。
2 术】 语
!
2.—0.1 洁—净室 clea】n room
【
空气【悬浮粒子浓》度受控的房间它【的建:造和使用应减少室内!。诱入、产生及—滞留:粒子室内《其他有关参数—如温度、湿》度、压力《等按:要求进行《。控制
?
,
?
2.0.2 洁!净区 ? clean z】one
》
?。
空:气悬浮粒《子浓度?受控的限定空间它的!建造和使用应减少空!间内:诱入、产生及—滞留粒子《空间内?其他有关参数—。如,温度、湿《度、压力等按要求进!。行控制可以是开【放式或?。封闭式
》
2.—0.3 》人员净化用》室 : ,。room 》for cle【an:ing hu—man b》ody
!人员:在,进入洁净室(区【。)之前按一》定程序进行净—化的房间
【
:
2:。.,0,.4 物》料净化?用室 room !for clea】ni:ng ?ma:terial
!
物料在进【入洁净室(区)之前!按一定程序进—行净化的《房间
—
:2.:0.5 粒径 !par?tica《l si《ze
【
由给定的粒子尺】寸测定仪响应当【量于被测粒子等效】的球体直径对离散粒!子计数、光散—射仪器采用当量光学!直径
《。
2.—0.6 悬浮粒】子 ?airbor—ne ?part《icles
—
用于【空,气洁净度分级的【空气中悬浮》粒子尺寸范围在0】.1~5《μm的固体》和液:体粒:子
《
:
2.0《.7 ? 含尘浓《度 parti】cle conce!ntration】
—单位体?积空气?中悬浮粒子的颗数】
》
2.0.8 洁!净,度 : cleanli】ne:ss
?
以单位体!积空气某粒径—。粒,子,的数量来区》分的洁净《程度
】2.0.9 — 空态 as-b!uilt
》
?
:设施已经《建成所有动力—接通并运《行但无生《产设备、材》料,及人员
》
2.0.】10 静态 a!t-res》t
设施!已经建成生产设备已!经,安装并按业主及供】应商:同,意的状态运》行但无?生产人员
!
2:.,0.:11 动》态 o《p,er:ational【
设施以!规定的状态运行有规!定的:人员在场并在商定】。。。的状况?下进行工作
】
2.》0.12 气【流流型 ai【r patte【rn
—
室内《。空,。气,。的流动形态和分【布
:
2.【0,.13 单—向流 u》。。n,。。idi?rec?tion《al ai》rflow
】
沿单一—方向呈平行流—线并且横断面上风】速一致的气流包括垂!。直单向流《和水平?单向流
》
2.0.】14 非单—向流: non-—unidir—ec:tion《al ?。a,irflow
!
凡不符合【单向:流,定义:的气流
》
2.0.1!5 混合流 m!i,xed air【flow
》
《
单向?流和:。非单向流组合—的气流?
》
2:.0:.16 洁净工作!区 ?clean wo】rk:in:g area
!
?指洁净室《内离地?面高度0.8~1.! 5m(除工—艺特殊要求外—)的区?域,
《
2.0.17】 空气吹淋—室 ai》rsh?owe?r
利用!高,速洁:净气流吹落》并清除进入洁净室人!员或物?料表:面附着粒子的小室
!
》。2.0.18 气!闸室 airlo!c,k
【设置:在洁净室出入—口阻隔室外或相邻房!。间的污染气流和压】差控:制而:设置的缓冲》间
》
:2,.0.19 传】递,窗 : passbox】
:。
在洁净室】隔,墙上设置的传递物】料和:工器具的开口两侧】。窗扇:的开:启应进行联锁控制】
2【.0.?20 洁净工作】服 ?。clean w【orkin》g gar》ment
!
为把工作人员【产生的粒子限制在】最低程度所》使用的发尘量—。少,的洁净服《装
》。
2.《。0.:21 高效空气过!滤,器 ?。。(HEPA)h【ig:h eff》ici?ency p—articu—late air】 filter
!
在》额定风量下最易穿】透粒径法的效—率在:99:.95?%以上?及气流初阻力—在22?。0Pa?以下的空《气,过,滤器
—
2.0.22】 超?。高效空气过滤器【 :(ULPA)—ultra lo】w :penet》ra:tion air !filter
!
:
在额定风量下最易!穿透粒径法》的,效,率在99.99【95%以上及气【流初阻力在》250?Pa以下的空气【过滤:器
【。2.0.23 【 微环境 —minie》。。nviro》nment
】
将产品—生产过程与操—作人员、污染物【。进行严格分》隔的隔离空间
】
2》.0.?24 风机—过滤器机组 — ,fan filte!r :uni?。t(FFU)—
由H】EPA或ULPA与!风,机组合在一起构【成自身可《提供动力的》末端空?。。气净:化的装置
【
2.》0.25 自净时!间 : ,clea《nliness【。 re?covery— c:hara《cteri》st:i,c
《
洁净室被污】染后净化空调—系统开始运行—至恢:复到稳定《的规定室内洁—净度等级的时—。间
【2,.0.26 技】术夹层 tec】hnic《。al: mezza—。nin?e,。
?
洁《净厂房中《以水平构件分—隔构:成的:。空间用于《安装辅?助设备?和公用?动力设施以及管线】等
》。
2.0.2【7 技术夹—道 t《echnica【l tunne【。l
洁】净厂房中以垂直构件!分隔构成《。的廊道用于》安装辅助设备和公】用动力设施》以及管?线等
?
2—.0.2《8 : ,。。技术竖井《 , technica!。l :shaft
—
,
洁净—厂房中主《要以垂直构件分隔】。构成:的井式管《廊用于?安装辅助设》备和:公用:动力设施以》及,管线:等
《。
2《。.0.?29 专用—消防口 fi【r,e-firin【g access】。
消【防人员为《灭火而进入建筑物的!专用入?口平时封《闭使用时《由消防人员从室【外打开
》
?
2.0.30【 纯?。水 :pure 》water
—
,。
杂质含【量很少?的,水其电解质杂质【含量(常以电阻率表!征)和非电解质杂】质(如微粒、—有机物、《细菌和溶解气体【等)含量均要求很】少的水
—
2.》0.31 常用气!。体 bulk 】gas
》
电子产【品生:产过程中广泛使【用的氢气《、氧气、氮气、氩气!、,氦气等气体
【
2》.0.32 特种!气体 spe【cial 》。gas
!电子:产品生产过》程中使用的硅烷【、磷烷、乙》硼烷、砷烷、四【氯化硅?、氯气?等气体这些气—体具:有可燃、有毒、【腐蚀或窒息等—特性
?
2.0.!33 化学品【 che》。mical
!
指?电子产品生产—过程中使用》的酸、碱《、有机溶《剂和:氧化物等
】
2.0.—。34 防静—电环境 》ESD c》ontroll【e,d e?nviro》nmen《t
》
具?有防止静电危害的】。特定:环境在此环境中【不易产生《静电或静电产生后】易于泄放《或消除静电》噪,声,。难以传?播
:
》2.0.35 表!面电阻? surfac】e res》istan》ce
【
在:材料的表面上两电极!间所加直流电压与】流过两极间的—稳态电流之商
【
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