2  【术 ：   ？语 】 2.0.1 【 洁净室 》 c：lean 》roo？。m 《 ？空气：。悬浮粒子浓度受控的！房间它的建造—和使：用应减？少室内诱《入、产生《及滞留粒《子室：内其：他有关参数如—温，度、湿度《、压力等按要求【进行：控制 】2.0？.2  洁》净区 ？ clea》n zone 【 空—气悬浮粒子浓度受控！的限定空间》它，的建造和使》用应减少空间内诱入！、产生及滞留粒子】空间内其他有关参数！如温度、湿度、压】力等：按要求进行》控制可以《是开放式或封闭【式 》 2.0.3 】 ，人员净化用室 【 room》 for c—lean《ing hu—man 《。body 【 人员在进【入洁净？室(区)之前按一】定程序进行净化的房！间 —。 2.0《.，4  物料净化用】室  r《oom？。。。 for cle】aning》 mater—ial 》 《物料在进入洁净室(！。区)之前按一定【程序进行净化—的房：间 《 2.0.【5  粒径》  partica！l size—。 ， ： 由给定的粒子！尺寸测定仪响应【当量于被《测粒：。子等效的球体直径】对离：散粒子计数、光散】射仪器采用当量【光学直径《 》 2：.，0.6  悬浮粒】。子  airb【orne pa【。rticles 】 ，。。 用于—。空气洁净度分—级的空气中》悬浮粒子《尺寸范围在0.1】～5μm《的固体和《液体粒子《 2【.0.？。。7 ： 含尘浓度》  part—icle《 concen【tr：ation》 ： 单位—体，积空气中《。悬浮粒子的》颗数 — 2.0.8 】 洁：净度  cl—e，anliness ！ ： 以单位体积】。空气某粒《径粒子的数》量来区分《的洁净？程度 ？ 《 2：。.0.9  空态】  as-bui】。lt 【 设施已经建成【所，。有动力接通并—运，行但无生产设备、】材料及人《员 2】。.0.10  静态！  ：at-re》st 设！施已：经建成生产设—备已：经安装并按业主及】供应商同意》的状态运《行但无生产人员 】 ： ， ，。 2.0.11  ！动态 ？ operati】o，nal ！设施以规定》的状：态运行有规》。定的人员在场并【在商定的状况下进行！工作 【 2：。。.，0.12  气【。。流流型  》air？ pattern ！ 《 ，室内空气的流动【。形态：和分：布 《 ： 2.0.》13  单向—流  unidir！。ection—al airf【low ！沿单一？方向呈平行流线并】且横断面《上风速一致的—气流包括垂直—单向流和水》平，单向：流 2】。.0.14  【非单向流 》 no？n，-，u，nidire—ctiona—。l airflow！ 凡【不符合？单向流定义的气流】 ？。。 2.0.【15：  ：混合流  mix】e，d ai《rf：l，ow ？ ， 单》向流和非单向流组合！的气流 — 2《.0.？16  洁净工作】区  clean ！。work《ing are【a，。 ？ 指《洁净室？内离地？面高度0.》8～1. 5m(】除工：。艺特殊要求外)的区！域， 》 2.0.1—7  空气吹淋【室  airsh】。。ower 】 利？用高：速，洁净气流吹落并【清除进入洁净室人员！或物料表面附—着粒子的小室—。 》 2.0.》18  气闸室 】 air《lock 】 设置在洁净室出！入口阻？隔室外或相邻房间的！污染气流和压差【控制而设置的缓冲】间 2】.0.1《9  传递窗  】passbox 】 ？ 在洁净室隔墙】上设置？的，传递物？料和工？。器具的开口两侧【窗扇的开《启应进行联锁控制】 2.】0.：。20  《洁净工作服  cl！ean？ wor《king gar】ment — ？。 为：把工作人《员产生的粒子—限，制在：最低：程度所使用的—。。发，尘量少的洁》净服装 ！2.0.2》1  高效空气过滤！器  ？(HE？PA)high 】ef：fic？iency par！ticulat【e， air filt！er 》 在额》定风量下最易穿透】粒径法的效率在9】9.95％以上及气！流初阻？力在22《。0Pa以下的空【气过滤器 》 2.【。0.22《  超高效空气【。过，。滤器  《(ULPA)u【ltr？a low —pe：net？rati《on ai》r filt—。er 》 在额》定风量？下最易？穿透：粒，径法的效《。率在99.》999？5％以上《及气流初阻力—在250Pa—以下的空气过—滤，器 2】.0.？23  微环境【  minien】vironment！ 》 将产品生产过程】。与操：作人员、《。污染物进行严格【分隔：的隔：离空：间 ？ ？ 2.？0.2？4  风机过滤器】机组  《fan 《fi：lter 》unit(FFU)！ 由HE！PA或ULP—A与风机《组合在一起构成自】身可提供动力—的末端空气净化【。的装置 【 2.0》.25 《。 自净时间  【cleanl—iness r【ecov《ery cha【ract《。eristic 】 ： ？洁，净室被污染后净化】空调系？统开始运行至恢复到！。稳定的？规定室？内洁净度等级的【时间 【 2.？0，.2：6  技术夹层  ！technical！ mezzani】ne ？ ： 洁净厂—房中以水平构件【分隔构成的空间用于！。安装辅助设备和【公用动力设施以【及管：线等 — 2.0.—27  技术—夹道  tech】。nical tun！nel？ ？ ： 洁净厂房》中以垂直构件分【隔构成的廊道用于】安，装辅助设备和公用】动力设施以及—管线等？ 2【。.0.28  【技，术竖井  tech！nica《l shaft【 洁【净厂房中主》要以垂直《构件：分隔构成《的，井式管？廊用于？安装辅助《设，。备和公？用动力？设施以及管线—等 《 2.0—.29  专用【消防口  fire！-firing 】access ！ ？消，。防人：员为灭？火而进入建筑物的专！用入口？平，时封闭使用时由消防！人员从室外打开 ！ 2.—0.3？0，  纯水 pure！ water 】 ？ 杂质含量很—少的水其电解质【杂质含量(常以电】阻，率表征)和非电解质！杂质：(如微？粒、有机物、细【。菌和溶解气》体等：)含量均要求—很少：的水 ？。 ， ， 2.》0.3？1  常用气—体  b《u，lk gas 】 《电子产品生产过【程，中广泛？使用的氢《气、氧气《、氮气、氩气、【氦，气等气体《 2.】0，.32  特种气体！。。  spec—。i，al gas 】 ？ 电：子产品生产过程【中使用的硅烷、【磷烷、乙硼烷—、砷烷、四氯化硅、！氯气等气体这—些气体具有可燃、有！毒、腐蚀或》窒息：等特性 — 2.》0.：33  化学品 】 chem》ical 】 指电《子产品生《产过程中使用的酸】、碱、有机溶剂和】氧化物等 】 ：2.：0.34《  防静电环境 】 ESD con】t，roll《。。ed e《nvir《on：ment 】 ， 具有防止静电危害！的，特定环境在此环【。境中：不易产生静电或【静电产生后》易于泄放或消除静电！噪声难以传》播 《 2.0.3】5  表面》电阻 ？ sur《f，ace re—s，is：tan？ce 在！材，料的表面上两电极间！所加直？流电压与流过两极】间的稳态电流之商】 ：