， ： 10？.5  工艺—循环冷却水 】 10.】5.：1  工艺循—环冷却水系统是硅集！成电路芯片生—产的：重要生产支》持系统,工艺循环冷！。。却水系？统循环？水量大运行能耗高如！。何根据工艺》生，产设备需求》。合理：。设计工艺循》环冷：却水系统是该—系统能否正常运行】的关键所以工—艺循环冷却水系统的！设计应充《。分考虑？工艺生？产设备对水温、水】压和水质的需—求经技？术，经济比较后合理设】置 《 10.5.】2  工《艺循环冷却水系统的！实际：。使用负荷往往随着】。生产设备《的实际？。。运行而变化波动【为了满？足水：压、水量的》要求：工，艺循环冷却》水系：统的加压水》泵通常都按》变频恒压变流量【的模式？运行设置备用泵【是考虑工艺循环【冷却水系统》的运行安全》 —10：.5.4、10【.5.5  工艺循！环冷却水系统过滤】器，。和换热？器，设，。。置备用是根据—工艺：循环：冷却水系《统的重要性和—运行安全考虑 ！ 10.5【.7  本条—规，定了工艺循环冷却】水系统输送》管路设置的》常规要求 】 10.5.8】  水？质对工艺循环冷却】。水，系统：非常重要《它不仅关《系到系？统本身？的运：行安全和稳定—。也直：接关系到与》冷却：水直接接触的工艺生！产设备的《运，。行安全和《稳定因此水》质稳定？装置的？合理选？择和设置必须充【分考虑工艺循环【。冷却水系统的形式】、系统中《各设备和管道材料】的材质以及工—艺生：产，设备过水部分的材质！并结合防腐、阻垢】和灭：菌的需？要 ？