10.6】  大宗气》体 》 《10：.6.？1  大《宗气体供《应系统？宜在工厂内或邻【近处设置制气装置是！为了便于《输送：外，购液态气储罐—或瓶装气体是目【前许多工厂的实【际状：况 ？ 10.6】.2  硅集成【电路芯片《工厂用大宗气体【包括氮气、》。氢气、氧《气、氩气、》。氦气五种气》体，本条对大宗气—体的使用作了一般】规定：考虑到大宗》气体系统在》工，程完工？、检修后要对系统】进，行，吹扫同时《考，虑氢气、《氧气的气体特性规】定氢气、氧》气管道的终端—或最高点应》设置放散管放—散管应引至室外并】高出建筑的屋—脊，1m氢？气放散管道上—应设置阻火器— ， 《 10.6.3【。  气体《纯化装置是保证【气体品质的重要【设备气？体气源参数和使用】参数：。是，确，定纯化装置的—重要数据；同—时纯化装置》的布置既《要考虑气体的特性又！。要，便于操？作所以规定》。气体依据性质布置】。在一个？或几个房间内但是氢！气纯化器因为氢气的！爆炸：特性应布置在独立的！。房间：内，；终端纯化》器靠近？。工艺设？备是为？了保证气《体的品质《 《 ， 10？.6：.4  为防止【由于管道《及阀门附《件的油脂与管内氧】气因管道静电导致的！燃烧：规定：氧气：管道及？阀门附件应》经严格？的脱脂处理》；氧气管《道应设置静电泄放的！接地设施是为了防止！静，电产生设置自动【切断阀是安全设【。计的要求 ！ 1：0.6.5  大】宗气体管道和阀门的！选择与工艺对—气体：品质的要求》关联：。度较大因《此规定根据气—体的纯度确定—管道：材料：和阀门类型同时规】。定气体管道阀—门、附件的材质宜】。与相连接的管道材质！一致 1！0.6.6 — 根据大宗气体的】性质规定管道连接除！与设备或阀门—连接：采用卡套连接或阀】门连接外管道—连接应采《用焊接？考虑：大宗气体管道—的高纯性质规—。定当采？用软管连接时应采用！金属软管 —