《10.6 大宗】气体
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10.6.1 ! 大宗气体》供应系?统宜在工厂内或邻近!处设置?制气装置是》为了:。便于输送外购液态】气储罐?或瓶装气体是目前】许多工厂的实际状况!
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10.6.2【 硅集成电—路芯片?工厂用大宗》气体包?。括氮气、氢气、氧气!、氩气、《氦气五种气体—本,条对大宗《气体的使用作了【。一般规?定考虑到大宗气体】系统在工程完工、】检修后要对系统进行!吹扫同时考虑—氢,气、氧气的气体特性!规定氢?气、氧气管道的终】端或最高点应—设置放散管放散管】应引:。。至室外并《高出:建筑:的屋脊1m氢气放】散管道上应》设置阻火器
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10《。.6.3 气体】纯化装置《是保证气体》。品质的重要设备气】体气源参《数,和使用?参数是确《定纯化装置的重要数!据,;同时?纯化:装置的?布,置既要考虑气体的特!性又要便于操—作所以规定气体【依据性质布置在一个!或几:个房间内但是氢气纯!。化器因为《氢气的?爆炸特?性应布置在独立的房!间内;终《端纯:化器靠?近工:艺设备是为了保证】气体的品质
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1》0.:6.4 为防止由!于管道及《阀门附件《的油脂与管内—氧气:因管道静电》导,致的燃烧规》定,氧气管道及阀门附件!。应经严格的脱—脂处理;氧气管道】。。应设置?静,电泄放的接地设施】。是,为,了防止静电产生设】置自动切断阀是安全!设计:的要求
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10.6.】5 大宗气体管道!和阀门的选择与工】。艺,。对气体品《质的要求关联度【较大因此规定根据气!体的纯度《确定管道材料—和阀门类型》。同时规定《气体管道《阀,门、附?件的材质宜与相连接!的管道材《质一:致
【1,0.6?.6: 根据大宗气体的!性,。质规定管道连接【除与设?备,或,阀门连接《采,用卡套连接或阀门连!接外管道《连接应采用》焊接:考虑大宗气》体管道的高纯性质规!定当采用软管连接时!应采用金属软—管
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