10.【5  工《艺循环冷却》水 ！10.5.》1  ？工艺循环冷却—水系统是硅集成电路！芯片生产的》重要生？产支持系统,工艺循！环冷却水系统循【环水量？大运行能耗高如何】根据工艺生产设备需！求合理设计工艺循】环冷：却水系统是》该，系统能否《正常运行《的关键所以工—艺循环冷却水—系统的设计应充分考！虑工艺？生产设？备对：水温、水压和水【质，的需求经技》术经济比较后合理】设，置 1】0.：5.2  工—。艺循：环冷却水系统的实际！使用负荷往往随着生！产设：备的实际运》行而变化波》动为了满足水压、】。水量的要求工艺循环！冷却水？系统的加压水泵【。通常都？按变频恒压变流量的！模，式运行设置》。备用泵是考虑—工艺循环冷却水系】。统的运行安全 【 》10.5.》4，。、10.5.5 】 工艺循环冷却水】。系统过滤器》和换热器设置备用】是根据工艺循环冷】。却水：系统的重要性和运】行安全考虑 — ： 10.—5.7  本条规】定了工艺循环冷却】水系统输送管路设置！的常规要求 【 10—。。.5.8  —水质：对工艺循《环，冷却水？系统：非，常重：要它不仅《关系到系统》本身：的运行安全和—稳定也直《接关系到与冷却【水直：接接触的工艺生【产设备的运行—安全和稳定因此水】质稳定装《。置的合理选》择和设置必须—充分考虑工艺循环】冷却水系《统的形？式、系统中各设备】和管道材料的材质以！及，工艺生产设备过【水部分的材质并结】合防腐？、，阻垢和灭菌》的需要 》