？ ，。2，  术    【语 》 ， ， ：。2.0.1》。。。  洁净室》  cle》an： room》 —空气悬浮粒》子浓度受控的—房间它的建造和【。使用应减少室内【诱，入、产生及滞留【粒子室内其他有关参！数如温度、湿度、】压，力等：按，。要求进行控制 ！ 2.0.2 ！ 洁净区  c【lean zo【ne 》 空气悬—浮粒子浓度受控【的限定空间它的建】造和使用应减—少空间内诱入、产生！及滞留？粒子空间内其他【有关参数如温度、】湿度、压《力等按？要求进行控制—可以是开放式或封闭！式 《 2.0.3 ！ 人员净化用室  ！room 》fo：r c？leanin—。g ：human bod！。y — 人：员在进入洁净室(区！)之前按一定程序进！行净化的房间 ！ 2.》。0，.4：  物料净化用【。室  roo—m for c【leaning 】material】 物【料在进入《洁净室？(区)之前按一定】程序进行净化的【房间 ？ ： 2.0.5】  粒径  p【art？i，cal 《size — 由给—定，的粒子尺寸测定【仪响：应当量于被测—粒子等效的球—体直：径对离？散粒子计数、光散射！仪器采？用当量光学直径【 ？ 2《.0：.6 ？ 悬：浮粒子 《 ai？r，borne p【art？icles — ， 用于空【气洁净？度分：级的空气中悬—浮粒子？尺寸范围《在0：.1～5μ》m的固体和液体【。粒子 ？ 《。 2.0.7  含！尘浓度  pa【rticle co！n，centr》ation》 单位】。体积空气中》悬浮粒子的》颗数 ？ ， 2.0.】8  洁净度—  c？。。leanlin【es：。s 以单！位体积空气某粒径粒！子的数量来区分的】洁净程度《。 2.0！.9  空态  a！s-built【 设施】。已经：。建成所有动力接通】并运行？但无：生产设备、材—料及人？。员， 2.】0.10  静态】 ， ，at-rest 】 设施已经！建成生产设》备已经安《装并按业主及供【应商同意的状态运】行但无生《产人员 【 2？。.0.1《。。1  动态  o】pera《。tional— —。设，施以规定的》状态运？行有：规定的？人员在场并》在商定的《状况下进行工作【 2【。.0.12 — 气流流《型 ： air pa【ttern 【。 室》内空气的《流动形态《和分：布 2】.0.？13 ？ 单向流  un】。idi？re：ct：ional a【irflow ！ 沿单一方向呈！平行流线《并且：横断面上风速一【。致的气流包括—垂直单向流》和水平单向流— ： 2.0.】14：。  非单向流 【 non-u—nidirec【tiona》l ：ai：rf：low 】 凡不符合单向流定！义的气流 》 ， 《2，.0.15  【混，合流  《m，ixed airf！low？ ： 单向流和非！单向流组合的气【。流， ， 》2.0.16 【 ，洁净工作区》  clean 】wo：rking》 area ！ 指洁净室内离】地面高度0.—8～1. 5—m，(除工艺《特，殊要求外)的区域 ！ 2.0.！17  空气吹淋室！。  a？irs？hower 】 利用》高速：洁净气流吹》。落并清除《进入洁？净室人员或》。物，料表面附着粒子的小！室 》 2.0》.18？  气闸室 — airl》o，ck ？。 ？ 设置在》洁净室出《入口阻？隔，室外或相《邻房：间的污染气流和【压差控制而设置【的缓冲？间 ：。 2.【0.19  传【递窗  pass】box？。 》 在洁净室》隔墙上设《置的传递《物料和工器具的开口！。两侧窗扇的开启应】进行联锁控制— —。2.0.2》。0  洁《净工作服《  clean 】worki》。。ng garm【ent？ ，。。 为把工】作人员产生的粒【子限制在最》低，程度所使用的发【。尘量：少的洁净服装 】 2.0【。.21  高—效空气过滤器  (！HEPA)》high effi！cienc》y p？artic》ulate —air fil【ter 》 《在额定风量下—最易穿透粒径—法的：效率在99.95％！以上及？气流初阻《力在220Pa【以下的空气过滤【。器 2.！0.22  超高】效空气过《滤器  (》ULPA)》ultra —low？ penetra】。tion 》air 《fi：lter 】。 在额定风量下】最易穿透《粒径法？的效率在99—.999《5％以上及气—流，初阻力在250【Pa以下《的空气过滤》器 — 2：。.0.？23：  微？环境  mi—nien《v，ironme—。nt 】将产品生《产过程与操作人员、！污染物？进行严格分隔的隔】离空间 ！2.0.24 【 风机过滤》器，机，组，  fan fi】lter u—nit(《FFU)《。 由H】EPA？。或ULPA与风机组！合在：一起构成《自身可提供动力的末！端空气净化的装置 ！ ？ 2.0.—。25  自》净时间  c—leanlines！s recover！y， ，character！istic ！。 洁？净室：被污染后净》化空调系统开—始运行？至恢：复到稳？定的规定《室内洁净《度等级的《时间 《 2.0.】26  技术夹【层  ？technic【a，。l mezza【nine 】 洁？净厂房中以》。。水平：构件分隔构成的空】间，用于安装辅助设备】和，公，用动力设施以及管线！等 — 2.0.2—7  技《术夹道 《 techn—ical t—unnel 【 《洁净厂房中》以垂直构件分隔构成！的，廊道用于安》装辅助设《备和公用动力设施以！及管：线等： 2.】0.2？8 ： 技术竖井  【t，ech？n，ical s—haft 》 ： ， ：洁净厂房中主要【以垂：直构件分《隔，构成：的井式管《廊用于安装辅助【设备和公用动力【设施以？及管线？等 — ，2.0？.29  专—用消：防口  fire】-f：iring acc！ess — ，。 消防人员—为灭火？而进入建《筑物的专用入口平】时封闭使《用时由消防人员从】室外：打开 》 2.0.3】0  纯水 pur！e wa《ter 《 》杂质含量很少—的水其？电解质杂质》含量(常以电阻率表！征)和？非电解质杂质(如微！粒、：有机物、《细菌和溶解气体等】)含量均《要求很少的水—。 ？ 2.》0，.31？  常用《气体  b》ulk ga—。s， ， 电子产】品生产过程中广泛使！用的：氢气、氧气、氮【气、氩气、氦—气等气体《 ： 2》.0.3《2 ： 特种气体  【special 】gas ！电子产品生产过程】中使：用的：硅烷、磷烷、—乙硼烷、砷烷、【四氯化硅、氯气等气！体这些气体具—有可燃、有毒、【腐蚀或窒息等特性 ！ 2.【0.33  化学】。品  ？c，he：mic？al ？ 指电子】产品生？产过程？中使用的《酸、碱、《有机溶剂和》氧化物等 — 2》.0.？34  防静电【环境：  ：。ESD 《con？troll》ed en》vi：。r，onment 】 具有防止】静，电危害的特》定环境？在此环境中不易产生！静，电或静电《产生后易于泄放【或消：除静电？。噪，。声难以传《播 ？ 《2.0.3》5  表《面电阻  su【rface》 ，res？i，stan《ce 《 在材料的】表面上？两电极间《所加直流《电压与流过两极间】的稳态电流之商 】 ，