2  【术   《 语 ？ 2】.0.1  洁净室！  cl《ean room ！ 空气【悬浮粒子浓度—受控的房《间它的建造和使用应！减少室内诱》入、产？生及滞留《粒子室内其》他有：。关参数？如温度、湿度—、压力等按要求【进行控制 — 2.0.2！ ， 洁净区 》 ，clea《n zone ！ 空气》。悬浮粒子浓度受【。控的限定空间它【的建造和使用—应减少空《。间内诱入、》产生：及滞留粒子空间【内，其他：有关参数如温度、湿！度、压？。力等按要求进行控制！。可以：是，开放式或封闭式【 2.0！.3  《人员净化用室  r！oom for【 c：leaning 】human》 body 【 ？ 人员在进入洁【净室(区)之—前按一定《程序进行《净化的房《间 — 2.0.4  】物料净化《用室：  room f】or cleani！ng m《。aterial ！ ： ， 物料？在进入洁净室(区】)之：前按一定程序进行净！化的：房间 》 2.0.5 ！ 粒：径，  par》tical —size 】 ：由给定的《粒子尺寸测定仪响】应当量于被测粒子等！效的：球，体直径对离》。散粒子计数、—光散射仪器采用【当量光学直》径 【2，.0.6 》 悬浮粒子  a】irb？or：ne ？particles！ 《 用于空气洁【净度分级的空—气中悬浮粒子尺寸】范围在0.1～5μ！m的：固体和液体粒子 】 ， ： 2.0.7【 ， 含：尘浓度  par】。。t，icle con】。。ce：ntration】 《 ， 单位体积》空气中悬浮粒—子的颗？数 》 2.0.8【  洁净度  【cleanli【ness 》。 以单位】体积空气某粒—径，粒，子的数量来区—分的洁净程》度 2】.0.9  —空态  《。as：-bu？ilt 《 《 设施已经建—成所有动力接通【并，运行但？无生产设备、材料及！人员 ？ ：。 ， 2.0.10 ！ 静态  》。at：-rest — 设施【。已经建？成生产设备》已，。经安装并《按业：主及供应商同意的】状态运行但无生产人！员 《 ？2.：0.1？1  动态  o】peratio【na：l 设】。施，以规定的状态—运行有规定的人员】在场并在商》定的状？况下进行工作 【 ： 2.0.1】2  气流流型【  ai《r， patt》ern 》 ： ：室内空气的流动形】态和分？布 — 2.0.1—3 ： 单向？。流  u《nidirect】io：nal airf】low —。 沿单一方向】呈平：行流线？并且横断面上风【速一致的气流—。包，括垂直单向流和水平！单向流 ！2.0.《。14  非单向【流  non-un！id：irecti—onal ai【rflow — ？ 凡不符合单向流！。。定义的气《流 《。 2.》0.15  —混合流  m—。i，xed airfl！ow ？ 《 ，单，。向流和非《单，向流组合《的气流 ！2.0.1》。6 ： 洁净工作区  c！lean work！ing ar—ea 】指洁净？室，内离地面《高度0.8～1【.， 5m(除工艺特殊！要求外)的区域 ！ 2》。.0.？17  空气吹淋】室 ： ，。air？s，hower 【 利用高速洁！。净气流吹落》并清除进入洁—净室人员或物料【表，面，附着粒子的》小，室 《 2《。.0.18  【气闸室  》airl《ock？ —设置在？洁净室出入》口阻隔室外》或相邻房《间的污染气流和压】差控制而《设置的缓冲》间 》。 2.0.—19  传递—窗  passb】ox ？ 在洁净】室，隔墙上设置的传递物！料和工器具》。的开口两侧窗扇的】开，启，应进行联锁》控制 2！.0.？20：  洁净工作服  ！clean》 work》ing g》arm？ent 】 为把？工作人员产生的粒子！限制在最《低程度所使用的【发尘量少的洁净服】装 》 2？.，0.21  —高效空气过滤器  ！(，HEPA)h—igh e》ffici》ency pa【rticulat】e air》 f：。i，lter《 —在额：定风量下《最易穿透粒径法【的效率在9》9.：95：％以上及气流初阻】力在220Pa以】下的空气过滤器 ！。 2.0【.22  超高【效空：气过滤器  (UL！PA)ultra】。 l：ow p《en：etration ！a，ir：。 filter 】 《 在额定风量下【最易穿透《粒，径法的效率在99.！99：95％以《上，及气流？初阻力在250【Pa以下的空气【过滤器 ！2.0.23  微！环境 ？ m：i，nie？nvironm【ent ！将，产品生产过程与操作！人员、污染物进【行严：格分隔的隔离空【间 2.！0.24 》。 风机过滤器—机组  fan f！ilter》 uni《t(FFU) ！ 由《HEPA或ULP】A，与风机组《合在一起构成自【身可提供动力—的末端空气净化的装！置 【2.0.2》5  自净》时间 ？ cle《an：liness re！。covery c】h，a，racte》ris？ti：c 洁】净室被污染后净化空！调系统开始运—行至恢复到》稳定的规定室—内洁：净度等级《的，时间 【 2：.0.26  技】术夹层？  techn【ical 》。me：zzanine【 ？ 洁净厂—房中以水平构件分】隔构：成的空间用于—安装辅？助设备？和公用动力设施以】及管线等 》。 《 ，2.0.《27  技术夹道】  technic！。al tunn【el 》 洁净厂房中以！垂直构件《分隔构成的廊道用于！。安装辅助《设备和公用》动力设施以》及管线等 【 ？2.0.2》。8  技术》竖井 ？ technica！l shaf—t 《 洁净厂房【中主要以垂直构件分！隔构成的井》式管廊用于安装辅助！设备：和公用动力》设施以？及管线等 【 ， ：2.0.29  专！。用消防？口  f《ire-firi】ng ？access ！ 消防人员为灭！火，而进入建筑物的【专用入口平时封【闭使用？时由：消防：人员从室外打—开 2】.0.30  纯水！ pure w【ater 【。 杂质含—量很少的《水其电解《。。。质杂质含量》(常以电阻率表【征)：和非电？解，质杂：质(如微粒、有机物！、细：菌和溶解气体—等)含量均》要求很少《的水 2！.0.31  【常用气体  b【ulk g》as 《 电子产品】生产过程中广泛使用！的氢气、氧气—、氮气、《氩气、氦气等气【体 ： ？ 2.《0.32  —特种气体 》 special ！。gas 》 《电子产品生》产过：程中使？用的硅烷、磷烷、】乙硼烷、砷烷、【四，氯化硅、氯气—等气体这些气体【具有可燃、》有毒、腐蚀》或窒息等《特性 2！.0.33 — ，化学品 《 chemical！。 指电子！产品生产过》程中：使用的酸、碱—、有机溶剂》和氧化？物等 — ：2.：0.34《  防静电环境 】 ESD co【ntroll—ed： environ】ment — ， 具有防止静电！危，害的特定环境—在此环境中不易产生！静电或静电产生后易！于泄放？或消除静电噪声【难，以传播？ ， 2.0.！35  表面电【阻  sur—f，ace resis！tance — 《 在材料的表面上两！电极间所加》直流电？压与流过两极间的】。稳态电流之商 】