《10：.6：。。  大宗气》体 ？ —10.6.1—  大宗气体供应系！。统宜：在工厂内或》邻近处设置制气装】置是为了便于输【送外购液态气—储罐：或瓶装气体是目前】许多工厂的实际状况！ 1【0.6？.2  硅集—成电路？芯片工厂用大宗【气体：包括氮气、氢气、】。氧气、氩气》、氦气五种气体本条！对大：宗气体？的使用作《了一般规定考—虑，到大宗气体系统在工！程完工、检修后要对！系统进行吹扫同【时考虑氢气》、氧气？的气体？。特性规定氢气、【氧，气管道的终端或最】高点应设置放散管】放散：管应引至室外并高出！建筑的屋脊1—m氢：气放散管道上应设置！阻火器 》 ： 1？0.6.3》 ， 气体纯化装置【是保证气体品质的重！要设备气体》气源参数和使用参】数是：确定纯化装》置的重要数据；同】时纯化装置的布【置既要？考虑气体的》特性又要便于—操作所以规定—气体依据《性质布置在一个或几！个房间内但是氢【气纯化器因为氢气的！爆炸特性应布置【在独立的房》间内；终端纯—化器靠近工艺—设备是为了保—证气体的《品质 《 10.6】.4  为防止由于！管道及阀门附件的】油脂与？管内：氧气因管道静电导致！的燃烧规定氧气【管，。。道及阀门附件应经严！格，。的，脱脂处理；氧—。气管道应设置静【电泄：放的接地设施是为了！防止静电产生设置】自动：切断：阀是安全设计—的要求 》 10.【6.5 《。 大宗气体管道和】阀门的选择与—工艺对气体品—质的要求关联度较】大因此规定》根据：气体的纯《度确定管道材—料和阀门类型同时】规定气体《管，道阀门、附》件的材质宜与相【连接的管道材—质一致 《 》10.6.6—  根据《大宗气体的性质规】定管道连接除与【设备或阀门连接【。采用卡套连》接或阀门连接外管】道连接应《采用焊接考虑—大宗气体管道—的，高纯性质规定—当采用？软管连？接时应采用金—属软管 》