：。 10.5 【 工艺循环》冷却水 —。 10.5！.1：  ：。工艺循环冷却水系】统是硅集成电—路芯片生产的重要】生，产支持？系统,工艺循环冷却！水系统循环》水量大运行》能耗高如何根据工艺！生产设备需》求合理？设计工艺循环冷【却水系统是该系【。统，能否：正，常运行？。的关键所以工—艺循环冷却》水系统的设》计应充分《考，虑工艺生产设备【对水：温，、，水压：和，。水质的需求经技术】。经济比较后合—理设置 《 10.5！.2  工艺循环】冷却水系统的实际使！用负荷往往随—着生产设备》的实际运行而变【化波动为了》满足水压《、水量的要求工艺循！环冷却水系》统的加压《水泵通？常都按变频恒—压变流量《的模式运《行设置备用泵是考】虑工艺循环》冷却：水系统的运行—安全 》 ？1，0.5.4、1【0.5？。.5  工艺循【环冷却水《系统：过滤器和换热器【设置备用是》根据工艺《循环冷却水系统【。的重要性和运—行，安全考？虑 ： 10【.5.7《  本条规定了工】艺循环冷却水系统输！。送管路设《置的常规要求— ？ 10.5.8！  水质《对工艺循环冷却【水系统非常重要它】不仅关？系到系统《本身的运行安—全和稳？定，也，直接关系到与冷却】水，直接接触的》工艺生产设》备的运行安全和【稳定因？此水：质稳定装置的合【理选择？和，设置必须充分考【虑工：。艺循：。环冷却水系统—的形式、系统中【各设备和管道材【料的材质以及工艺】生产设备过》水部分？的材质并结合—。。。防腐、？阻垢和灭菌的—需要 《