10.7.1  干燥压缩空气系统的设计必须考虑供气量、供气品质和压缩空气系统的损耗，从产品的工艺要求考虑，硅集成电路芯片工厂应该选用无油润滑空气压缩机。

10.7.3  工程实践表明，当干燥压缩空气输送露点低于－76℃时，采用内壁电抛光不锈钢管；当干燥乐缩空气输送露点低于－40℃时，采用不锈钢管或镀锌碳钢管是较为经济合理的选择。

10.7.4  工程实践表明，干燥压缩空气输送露点低于－40℃时，用于管道连接的密封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片。