10.4 ！。 废   》 水 】 10.4.1】  硅集成电路芯片！生产废水通常—包括可回用废—水、：含氟废水、化学机】械抛光废水、一【般酸碱废水、高浓度！含氨废水等分—类收集既是提高废】水处理效率》的需要也是提高全】厂水系统回用率的需！要 》 10.4.3 ！ 硅：集成：电路芯？片生产排放的废水】其水质和水》量在一天24h内】均存在波动》水量、水质波动越大！过程参数《越难以控制处理效果！越不稳？。定因此为了保证废水！处理系统的平—稳运行设计大小合】适的调节池对废【水进：行均：质均量的调》整是非常重要的【同时合理设计—调节池对后续处理设！施的处理能力—、基建投资、运【转费用等均》有较大影响 — ？ 1？0.4.5》  硅集成电路【芯片生产废水—。种类较多且》。污染物特性各—不相同如何处置脱】水后的泥饼》直接：影响废水和污泥系统！的分类和处置技术 ！ ：     目前！国，内较为成熟的污【泥脱水设备有压滤】机和离心脱水机等】脱水设备的选择应】充分：考虑污泥的脱水【。性质：和脱水要求》结合设？备的供货情况经【技术：经济比？较后确定污》泥脱水性质的—指标有？比阻、黏滞度、粒】度等脱水《要求：通常是指《泥饼的含水率 【 ： ？10.4《.6  进入脱水】。设备的污泥含水率直！接影：。响泥：饼的产率在一—定条件下泥》饼的产率与进入【脱水没备的污泥【含水率成反比关系因！此当污泥含水率大】于98%时应该【考虑适当的浓缩处】理，以降低其含》水率 《 《。10.4.7—  硅集成电路芯】片生产废水处理【后生：成的污？泥需要根据其是否】是危险废物分别进行！外，运处置外《运的频度往往取决于！委外处置《厂商的处《理能力和《外运条件《所以废水《处理站通常都需要考！虑污：泥暂存的污泥料【仓或堆场 】 ：10：.4.9  硅【集，成电路芯片》工厂要达到》高效用水通常—采取两种途径循【环使用和回》。收利用？循环使用通常—在生产工艺设备的设！计制：造过：程中加以考虑而【回收利用则》是，水系统工程师必【须要考虑的问—题如何？保，证，不，同水质和水量—的用：后纯水？有效回收《和利用离《不开对？全厂用水系统的水量！平衡水量平衡是指在！一个确定的用水【系统内输入水—量之：和等于输出水量之】和硅集成电路芯片工！厂的水量平衡是【以硅：集成电路芯片生【产为主要考核对【象，通过对？。各，用水：系统的用《水水：质和：消耗水量的分析【根据水量的平衡关】系分析用水的合【理程度 《 ，