10—.，6  大宗气体 ！ 10.！。6，.1  大宗气体】供应系统《宜在工厂内》或邻近处设置—制气装置是为了便】于输：送外购液《态气储罐或瓶装【气体是目前许多工】厂的实际状况 ！。 10.—6.2  》硅集成？电路芯片工厂—用大宗？气体包括氮气、【氢气、氧气、—氩气、氦《气，五种气体《。本条对？大宗气？体的使？。用作了一般规定考】虑，到大：宗气体系统在—工程完工、检—修后要对系》统进行吹扫同时【考虑氢气《、氧气的气体特性】规，定氢气、氧气管道的！终端或最高点应设】置放散管放散—管应引？至室外并高出建【筑的屋？脊1m氢气放—散管道上应设—置，阻火器 — 10.—6.3 《 气体纯化》装置：是保证气《体品质？的重要设备》气体气源参数和使用！参数是确定纯—化装置的重要数据】。；，同时纯？化装置的布置既要】考虑气？体的特？性又要便于》操，作所：以规定气体》依据性质布置在一个！或，几个房间《内但是氢气》纯化器？因为氢气的爆炸特】性应布置在独立的房！。间内；？终，端纯化？器靠近工艺设—备是：为了保证气体的【品质 ？ ？ 10.6—.4  为防止由于！管道：及阀门？附件的油脂与管内氧！气因管道静电导致】的燃烧规定氧气【。。管道及阀门附件应】经严格的脱》脂处理；氧气管道】。应设置静《电泄放的接地设【施是为了防》止静电产《生设置自动切—断阀是安全设—计的要求 》。。 10.6！.5  大》宗气体？管道和阀《门的选择与》工艺对气《体品质的要》求关联度《较大因此规定根据气！体的纯度确定—管道材料和》阀门类型同时规定气！体管道阀门、附【件的材质宜与—相连接的管道材质一！致 1】0.6.6》 ， 根据？大宗气体《的性质规定》管道连接除》与设备？或，。阀门连接采用卡套连！接或阀门《连接外管道连接应】采用：焊接考虑大》。宗气体管道的高纯】性质规？定当采用软》管连接时应采用金属！软管 《