2  术】 ，   语 【 ： 2.0.1 ！ 洁净室  cl】ean 《room ！ 空：气悬浮粒子浓度受】控，的房间它《的建造和使用—应减少室内诱入、】产，。生及滞留粒子室内】其他有？关，参数如温度、湿【度、压？力等按要求进行【控制 】2.：0.2 《 洁净区《  cl《ean zo—ne 《 ， 空气悬—浮粒子浓度受控的限！定空间？它的建造和》使用应减少空间内诱！入、产生及滞—留粒子空间内其他】有关参数如温度【、湿度、压》力等按要《求进行控制可以是】开放式？或封闭式《。 2【.0.？3  人员》净化用室  —roo？m fo《r， cleani【ng human】 bod《。。y ？ 《人员在进入洁净室】(区)之前》按一定？程序进行净化的房】间 》。 ：2，。。.0.4  物料净！化用室 《 ，。room fo【r clean【ing mater！ial ！物料在？进入洁净室(区【)之前按一》定，程序进行净化的房间！ 2【.0.？5  粒径  pa！rtical si！ze 由！给，定的粒子尺寸测定仪！响应当量于》被测粒子等效的球】体直径？对离散？粒子计数、光散射仪！。。。器采用当量光学直】径 ？ 2.0.】6  悬浮》粒子：  air》borne —particle】s ： ， 用于空气洁！净，度分级的《。空气中悬浮粒子【尺寸范围在》0.1～5μm的固！体和液体粒子 【 2—.0.7 》 含尘浓《度  pa》。rti？。c，le c《。o，ncentrat】i，on 【 单位体积空—气中悬浮粒子的颗数！ ， 2.0.！8  洁净度  c！。leanline】ss 《 ， 以《单位体积空气—某粒径粒子的数量】。。来区分的《洁净程度 》 ， 2.0【.9  《空态：  as《-bui《lt 》 ？设施已？经建成所有》动力接通《并，。运行但无生》产设备、材料—及人员 《。 ， 《2.0.1》0  静态  at！-rest 【 设施—已经建成生产设备】已经安装并按业主】及，供应商同《。意的状态运行但无】生产：人员：。 —2.0.11  动！态  operat！iona《l 《 设施以规定】的状态？运，行有规？定的人员在场并【在商定的状况—下进行？工作 》 2.0—.12？  气流流》型  air 【pa：ttern 】 室内空气的】流动形态和》分布 】2.0.13—  单向《。流  un》idi？re：。ction》al a《。ir：flow《 《。 沿单一方—向呈：。平，行流线并且横断【面上：风速：一，致，的气流？包括垂？直单：向流和水平单向流】 2.0！.1：4  非单》向流 ？ no？n-un《idirecti】ona？l air》flow《 凡不】符合单向流》定，义，的气流 】 2.？0.15 》 ，混，合流：  ：mixed ai】rflow》 ： 单向流【。和非单？向流组合的气—流 》 ：2.0.16 【 洁：净，工作区？。  ：clean wo】rking a【rea 】 指洁净室内离地面！高度0.8～—1. 5m(除【工，艺特殊要求外)【的，区域 》 2.0—。.17？  空气吹淋室【  airs—h，o，wer ！利用高速洁》净，气流吹落并清除【进入洁？净室人员或物—料表面？附，着，粒子的小室 】 ： 2.0.18【  气闸室 — air《lock 【 ， 设置在洁—净室出入《口阻隔室外或相邻】房间：的，污染气流和》压差控制而》设置的缓冲间— 2【。.，0.19《  ：传递窗？  passb【ox — 在洁净》室，隔，墙上设置的传递物】料和工器具的开口两！侧窗扇的《开启应进行》。联锁控制 》 2.0】.20  》洁净工作服  cl！ean worki！。ng ga》r，ment ！ 为把工作人员产生！的粒子限制在—最低程？度所使用的发尘量】少的洁净服装 ！ 2.0.21！  高效《空气过滤器  (H！EPA)《high effi！cie？ncy 《particul】ate air 】filter 】 ， 在额定—风，量下最易穿》透粒：径法的效率在99】.，9，5％以上及气流初阻！力在220Pa【以下的空气过—滤器 ？。 2—.0.22  【超高效空气过—滤器  (》。ULPA《)ul？tra lo—w p？enetrati】on ai》r， filter【 在额定！风量下最《易穿透粒《径法：的效率在9》9.9995—。％以上及气流—初阻力在250【Pa以？下的空气过滤器 】。 2.0】。.23  微环【境  mi》nien《。vi：ronmen—t ？ ？ 将产品生产过【程与操？作人员、污染物进】行严格分《隔的隔？离空间 》 ： 2.0.2【4  风机过滤器】机组  f》an ？filte》r unit(FF！U) — 由HEPA【或ULPA与风【机，。组合：在一起？构成自身可提供动】力的末端《空气净化的装置 】 《 ，2.0.《25  自》净，时间  clea】nliness【 re？cove《ry ？chara》cterist【i，c ？ ， ： 洁净室《被污染后《净化空调系统开始运！行至恢复《到稳：定的规定室内—洁净：度，。等级的时间 【 2.0【.26  技术夹】层 ： te？。chni《cal？ mez《zan？in：e 洁净！。。厂房中以水平构件分！。隔构：成的空间用于安装】辅助：设备和？公用动力设施以及管！线等 》 ？。2.0.27 【 技术夹道  t】echnical】 tunnel 】 洁净厂房！中以垂直构》件分隔构成的廊【道用于安装辅助设】备和：公用动力《设施以？及，管线等 】 ，2，.0.？2，8  ？技术竖井  —。technica】l ：shaf《t ？。 《。洁净厂房中主要【。以垂直构件分隔【构，成的：井式管廊《用于安装辅助设备】和公用动力》设施以及管》线，等 — 2.0《.29  专用消防！口  fi》re-？firing 【acces》s 【消防人员为灭火【而进：入，建筑物的专用入【口平时封闭使用时】由消：防人员从室》外打开 】 2：.0：.30 《 纯水？ pur《e water【 》 杂质含量》。很少的水其电解质】杂质含量(》常以电？阻，率表征)和非电【。解质杂质(》如微粒、有》机物：、细菌和溶》解气体等)含量均要！求很少的水 【 《2.0.《31  常》用气体  bul】k gas — ？ ， 电子产品生产过】。程中：广泛使用的》氢气、氧气》、氮气？、，氩气、氦气》。等，气体 — 2.0.32】  特种气体  】spe？cial 》gas 》 ： ：电子产品生产—。过，程中使用的》硅，烷、磷烷、乙—硼烷、砷烷、四【氯化硅、氯气—等，气体这些气体具【有可燃、有毒、【腐蚀或窒息等特性】 》 2.0.33 】 化学品《  c？hemica—。l 》 指电子产品生产！过程中使用的酸【、碱、有机溶剂【和氧化物等》 《 2.0》.34 《 防静电环境—  ESD —。con？trolled e！nvironme】nt ？ 》。具有防？止静电危害的特定环！境在此？环境中不易产生静】电或静电产生—后易于泄放或消【除静电噪声难以传播！ ： ？ 2.0.35【  ：表面电阻  —surface【 re？sista》nce 【 在材料》。的表：面上两电极》间所加直流电压与】流过两极《间的稳态电流—。之商 《