？ 10.5  【工艺：循环冷却水》 — 1？0.5.1  【工艺循环冷却—水系统是硅集成电】路，芯片生产的重要生产！支持系统,工—艺循环？。。冷，却水系统循环水量】大运行能《耗高如何根》据工：艺，生产设备需求合【理设计工艺》循环：冷却水？系统是该系》统，能否正常运行的关键！所，以工艺循《环冷：却水系统的设计【应充分考虑》工艺生产设》备对水温、水压和水！质的：需求经技《术经济比较后合【。理设置 《 ：。 ， ， 1：0.5.2  【工艺：循环冷却《水系：统的实际《使用负荷往往随【着生产设备》的实际运行而变【。化，波动为了满》足，。水压：、，水量：的要求工艺循环冷】却水系统《的加压水《泵通常都按变频恒】压，变，流量的模式运行【设，置备用泵是考虑【工艺循环冷却水【系，统的运？行，安全 1！0，.5.4、》10.5《.5  工艺循环冷！却水系统过》滤器：和换热器设置备【用是根据工艺—循环冷却水系统【的重要性和运行【安全考虑 — 10.5.！7  本《条规定了《工艺循环《冷，却水系统《输送管路设》置的常规要求 】 ： 10《.5.8  —水质对工艺循环【冷却：水，系统非常重要—它不仅关《系到：系统本身《的运行安全和—稳定也直接关—系到：与冷却水直接—。。接触的工艺生产设备！的运行安全和—。稳定因此水质—稳定装置的合理选择！和设置必《须，充分考虑工艺—循环冷却水系—统的：形式：、系统中各设—备和管？道材料的材质以【及工艺生产设—备过：水部分的材》质并结合《防腐、阻垢和灭菌】的需要 》