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10.7 ! 干燥压缩空—气
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10.7.【1 干《燥,压缩空气《系统的设计必须考虑!供气量、供气品质】和,。压缩空气系统的损】耗从产?品的工?艺要求考虑硅集成电!路芯片工厂应该选】用无油润滑空气压】缩机
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1:0.7?.3 工程实践表!明当干燥压缩空【气输:。送露点低于-—76℃时采用—内壁电?抛光不锈钢管;【当干燥乐缩空—气输送?露点低于《-,40℃时采用—不锈钢管或镀锌【碳钢:管是较为经济—合理的选择
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10《.7.?4 工程实—践表明?干燥压缩空气输送】露点低于-》4,0℃时用于管道连接!的密封材料宜选用】。金属垫片或聚—。四氟乙烯垫片
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