10.5 ！ 工艺循环冷—却水 】 10.5.1 ！ 工艺循环》冷却水系统是—。硅集成？电路芯？。片生产的重要生产】支持系统,工艺循环！冷却水系统循环水】量大运行《能耗高如何根据工】艺生产？设备需？。求合理设计工艺循】环冷却水系统是【该系统能否正常【运行的关键所以【工艺循环冷却—水系统的设计应【充分考虑工艺生【产设备？对，水温、水压和水质的！需求经技术经济【。比较后？合，理设置 《 ？。 10.5.2】  工？艺循环冷却水系统的！实际使用负荷往往随！着生产设备的实际】运行：而变化波动》为了满？足，水压、水量的要【求工艺循环冷却水系！。统的加压水泵通【常都按变频》恒压变流量》的模式？运行设置备用—泵是考虑《工艺：循环冷却水系统【的，运行安全 ！。 1：0，.5.4《、，10.5.5—  ：工艺循环冷却—水系统过滤器和【换热器设《置备用是根》据工艺？循环冷却水系统的重！。要性和？。。运行安全《考，虑 《 1《。0.5.7  【本条规？定了工艺《循环冷？却，水系统输送管—路设置的常规要【求 【1，0.5.8 — 水质对工艺循环冷！却水系统非常重要它！不仅：关系到系统本身【的运行安全和稳定】也直接？。关系到与冷却水直】。接接触的工》。艺生产设《备的运行安》全和稳定《因此水质稳定—装置的合理》。选择和设置》必须充？分考虑工艺循环冷】却水系统的》形式、系统中各【设备和管《道材料的材质以及工！艺生产设《备过水部分的材质】。并结合防腐、阻【垢和灭菌的》需要 《