10—.4：  废   — 水 《 1【0.4.《1 ： 硅集成电路芯片生！产废水通《常包括可回用废水、！含氟废水、化学【机械抛光废水—、一般酸碱废水、】高浓度含氨》废水等分类》。。收集：既是提高废水—处理效率《的，。需要也是提高—全厂水？系统回用率的需【要， ， 10.】4.3  硅—。集成电路《芯片：生产排？放的废水其水—质，和，水量在一天》24h内均存在波动！水量、水《质波动越大过程【参数越难以控制处理！效果越不稳定因此为！。了，保证废水《处理：系统：的平稳运行设计大】。小合适的调节—池对废水进行均【质均量的调》整是非常《重，。要的同时合》理设计调节池—对后：续处理设施的—处理能力、》基建投？资、运转《费用：等均有较《大影响 》 1》0.：4，.5  《硅集成？电路芯片生》。产废水种类较多且】污染物特性各不相同！如何处置《脱，。水后的泥《饼直接影响废水和污！泥系统的分》类和处置技术 ！ ？    目前国内】。较为：成熟的污泥脱水设】备有压滤机和离【心脱：水机等脱水》设备的选择》应充分考《虑污泥？的脱：水性质和脱水要求】结合设备《的供货情况》经技术经济比较【后确定污泥脱—水性质的指标—有比阻、黏滞度、粒！度等脱水要求通常是！。指泥饼？的含水率 — ， 10.4【.6  进入脱【水设备的污》泥含水率直接影【响泥饼的产率在一定！条件下泥饼》的产：率与：进，入脱水没备的—污泥含水率成反比关！系因此当污泥—含，水，率大于98%—时应该考虑适当【。的浓缩处理以—降低其含水率 ！ 10.4.7！ ， 硅集成电路芯【片生产废水处理后生！成的污泥《需要根据其是否是危！险废物分《别进行外《运处置外运的频【。度往往取决于—委外处置厂商的处理！能力和外运条件所以！废，水处理站通常都需】要考虑污泥》。暂存：的污泥料仓》或堆场 — 10.4.9！ ，。 ，硅集：成电路芯《片工厂要达到高效用！水通常采取》两种途径《。循，环使用和回收利用】循环使用《通常在生《产工艺设备的设【计制造过程中加以考！虑而回收利用则是水！系统工程师必须要】考，虑的问题如何保【证不同水质》和，水量的用后》纯水：有效回收《和利用离不开对【。全厂用水《系统的？水量平衡水量—平衡是指在一—个确定的《用水系统内》输入水量之和等于输！出水量之和硅集成电！路芯片工厂的水【量，平衡是以硅集—成电路芯片生产【为主要考核对象通过！。对各用水系统的用】水水质和消耗水量的！分析根据水量的【平衡关系分析用水】的合理程度 【