。 2  术】    语 ！ 2.—0.1  洁—净室  clea】n room 【 空气【悬浮粒子浓》度受控的房间它【的建：造和使用应减少室内！。诱入、产生及—滞留：粒子室内《其他有关参数—如温度、湿》度、压力《等按：要求进行《。控制 ？ ， ？ 2.0.2  洁！净区 ？ clean z】one 》 ？。 空：气悬浮粒《子浓度？受控的限定空间它的！建造和使用应减少空！间内：诱入、产生及—滞留粒子《空间内？其他有关参数—。如，温度、湿《度、压力等按要求进！。行控制可以是开【放式或？。封闭式 》 2.—0.3  》人员净化用》室 ： ，。room 》for cle【an：ing hu—man b》ody ！人员：在，进入洁净室(区【。)之前按一》定程序进行净—化的房间 【 ： 2：。.，0，.4  物》料净化？用室  room ！for clea】ni：ng ？ma：terial ！ 物料在进【入洁净室(区)之前！按一定程序进—行净化的《房间 — ：2.：0.5  粒径  ！par？tica《l si《ze 【 由给定的粒子尺】寸测定仪响应当【量于被测粒子等效】的球体直径对离散粒！子计数、光散—射仪器采用当量光学！直径 《。 2.—0.6  悬浮粒】子  ？airbor—ne ？part《icles — 用于【空，气洁净度分级的【空气中悬浮》粒子尺寸范围在0】.1～5《μm的固体》和液：体粒：子 《 ： 2.0《.7 ？ 含尘浓《度  parti】cle conce！ntration】 —单位体？积空气？中悬浮粒子的颗数】 》 2.0.8  洁！净，度 ： cleanli】ne：ss ？ 以单位体！积空气某粒径—。粒，子，的数量来区》分的洁净《程度 】2.0.9 — 空态  as-b！uilt 》 ？ ：设施已经《建成所有动力—接通并运《行但无生《产设备、材》料，及人员 》 2.0.】10  静态  a！t-res》t 设施！已经建成生产设备已！经，安装并按业主及供】应商：同，意的状态运》行但无？生产人员 ！ 2：.，0.：11  动》态  o《p，er：ational【 设施以！规定的状态运行有规！定的：人员在场并在商定】。。。的状况？下进行工作 】 2.》0.12  气【流流型  ai【r patte【rn — 室内《。空，。气，。的流动形态和分【布 ： 2.【0，.13  单—向流  u》。。n，。。idi？rec？tion《al ai》rflow 】 沿单一—方向呈平行流—线并且横断面上风】速一致的气流包括垂！。直单向流《和水平？单向流 》 2.0.】14  非单—向流：  non-—unidir—ec：tion《al ？。a，irflow ！ 凡不符合【单向：流，定义：的气流 》 2.0.1！5  混合流  m！i，xed air【flow 》 《 单向？流和：。非单向流组合—的气流？ 》 2：.0：.16  洁净工作！区  ？clean wo】rk：in：g area ！ ？指洁净室《内离地？面高度0.8～1.！ 5m(除工—艺特殊要求外—)的区？域， 《 2.0.17】  空气吹淋—室  ai》rsh？owe？r 利用！高，速洁：净气流吹落》并清除进入洁净室人！员或物？料表：面附着粒子的小室 ！ 》。2.0.18  气！闸室  airlo！c，k 【设置：在洁净室出入—口阻隔室外或相邻房！。间的污染气流和压】差控：制而：设置的缓冲》间 》 ：2，.0.19  传】递，窗 ： passbox】 ：。 在洁净室】隔，墙上设置的传递物】料和：工器具的开口两侧】。窗扇：的开：启应进行联锁控制】 2【.0.？20  洁净工作】服  ？。clean w【orkin》g gar》ment ！ 为把工作人员【产生的粒子限制在】最低程度所》使用的发尘量—。少，的洁净服《装 》。 2.《。0.：21  高效空气过！滤，器  ？。。(HEPA)h【ig：h eff》ici？ency p—articu—late air】 filter ！ 在》额定风量下最易穿】透粒径法的效—率在：99：.95？％以上？及气流初阻力—在22？。0Pa？以下的空《气，过，滤器 — 2.0.22】  超？。高效空气过滤器【  ：(ULPA)—ultra lo】w ：penet》ra：tion air ！filter ！ ： 在额定风量下最易！穿透粒径法》的，效，率在99.99【95％以上及气【流初阻力在》250？Pa以下的空气【过滤：器 【。2.0.23 【 微环境  —minie》。。nviro》nment 】 将产品—生产过程与操—作人员、污染物【。进行严格分》隔的隔离空间 】 2》.0.？24  风机—过滤器机组 — ，fan filte！r ：uni？。t(FFU)— 由H】EPA或ULPA与！风，机组合在一起构【成自身可《提供动力的》末端空？。。气净：化的装置 【 2.》0.25  自净时！间 ： ，clea《nliness【。 re？covery— c：hara《cteri》st：i，c 《 洁净室被污】染后净化空调—系统开始运行—至恢：复到稳定《的规定室内洁—净度等级的时—。间 【2，.0.26  技】术夹层  tec】hnic《。al： mezza—。nin？e，。 ？ 洁《净厂房中《以水平构件分—隔构：成的：。空间用于《安装辅？助设备？和公用？动力设施以及管线】等 》。 2.0.2【7  技术夹—道  t《echnica【l tunne【。l 洁】净厂房中以垂直构件！分隔构成《。的廊道用于》安装辅助设备和公】用动力设施》以及管？线等 ？ 2—.0.2《8 ： ，。。技术竖井《 ， technica！。l ：shaft — ， 洁净—厂房中主《要以垂直构件分隔】。构成：的井式管《廊用于？安装辅助设》备和：公用：动力设施以》及，管线：等 《。 2《。.0.？29  专用—消防口  fi【r，e-firin【g access】。 消【防人员为《灭火而进入建筑物的！专用入？口平时封《闭使用时《由消防人员从室【外打开 》 ？ 2.0.30【  纯？。水 ：pure 》water — ，。 杂质含【量很少？的，水其电解质杂质【含量(常以电阻率表！征)和非电解质杂】质(如微粒、—有机物、《细菌和溶解气体【等)含量均要求很】少的水 — 2.》0.31  常用气！。体  bulk 】gas 》 电子产【品生：产过程中广泛使【用的氢气《、氧气、氮气、氩气！、，氦气等气体 【 2》.0.32  特种！气体  spe【cial 》。gas ！电子：产品生产过》程中使用的硅烷【、磷烷、乙》硼烷、砷烷、四【氯化硅？、氯气？等气体这些气—体具：有可燃、有毒、【腐蚀或窒息等—特性 ？ 2.0.！33  化学品【  che》。mical ！ 指？电子产品生产—过程中使用》的酸、碱《、有机溶《剂和：氧化物等 】 2.0.—。34  防静—电环境  》ESD c》ontroll【e，d e？nviro》nmen《t 》 具？有防止静电危害的】。特定：环境在此环境中【不易产生《静电或静电产生后】易于泄放《或消除静电》噪，声，。难以传？播 ： 》2.0.35  表！面电阻？  surfac】e res》istan》ce 【 在：材料的表面上两电极！间所加直流电压与】流过两极间的—稳态电流之商 【 ，