10.7 ! ,。干燥压缩空气
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10】.7.1 —干燥压缩空》气系统的《设计必须《考虑供气量、供气】品质和压《缩,空气:系统的损耗》从产品的工艺要求】考虑硅?集成电路芯片工厂】应该选用《无,油润滑?空,气压:缩机
】10.7.3 【 工程实践表明当】干燥压缩空》气输送露点低—于,-76℃时采—用,内壁电抛光不锈【钢管;当干》燥乐缩空气》。输,送,露,点,低于-4《0℃时?采用不锈钢管—或镀:锌碳钢管是较为经济!合理的选择
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10.7.4 ! 工:程实践表明干燥压缩!空气输送露点低【于,-40℃时用于管道!连,接的密封材料宜【选用金属垫片或【聚四:氟乙烯?。垫片
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