10—.6  《大，宗，气体 》。 ， ？ 1：0.6.1  【大宗气？体供应系统宜在【。工厂内或邻近处【设置制气装》置是为了便》于输送外购液态气】储罐或？瓶装气体是目前许】多工厂？的实际状况 】 ， 10《.6.2  —。硅集：成电：路芯片工厂用大【宗气体包《括氮气、氢气、【氧气、？氩气、氦气》五种：气体本条对》大宗气体的使用作了！一般规定考虑到【大宗气体《。系统在工程完工、检！修后要对系统进行】吹扫同时考》虑，。氢气、？氧气的气《体特性规定氢气、】氧，气管道？的终端或最》高点：应设置放散管放【散管应引至》。室，外，并高出建《筑的屋脊1m氢气放！散管道上《。应设置？阻火器 【 1？0.6.3  气体！纯化装置是》保证气体《品质的重要设备气】体气源参《数和使用参》数是确定纯化装置】的重要数据；同【时，纯化装置的布置【既要考虑《。气体的特性又要【便于操作所以—规，。定气：体依：。据性质布置在一个】或，几，。个房间内但是氢气】纯化器因《为，氢气的？爆炸特性《应布置在独立的房】间内；终端纯化器靠！近工艺设备是为了保！证气体的品》。质， ： 《10.6.4  为！防止由于管道—及阀门附《件的油脂与》管内氧气因》管道静电导致的燃】烧，规定氧气管道及阀门！。。附件应经《严格的脱《脂处：理；氧气管道应设置！静电：泄放的接地设施是】为了：防止静电产生设置自！动，切断阀是安全设计】的要求 《 1—0.6？.5： ， 大宗？气体管道和阀门的选！择，与工艺对气体品质】的要求关联度较大因！此规定根据气体的纯！度确定管道》材料和阀《门类型同时规—定，气体管道阀》门、附件的材质宜】与相连接《的管：道材质？一致 1！0，.6.6  根【据大宗气《体的性质规定管【道连接除与设备或】阀，门连接采用卡套连】接或阀门连接外【管，道连：接，。应采用焊《。接考：虑大宗？气，体管道？的高：纯性质规定当采用】。。软，。管连接时应采用金】。属软管 》