10.5】  工艺循环冷却水！ ， — 10.5.1【  工艺循环冷却水！系，统是硅集成电路芯】片生产的重》要生：产支持系统,工艺】循环：冷却：。水，系统循环水》量大运？行能耗高如何—根据工艺生产设备】需，求合理？设计工艺循环—冷却水？系，统是该系《统能否正《。常运：行的关键所》以工艺循《环冷却水系统的设计！应，。充分：考，虑工艺生产》设备对水《温、水压和水质【的需求？经技术经济比较【后，合，。理设：置 《 10.—5.2？  工艺《循环冷却水系统的实！际使用负荷往—往随着生产设—备的：实际运？行而变化波动为了满！足水压、水量的要】求工：艺循环冷却水—系统的加压水泵通常！都，按变：频恒压变流量的模】式运行设置备用泵是！考虑：工，艺循环？冷却水系统的—运行：。安全 】10.5.4—。、10.5.—5  ？工，。艺，循环冷却水》系，统过滤器和换热【器设置备用是根据】工，艺循环冷却》水系：统的重要性和运行】安全考虑 【 10.5【.7  本条规定】了，工艺循环《冷却水系统输送管路！设置的常规要求 ！ 1》0.5.8》。  水质对工艺循】环冷：却水系统非常重要它！不仅关系到系统本】身的运行安全和稳】定也直接关系到【与冷却水《直接：接触的工艺》生产设？备的运行安全—和稳定因此水质稳定！装置的合理选择和设！置，必须充分考虑工艺循！环冷却水系统—的形式、系统—中各设备《和，管道材？料，的材：质以及工艺生产【设备过？水部分？的材质并结合—防腐、阻垢和灭菌】。的需要 》