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,。2, 术 【语
》
,
,
:。2.0.1》。。。 洁净室》 cle》an: room》
—空气悬浮粒》子浓度受控的—房间它的建造和【。使用应减少室内【诱,入、产生及滞留【粒子室内其他有关参!数如温度、湿度、】压,力等:按,。要求进行控制
!
2.0.2 ! 洁净区 c【lean zo【ne
》
空气悬—浮粒子浓度受控【的限定空间它的建】造和使用应减—少空间内诱入、产生!及滞留?粒子空间内其他【有关参数如温度、】湿度、压《力等按?要求进行控制—可以是开放式或封闭!式
《
2.0.3 ! 人员净化用室 !room 》fo:r c?leanin—。g :human bod!。y
—
人:员在进入洁净室(区!)之前按一定程序进!行净化的房间
!
2.》。0,.4: 物料净化用【。室 roo—m for c【leaning 】material】
物【料在进入《洁净室?(区)之前按一定】程序进行净化的【房间
?
:
2.0.5】 粒径 p【art?i,cal 《size
—
由给—定,的粒子尺寸测定【仪响:应当量于被测—粒子等效的球—体直:径对离?散粒子计数、光散射!仪器采?用当量光学直径【
?
2《.0:.6 ? 悬:浮粒子 《 ai?r,borne p【art?icles
—
,
用于空【气洁净?度分:级的空气中悬—浮粒子?尺寸范围《在0:.1~5μ》m的固体和液体【。粒子
?
《。
2.0.7 含!尘浓度 pa【rticle co!n,centr》ation》
单位】。体积空气中》悬浮粒子的》颗数
?
,
2.0.】8 洁净度— c?。。leanlin【es:。s
以单!位体积空气某粒径粒!子的数量来区分的】洁净程度《。
2.0!.9 空态 a!s-built【
设施】。已经:。建成所有动力接通】并运行?但无:生产设备、材—料及人?。员,
2.】0.10 静态】 , ,at-rest
】
设施已经!建成生产设》备已经安《装并按业主及供【应商同意的状态运】行但无生《产人员
【
2?。.0.1《。。1 动态 o】pera《。tional—
—。设,施以规定的》状态运?行有:规定的?人员在场并》在商定的《状况下进行工作【
2【。.0.12 — 气流流《型 : air pa【ttern
【。
室》内空气的《流动形态《和分:布
2】.0.?13 ? 单向流 un】。idi?re:ct:ional a【irflow
!
沿单一方向呈!平行流线《并且:横断面上风速一【。致的气流包括—垂直单向流》和水平单向流—
:
2.0.】14:。 非单向流 【 non-u—nidirec【tiona》l :ai:rf:low
】
凡不符合单向流定!义的气流
》
,
《2,.0.15 【混,合流 《m,ixed airf!low?
:
单向流和非!单向流组合的气【。流,
,
》2.0.16 【 ,洁净工作区》 clean 】wo:rking》 area
!
指洁净室内离】地面高度0.—8~1. 5—m,(除工艺《特,殊要求外)的区域
!
2.0.!17 空气吹淋室!。 a?irs?hower
】
利用》高速:洁净气流吹》。落并清除《进入洁?净室人员或》。物,料表面附着粒子的小!室
》
2.0》.18? 气闸室 — airl》o,ck
?。
?
设置在》洁净室出《入口阻?隔,室外或相《邻房:间的污染气流和【压差控制而设置【的缓冲?间
:。
2.【0.19 传【递窗 pass】box?。
》
在洁净室》隔墙上设《置的传递《物料和工器具的开口!。两侧窗扇的开启应】进行联锁控制—
—。2.0.2》。0 洁《净工作服《 clean 】worki》。。ng garm【ent?
,。。
为把工】作人员产生的粒【子限制在最》低,程度所使用的发【。尘量:少的洁净服装
】
2.0【。.21 高—效空气过滤器 (!HEPA)》high effi!cienc》y p?artic》ulate —air fil【ter
》
《在额定风量下—最易穿透粒径—法的:效率在99.95%!以上及?气流初阻《力在220Pa【以下的空气过滤【。器
2.!0.22 超高】效空气过《滤器 (》ULPA)》ultra —low? penetra】。tion 》air 《fi:lter
】。
在额定风量下】最易穿透《粒径法?的效率在99—.999《5%以上及气—流,初阻力在250【Pa以下《的空气过滤》器
—
2:。.0.?23: 微?环境 mi—nien《v,ironme—。nt
】将产品生《产过程与操作人员、!污染物?进行严格分隔的隔】离空间
!2.0.24 【 风机过滤》器,机,组, fan fi】lter u—nit(《FFU)《。
由H】EPA?。或ULPA与风机组!合在:一起构成《自身可提供动力的末!端空气净化的装置
!
?
2.0.—。25 自》净时间 c—leanlines!s recover!y, ,character!istic
!。
洁?净室:被污染后净》化空调系统开—始运行?至恢:复到稳?定的规定《室内洁净《度等级的《时间
《
2.0.】26 技术夹【层 ?technic【a,。l mezza【nine
】
洁?净厂房中以》。。水平:构件分隔构成的空】间,用于安装辅助设备】和,公,用动力设施以及管线!等
—
2.0.2—7 技《术夹道 《 techn—ical t—unnel
【
《洁净厂房中》以垂直构件分隔构成!的,廊道用于安》装辅助设《备和公用动力设施以!及管:线等:
2.】0.2?8 : 技术竖井 【t,ech?n,ical s—haft
》
:
,
:洁净厂房中主要【以垂:直构件分《隔,构成:的井式管《廊用于安装辅助【设备和公用动力【设施以?及管线?等
—
,2.0?.29 专—用消:防口 fire】-f:iring acc!ess
—
,。
消防人员—为灭火?而进入建《筑物的专用入口平】时封闭使《用时由消防人员从】室外:打开
》
2.0.3】0 纯水 pur!e wa《ter
《
》杂质含量很少—的水其?电解质杂质》含量(常以电阻率表!征)和?非电解质杂质(如微!粒、:有机物、《细菌和溶解气体等】)含量均《要求很少的水—。
?
2.》0,.31? 常用《气体 b》ulk ga—。s,
,
电子产】品生产过程中广泛使!用的:氢气、氧气、氮【气、氩气、氦—气等气体《
:
2》.0.3《2 : 特种气体 【special 】gas
!电子产品生产过程】中使:用的:硅烷、磷烷、—乙硼烷、砷烷、【四氯化硅、氯气等气!体这些气体具—有可燃、有毒、【腐蚀或窒息等特性
!
2.【0.33 化学】。品 ?c,he:mic?al
?
指电子】产品生?产过程?中使用的《酸、碱、《有机溶剂和》氧化物等
—
2》.0.?34 防静电【环境: :。ESD 《con?troll》ed en》vi:。r,onment
】
具有防止】静,电危害的特》定环境?在此环境中不易产生!静,电或静电《产生后易于泄放【或消:除静电?。噪,。声难以传《播
?
《2.0.3》5 表《面电阻 su【rface》 ,res?i,stan《ce
《
在材料的】表面上?两电极间《所加直流《电压与流过两极间】的稳态电流之商
】
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