： 1？0，.6  大宗气【体 【 10.6.1 ！ 大宗气《体供应系统宜在工】厂内或？邻近处设《置制气装置是为了便！于输：送外购液《态气储？罐或瓶装气体—是目前许多》。工厂的？实际状况 — ： 10.6.【2  硅集成—电路芯片工厂用【大宗气体包括—氮气、氢《气、氧气、氩气【、氦气五种气体【本条对大宗气体【的，使，用作了？一般规定考虑到【大宗：气体系？。统在工程完工、检修！后要对？系统：进行吹扫同时考虑氢！气、氧气的气体特】性，规定氢气、氧气【管道的终《端，或最高点《。应设置放散》管放散？管应引至《室外并高出》建筑的屋《脊1m氢气放散管】道上应？设置阻火器 ！ 1？0.6.3 — 气体纯化》装置是保证》气体：。品质：的重要设备气—体气源参数和—使，用，参数：是确定纯化装置的重！要，数据：；同时纯化装—置的：布置既要考虑气体】的特性？又要便于操作所以】规，定气体依据性质布置！在一：个或几个房》间，内但是氢《气，纯化器？因为：氢气的爆炸特—性应布置在独立【的房间内；》终端纯化《器靠近？工艺设备是为了保证！气体的品《质 ？ 10.6】.4  为防止由于！管道及阀门附件的油！脂与管内氧》气因管道《。静电：。导致：。的燃烧规《。定氧气管道及阀【门附：件应经严格的—脱脂处理《；氧气管《道应设置静电泄放】的接地？设施是？。为了防止《静电产生设置自动】切断阀是安全设计】的要求 】 10.《。6.5 《 大宗气体管—道和阀门的选择【与工艺对气体—品，质的要求关联度较】大因：此规定？根据气体的纯度确】定管道材《料和：阀门类型同时—规定气体管道阀门】。、附件的材》质宜与相连接的管】道材质？一致 【 1：0.6.6》  根？。。据大宗气体的性质规！定管道连《接除与设备》。或阀门？连接采用《卡，。套连接或阀门—。。连接外管道连接【应采用焊《接考虑大《宗气体管《道的：高纯：性质规定《当采用软管连接时应！采用金属软管 【 ，