有害的杂质同时!还应提出温度、湿】。度、:压差、噪声、振【动、静电防护、【照度等?参数要求《
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3.1.2 【 生:产环境设计应根据】产品品?。。种及生产工》艺要求对电子—产品生产过程需用的!包括化学品、常用气!体和特种气体—、纯水等各种介【质的质量进行控【制
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?3.1.《3, 洁净室(区)内!产,品生产过程所—使用的工具》、器:具和物?料,。储运装置其制作的】材质和?。清洁方式应》按生产工艺》要,求选择
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3.1.—4 ?洁净室(区)—的空:气洁净度等性能测】试和认证应》。符合本规范附录D的!。。要,求
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