？ 2  术》    语 — 《 2.0—.，1 ： 洁净室  cl】。e，a，n ro《om：。 》 空气悬浮粒—子浓度受控的—。房间它的《建造和使用应减少】室，内诱入、产生及滞留！粒子室内其他—。有关参数如温度【、湿度、压力等按】要求进行控制 ！ 2.0—.2  洁净—区  cl》ean 《zone 【 ， 空气悬》浮粒子浓度》。受，控的限定空间它的】建造和使用》应，。减少空？间内：诱入、产《生及滞留《粒子空间内》其他有关参》数如温度、湿度、】压力等按《要求进行控制可以】是开放式或》封闭式 ！2，.0.3《  人员净化—用室 ？ room for！ clean—ing hu—man bod【y ： 人—员在：进入洁净室》(区)之前按—一定程？序进行？净化的房间 — 》2.0.4》  物料《净化用室  r【oom 《fo：r cleani】ng mate【rial 【 ： 物料在进》入洁：净室(？。区，)之前按一定程【序进行净化的房间 ！ 》2.0.5》  粒径  —partical】 ，s，ize 》 ： 由给定的粒【子尺寸测定仪响应当！量于被？。测粒子等效的—球体直径对离散【粒，子计：数、光散射仪器采】用当量？光学直径 ！ 2.？0.6  悬浮粒】子  a《irborne p！artic》les 】 用于空气洁—净度分级的空—气，中悬浮粒《子尺寸范《围，在0.1～》5μm的固》体和液体粒子— ， 2.【0.7  含—尘浓度  par】tic？le ？concentra！tion 》 单—位体积？空气中悬浮》粒子的颗数 —。 《 2.？0.8  洁净度 ！ clea》nliness【 ： ？ ，。以单位体积空—气，某粒径粒子的数量来！区分的洁净》程度 《 《2.0.9  【空态 ？ as-bui【lt 【 设施已经》。建成所有动力—接通并？运行但无生产—。。设备、材料》及人员 《 ： 2.0.1】0  静态》。 ， at-r》es：t 【设施已经《建成生产设备已经安！装并按业《主及：供，应商同意的》状，。态运行但无》生产人员 】 2.0.1【1  动态  op！erati》onal 【 ？设施以规定》的状态运行有规【。。定的人员在场并【。在商定？的状况下进》行工作 — 2.0—.12  气流流型！  air pa】t，。。tern 【。 ， 室内空气—的流动？形态和分《布 ？ 2》.0.1《3  单向》流  u《ni：d，ir：ec：tional— airflow】 》 沿单一方》。向呈平？行，流线并且《横断面上风》速一致的气流—。包括垂直《单向流和水平单【向流 — ， 2.0.1—4  非单向流  ！non-unidi！rect《。ional a【irflow 【 凡不符】合单向流《定义的气流 】 ： 2：.0.15 — 混合流 》 m：ixed ai【rf：lo：w 《。 ， 单？向流和非单向—。流组合的气流 【 2—.0.16》  洁净工作—。区 ：。 clea》n workin】g a？rea 】 指洁净室》内离：地面高度0.—8，～1. 《5m(除工艺特殊】。。要求外)的区—域 2】。.0.1《7  空气吹淋室 ！ a：irshower】 利用】高，速洁：净气流吹落》。并清除？进入：洁净室人员或物料表！面附着粒子的小【室 ？ ：。 2.0.18】  ：气闸室  air】lock — ？ 设：置在洁净室出—入口阻隔室外或【相邻房间的》污染气流和》压，。差，。控制：。而设：置的缓冲间 — ， 2.—0.19《 ， 传递？窗  passbo！x ？ ？ 在：洁净室隔墙》上设：置的传？递物料和工器具的开！口两侧窗扇的开启】应进：行联锁控制 【 ， 2.0.2】0  洁净工作【服 ： clean— w：or：king《 ga？rm：。en：t 《 为把工作人员！。产，生的粒子限制在【。最，低程度所使用—的发尘量少的—洁净服装 【 2.0.2】1  高效空气过滤！器  ？。(HEPA)hig！h， eff《ic：iency —pa：rticulat】e a？ir filter！ 《 ：在额定风量下最易穿！透粒径法的效率在9！9.95％以上及气！流初阻？力在220Pa以下！的空气过滤器 【。 2.0.！。22  超高效空】气过滤？器  (《U，LPA)u》ltra low ！penetr—ation —a，ir f《ilter ！ 在额定风量下】最易穿透粒径法的】效率在99.—99：。。9，5％以上及气—流初阻力在25【0Pa以《。。下的空气过》滤器 2！.0.23  【。微，环境：  mini—。environ【ment ！ 将：产，品生产过程与—操作人员、污—染物进？行严格分隔的—隔离空间 【 2.》0.：24：  风机过》滤器机组《  fa《n， fi？lter un【it(？FFU) ！ 由HEP》A或UL《P，A与风机组合—在一起构成自身可】提供动？力的末端空气净化的！装置： 2.】0.25  自净】时间  c》lea？nlin《ess？ r：ecovery 】charac—teri《stic 》 ？ 洁净室被污【染后净化空》调系统开始运行至恢！复，到稳：定的规定室内洁净】度等级的时》间， 《 2.0.—26  技术夹【层  t《echnical ！mezzani【ne 《 ？ 洁净厂房中以水】平构件分隔构—成的空？间用于？安装辅助设备和【公，用动力设施以及【管线等 】。 2.0.27 】 技术夹道  【t，ec：hnica》l tu《nnel 】 ， 洁净厂房中以垂直！构件：。分隔构成《的廊道用于安装辅助！设备和公《。用动力设施以及管】线等 】2.0.28 【 技：术，。竖井  《technic【al shaft ！ 洁净厂房！。中主要以垂直构件分！隔，构成：的井式管廊用—于安装辅助》设备和公用动力【设，施，以及管？。线等 ？ 2.0】.29  专用消防！口，  fire-f】iri？ng access！ 》 消防人《员为灭火而进入建】筑物的专用入口平】时封：闭使：用时由消防》人员从室外打开 ！ ？ 2.0.》30  纯水—。 pu？。r，e w？ater 》 》杂质含量很少—的水其电解质杂质】含量(？常以电阻率表—征)：和非电？解质杂质(如微粒】。。、有机物《、细菌和溶解气体等！)含量均要求很少】。的水 ？ 2—.0.3《1 ： 常用气体》。 ， bulk g【as 电！子产品生产过程【中广泛使用的—氢气：、氧：气、氮气《、，氩气、氦气等气体 ！。 ： 2.》0.32《  特种气体— ， spec》ial ga—s 电】子产：品生产过《。程中：使用：。。的硅烷、磷》烷、乙硼《烷、砷？烷、四？氯化硅、氯气等气体！这些气体具有可【燃、有毒、腐—蚀或：窒息等？特性 【 2.0.33【。  化学品 — che《mical ！ 指电子产品生产！过程中使用的—。。酸、：碱、有？机溶剂？和氧化物《等， ， 2.0】.34？  ：防静电环境 — ，ESD c》ontrol—led en—vironm—ent — 具有防止【静，电危害的特定环境】。在此：环境中不易》产生静？。电或静电产生后易】于泄放？或消除静《。电噪声难《以传：播 《 ？2，.0：.35  表面电】阻  sur—f，ace resis！t，a，。nce 《 ？ 在材料的—表，面上：两，电极间所《加直流电压与流过两！极间的稳态电流之】商 ： ，