。 10—。.6  大宗气【体 ？ ？ 10》.6.1  大宗气！体供应系统》宜在工厂内或邻近处！设置制气《装置是为《了便于输送外—购液态气储罐或瓶】装气体是目》前许多工厂的实际】状况 】。10.？6.2 《 硅：集成电路《芯，片工厂用大宗—。气体包括《氮气、氢气、—氧气、氩气、氦【气五种气体本—条对大宗气体—的使用作了一—。。般规定考虑到大宗】气体：系统在工《。程完工、检》修后要对系统—进行吹扫同时考虑氢！气、氧气的》气体特性规定氢气】、氧气管道的—终端或最高点应【设置放散管放—散管应引至》室，外并高？出建筑的屋脊—1m氢气放散管【道上应设置阻火器 ！ ： 10.6.3！  气？。体纯化装置》是保证气体》品质的？重要设备气体—气源参数和使用参数！是确定纯化装—置的重要数据；同】时纯化？装置的布置既要考】虑气：体的特？性又要？便于操作所以规【定气体依据》性，质布置在一个或【几个房？间内但？是氢气纯《化器因为氢气的爆炸！特性应？布置在独立的房间】内；终端《。纯化器靠近》工艺设？备是为？。了保证气体的品质】 1【0.6？.，4  为防止由【于管道及阀门附【件的油脂与管内【氧气因管道静电导致！的燃烧规定氧气【管道及阀门附件应】经严格的脱脂处【理；氧？气管道应设置静【电泄放的接》地设施是为了防【止静电产《生设：置，自动切？断阀是安全设计【的要求 》 10.6.！5  大宗》气体管道和阀门的】选择与工艺》对气体？品质的要求关联【度较大因此规定【。根据气？体，的纯度确定》管道：材料和阀门类型【同时规定《气，体管道阀门、附件的！材质：宜与相连接的—管道材质一致 ！ 10.6.】6 ：。 根据大《宗气体的性质—。规定：管道连接除与设备】。。或阀门连接采用【卡套连？接或阀门连接外管道！连接应采用焊—接考虑大宗》气体管道的高纯性质！规，定当采用《软管连接时》应采用？。。金属软管 —