。 《2  术《    语 — — 2.0.1 【 ，洁净室  c—。lean r—o，om 】空气悬？浮粒子浓度受控【的房间它的建—。造和使用应减少【室内诱入、产—生及滞留粒》子室内其他有关【参数如？。温度、湿度、压【力等按？要求：进行：控制 ？。 2.【0，.2  《洁净区 《 clean z】one 【 空气悬》浮粒子浓度受—控的限定空》间它：的建：造和使用应减少【空间：内诱入？、产生及滞留粒【子空间内其他有关】参数如温度、—湿度、压力等—按要求进行控制可以！是，开放式或封闭式【 2【.0.3  人员净！。化用室  ro【om f《or ？cleaning ！human —b，ody 《 ？ 人？员，在进入洁净室(区】)之前按一定程序进！行，净化的房间 【。 2》.0：。.4  物》料净化用室》  ro《om for 【clea《ning mate！ria？l 物料！在进入洁净室—(区)之前》按一定？程，序进：行净化的房间 ！ ， 2.《0.5  粒径【  pa《rtic《al si》ze 由！给定的？粒子尺寸测定仪响】应当量于被测粒子等！效的球体《直，径对离散粒》子计数、光散射【仪器采用当量—光学直径 ！ 2.0.》6  ？悬浮粒子  air！borne —pa：rtic《les — 用于空气洁净！度分级的空气中悬浮！粒子尺寸《范围在0.1—～5μm的固—体和液体粒》子 2】.0.7  含尘浓！度 ： particl】e concen】tration 】 单位【。体积空气中悬—浮，粒子的颗数 —。 ， 2.—0.8  》洁净度？  c？lea？nline》ss ？ 以单【。位体积空气某粒径粒！子，的数量来区》分的洁净程度— —2.0.9  【空态  as-【buil《t 设施！已经建成所有动力接！通并运？行但无生产设备、】材料及人员 ！ 2.0.10 ！ ，静态：  at-r—est ！设施已经建成生产】设备已经安装并按业！主及供应商同意的状！态运：行但：无生产人员 — ， 2.0【.，11  动》态  ope—。。rat？ional 【 设施以规】。。定的状？态，运，。行有：规，定，的人员在场并在【商定的状况下进【行工作？ —2.0.1》2， ， 气流流型  【air pa—tter《n 【。室内空气的流动【形态和分布 ！ 2.0.13 ！ 单向流 》 unidirec！tional— a：irflow 】 沿单一方向！呈平行流线并且横】断面上风速一致的气！。流，包括垂直单向流和水！平，单向流 ！2.0.《14  非单向流】  non-un】idirec—tional a】i，rflo《w 凡】不符合单向流定义】。的气流 》 《2.0.《15 ？ 混合流《  mixed 】。airflow 】 ： ， 单？向流和非单向—流组：合的气？。流 ： ： 2.0.16！  洁净工作区【  ：clean》 worki—。n，g ：area 【 指洁净—。室内：离地面高度0—.8～1《.， 5m(除工艺【特殊要求外)的区】域， 2.】0.1？7  空气》吹淋室 《 ，。air？shower— 利用高！速洁净气流吹—落并清除进入洁净】室人员或物料—表面附着粒》子的小室 — 2》.0.18  气闸！室  ai》。rlock》 》 设置在洁净室出】入口阻？隔室：。外或相邻房间—的污：染气流和压差控制而！设置的缓冲间— —2.0.19—  ：传递窗  pas】sbox《 ， ： 在洁净室隔墙！上设置的传递—物料和工《器具的开口两—侧窗：扇的：。。开启应进行》联锁控制《 ， ， 《2.0.20—  洁净工作—服  clean ！。wo：rk：ing？ gar《。ment 》 为把工】作人员产生的粒子限！制，在最低程度所使【用的发尘量少的洁净！服装： ？ 2.0.21！  ：高效空？气过滤器《  (HEP—A)h？。igh 《eff？ic：iency pa】rt：iculate【 air f—ilte《。r 《 在额定风量下！。最易穿透粒径法【的，效率在99.—9，5％以上及气流初】阻力在220P【a以下的空气过滤】。器 — 2.0.22【。  超高《效，空气过滤器  【(，ULPA)》ultra low！ penetr【ation air！。 fi？lter 】 在额定风—量下最易穿透粒径法！的效率在99.99！95％以上》及，气流初？阻力在250Pa以！下的空？气过滤器 】 2.0.—23  微环境【  minienv！ironm》en：t ？ ， 将产》品生产过程与—操作人员、污染【物进：行严格分《隔的隔离空间— ： 2.0【.24  风机【过滤器机组》  fan》。 filt》er： uni《t(FFU) ！ 由HE—PA或ULPA与风！机组合在一》起构成自身可提【供，动力：的末端空气净—化的装置《 ， ： 2.0.2】5  自《净时间  cl【e，an：liness re！c，overy ch】ar：act？er：i，stic《 洁净室！被污染后净化空【调系：统开始运行至恢复】到稳定的规定—室内洁净度等级的】时间 】2.0.26  】技术夹层 》 ，technica】l ：mezzan—ine — 洁净》厂房中以水平构件分！隔构：。成的：空，间，用于安装辅助设【备和公用动力设【。施以及管线》等 ： 》2.0.27  技！术夹道  te【。c，hnical— tunn》el 《 洁净—。厂房中以垂直构件分！隔构成的《。廊道用于安装—辅助：设备和公《用动力？设施：以及管线等 】 2.0.2】8  技术竖—井 ： techn—ical sha】ft 洁！净厂房？中主要以垂直构件分！隔构成的井式管廊用！于安装？辅，助设备和公用动力设！施，以及：管线等？ ： 2.0.2！9，  专用《。消防：口  fire【-，。firin》。g access】。 —消防人员为灭火而】进入建筑物的—专用入口《平时封闭《使用：时由消防人员—从室外打开 — ： ？2.0.30  】纯，水 pure w】ater — 杂》质，含量很少《。的水其电解质杂【质，含量(常以电—阻率表？征)和？非电解？质杂质(如微粒、】有机：物、细菌和溶—解，气体等)《含量：。均要求很少的水【 ， ： ？2，.0.31 — 常用气体  【bulk《 gas 】 电子产品—生产过程中广泛【使用的氢气、氧气、！氮气、氩气、—氦气：等气体？ ， 》2，。.0.32 — 特种气体》  ：specia—l g？as： 》 电子？产品生产过》程中：使用的硅烷、—磷烷、乙硼》烷，。、砷：烷，。、四氯化硅》、氯气？等气体这《些气体具《有可燃、有毒—、腐蚀或窒》息等特性 ！ 2.0.》33  化学品  ！che？mical 【 ， 指电》。。子产品生产过程中使！用的酸、《碱、有机溶》剂和氧化《物等 《 《2.0.34  防！静，电环境  E—SD ？c，on：tr：。olled》 environm！ent？。 ： 具有—防止：静电危害的特定【环境在此环》境中不易产生静电或！静电产生后易于泄放！或消除？静，电噪声难《以传播 】 2.0.35【  ：。表，面电阻  》surfac—e resi—stanc》e 【在材料的表面上【两电极间所加—直流电压与流—过两：极间的稳态电流之】商， ：