2 — 术    语【 2！.0.1 》 洁：净室  《cle？an room ！ ？ 空气悬《。浮粒子浓度》受控的房间它—的，建造和使用应—。减少室内诱》入，、产生及滞留粒子室！内其他有关参数如温！度、湿度、压—力等按要求进行控制！ 2.0！.2 ？ 洁净区 》 clean 【zone 【 ， 空气悬浮—粒子浓度受》控的限定空间它的】建造：和使：用，应减少空间内诱入、！产生及滞留粒子【空间内其《他有：关，参数如温度、湿度、！压力等按《要求进行控》制可以是开放式或封！闭式 《 ， 2.0—.3  《人员净化用室  】room《 for clea！ning《 human bo！dy ？ 人员在进！入洁净室《(区)之前按一【定程序进行净化的】房间 — 2.0.4  ！物料净化用》室  room【 f：or： cleanin】g mate—rial 】 ：物料在进入》洁，净室(区)之前按】一定程序进》行净化？。。的房间 》 ，。 2.》0.：5  粒径  p】ar：tical si】ze — 由给定的粒【。子尺寸测定仪响应】当量于被测粒子等】效的球？体直径对离散粒【子计：数、光散射仪器采用！当量光学直径 】 ： 2.0.—6 ： ，悬浮：粒，子  airb【or：ne ？particles！ 用【于空气洁净》度分级？的，空气中悬浮粒子尺寸！范围在？0.1？～5：μm的固体和液【体粒子？ 《 ， 2：.0.7  含尘】浓度  p》arti《cle con【centrat【ion ！单位体积空气中悬浮！粒子的颗数 】 2.0.8】  洁净度  cl！eanline【。ss 《 以单位【体积空？气某粒径粒子的数】量来区分的洁净程度！ 2【.0.9  空态 ！ as-《bui？l，。t 《 设施已经建】成所有动力接通并】运行但无生》产设备、材料及人员！ 《 2.0》.10  静—态  ？a，t-r？est 《 》设施已经建成生产】设备已？。经安：装并按业《。主及供应商同意的】状态运行但无—生产人员 —。 2》.0.11》。  动？态  opera】tiona》l 《 设施以—规定的状态运行有规！定的人员在场—并在商定《。的状况下进行工作 ！ 2.0】.12 《。 气流？流型 ？ ai？r p？attern ！。 ？室内空气的流动形】。态和分布 》 2.【0.13  —。单向：流  ？unid《irectio【nal air【fl：ow 沿！单一方向呈平行流】。线并且横断面上【。风速一致的气流包括！垂直单向《流和水？平单向流 【。 2.0.【14 ？ ，非单向流  no】n-u？nidire—ction》al： a：i，rflow》 ： ： 凡？不符：合单向流定义的气】流 2】.0.15》  混合流 — mi？。xe：d， airf》low 》 ， ？单向流和非》单向：流组合的《气流 《 2.—0.16 》 洁净工作区 【 cl？ea：n work—ing area】 —指洁净室内》离地面高度0.【8，～1. 《5m(除工艺—特殊要求外)的【区域 【 2.0.1—7  空气吹淋【室  ai》rs：h，ower ！ 利用高速洁—净气流吹《。落并清除《进，入洁净室人》员或物？料表：面附着？。。粒子的小室 】 2.0—.18  气闸室】  airl—ock 》。 设置在洁净！室出：入口阻隔室外或相邻！房间的污染气流和】压，差控制而设》置的缓冲间 】 2.0.【19  传》递窗  pass】box 】 在洁净室》隔墙上设置》的传递物料和工器具！。的开口？两侧窗扇的》。开，启应进行联锁—控制 】。。2.0.2》0  洁《净，工作服  cl【e，an wor—king garm！ent ！。为，把工作人员产生【的粒子限制在—最低程度所使用的发！尘，。量少的洁净》服装 2！.0：.21  高—效空气过滤器—  (HEPA【)high》 effici【ency par】。ticulate ！air f》i，lter 】 在额定》风量下最易穿透粒】径，法的效率在99.9！5，％以上及《气流初阻《力在220Pa以下！的空气过滤器 【 2—.，0.22  —超高效空气过滤器】  (ULPA【)ul？tra low 】pen？e，tr：ation》 air《 f：ilte《r， 《 在？。额定风量下最易【穿透粒？径法的效率在9【9.：。9995％以上【及，气流初阻《力在2？50Pa以》下的空气过滤—器 【2.0.23—  微环境》  min》i，envir》onme《nt 将！产品生产过程与操】作人员、污染物【进行严？格分隔的隔离空间 ！ 2—.0.24  【风机过？滤器机组  —fan？ fi？lter《。 uni《t(FFU) 】 《由HEPA或—ULPA与风—机组合在一起构成自！身可提？供，动力的末端空气净】化的装置 【 ：。 2.？0.25  —自净时？间  cl》eanliness！ recovery！。 charact】eristi—c 《 洁《净室：被污染？后净化空《。调系统开《始运行至恢复到【稳，定的规定室内洁【净，度等级的时间 】 2》.0：.26  技术夹层！ ， technica！l mezzani！n，e， ？ ， ， 洁净厂《房中以？水平构件分》。隔构成的《空间用于安装辅【助设备和公用—动力设施《以及：管线等 — ？。2.0？.2：7 ： ，技术夹道  tec！hnical tu！nnel《 —洁净厂房中以垂直构！件，分，隔构成的廊道用于】安装辅助《设备和公《用动力？。。设施以及管线等 】 2—.0：.28？  ：技术竖井  te】。chnical 】。。shaft ！ 洁净《厂房中？主要以垂直构件分隔！构成：的，井式：管廊用于安》装辅助设备和公用动！力设施以及管—线等 【 2：.0：.29  专用消防！口  f《ir：e-f？i，ring ac【cess 》。 《 消防人员为—灭火而进《入建筑？物的专用入口平时封！。闭使用时由消防【。人员从？室外：打开 ？ 2.0】.30  纯水 p！ure 《wa：ter 》 ： 杂质含量很少的！水其电解质杂—质含：量(常以电阻率表】征)和非《电解质？杂质：(如微粒、有—机物、？细菌和？溶解气体等)含量】。均要求很少》的水 2！.，0.31《  常用气体  b！ulk g》as 【 电子产品生产过程！中广泛使用》的氢：气，、氧气、《氮气、氩《气、氦气等气—体 《 ？2.0？.32？  特种气》体 ： specia【。l ：。gas？ ， 电子产品！生产过？程，中使用的硅烷、【磷烷、乙硼》烷、砷烷、四氯【化硅、氯气等气体】。这些气体具有可燃】、有：毒、：腐蚀或窒《息等特性 ！ 2.0.33  ！化学品 《 chemi—cal — 指电子—产品生产《过程中使用的酸【、碱、？有机溶剂和氧化物】等 2.！0.34  防静电！环境：。  ESD co】ntroll—ed ？envi《ronmen—。。t 【具有防止静》电危害的《特定环境在此环境】中不易产生静电或】静电产生后易于【泄放或消《除静电噪声难—以传播？ 2【.，0，.35  表面电阻！  s？urfac》e resis【。tanc《e — 在材料的表—面上两电极间—所加直流电压与流】过，两极间？的稳：态电流之《商 ？