10.4 ！ 废    —水 — 10.4【.1  硅集成【电路芯片生》产废水通常包括可回！用废水、含氟废【水、化学机》械抛光废《。水、一般酸碱废水、！高浓度含氨废水等分！类收集既是》提高废水处》理效率的需》要也是提高全—厂水系统《回，用率的需要 — ， ： 1？0.4.3  【硅集成？电路芯片生产排放的！废水其水质和水量在！一，天24h内均存在】波动水量、水—质波动越大过程参】数，越，难以控制处理效果越！不稳定因此》为了保证废水处理系！统的平？稳运行设计大小【合适的调《节池对废水进—行，均质：均量的？调整是非常重要的】同时合？理设计调节池对【后，续处理设施的处理】能力、基建投资、运！转费用等均有—较大影？响 【10.？4.5  硅集成】电，路芯片生产废—水种：类较多且污染物特】性各不相《同如何处置脱水后】的泥饼直接影—响废水和污泥系统】的分类和处置技术】   】  目前国》内较为成熟的污泥】脱水设备有压滤机】。和离心脱水机等脱水！设备的选择应—充分：考虑污泥的脱水性质！和脱水要求结合设备！的供货情《况经技术《经济比较后确定污泥！脱水性质的指标有】比阻、黏滞》度、粒？度等脱水要》求通常是指泥饼的】含，水率： ： ：。 10.4.【6 ： 进入脱水设备【的污泥含水率直接影！响泥饼的产率—在一定条件》下泥：饼的产率与进—。入脱水？没备的？污泥含水率》成反：比关系因此》当污泥含水率大于9！。8%时应该考虑适】当的浓？缩处理以《降低其含《水率 】10.4.7  】硅集成？电路：芯片生产废水处【理后生成的污泥【需要根据《其是否是危险废物分！。别进行外运》处置外运的频—度往往取决于—委外处置厂商—的处理能力》。和外运条件》所以：。废水处理站通常都需！要考虑污泥暂存【的污泥料仓或—堆场： 《 ， 10.4》.9 ？ 硅：集成电路芯片工厂】要达到高效》用水通常采取两【种途：径循环使用和回收】利用循环使用通常】在生产工艺设备的】设计：制造过程中加以考】虑而回收利用则是水！系统工程《师必：须要考虑的问题如】。何保证？不同水质和水—量的用后《纯水有效回收和【利用离不开对全【厂用水系统的水量平！衡水量平衡是指【在一个确《定的用？水系统内输入水【量之和等于输出【水量之？和硅集成电路芯【片工厂的水量平【衡是以硅集》成电路芯《片，生产为主要考核【对象通？过对各用水》系统的用水》水质和？消耗：水量：的分析根据水量【的平衡关系分析【用水的合理程度【 ：