10.7 ! 干燥压缩空—气
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10.7—.1 干燥压缩】空,气系统的设计—必须考虑供气量、】供气品质和压缩空气!系统的损《耗从产品的工艺要求!考虑硅集成电—路芯片工厂应该【选,用无油润滑空气压】缩,机
【10.7《。.,3 工程实践表明!当干燥压缩空气【输送露点低》于-76℃时采用内!。壁电抛光《不锈钢管《;当干燥乐》。缩空气输送露点【低于-4《。0℃:时,采用不?锈钢管或《镀锌碳钢《管是较为经济合理的!选择
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10.7.4 ! 工程实《践表明干《燥压缩?空,气输送露点低—于-4?0℃时用于管道连】接的密封材料宜【选用金?属垫片或聚四—氟乙烯垫片》
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