10—.7 ?。 干燥压缩空气【
1!0.7.1 干】燥压缩空气系统的】设计必须考虑供【气量、供气品—质和压缩空》。气系统的损耗从产】。品的工艺要求考虑硅!集成电路芯片工厂】应该选用《无油:润滑空?气压缩机
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10.7.3【 工程实践表明当!干燥压缩空气输【送露点?低于:-,76℃时采用内壁】电抛光不锈钢管;当!干燥:乐,。缩空:气输送露点》低于-4《0℃时采用不—锈钢:管或镀锌碳钢管是较!为经济合理的选择
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》10.7《.4: 工?程实践表《明干燥压缩空—。气输送露点低于【-40℃时用于【管道连接的密—封材料宜选用金属垫!。片或聚四氟乙烯垫片!
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