。 1》0，.4  废》    水 ！。 10—.4.1  硅集成！电路芯片生》产废：。水通常包括》可回用？废水、含《氟废水、化学机械抛！光废水、一般酸碱废！。水、高？浓度含氨废水等分类！收，集既是提高废水【处理效？率的需要也是提高】全厂水系统回用【率的：需要 【 10.4.3 】 硅集？成电路芯片生产排】放，的废水其水》质，。和水量？在一天2《4h内均存在—波动水量、水质波动！越大过程参》。数越难以控制处【理效果越不稳定【因此为了《保，证废水处理系统【的，平，稳运行？设计：大小合适的调—。节，。池，对废水进行均质均】量的调整是非常【重要的同时合理【设计调节池对后【续处理？设施：的，处理：能力：、，基建投资《、运转费用等均【有较大影响 】 1《0.4.5  硅集！成电路芯片生产废水！种类较？。多且污染《物特性？各不：相同如？何处：置脱：水，后的泥饼直接—。影响废水《和污泥系统》的分类和处置技【术 【。    《目前国内较为成熟的！污泥：脱水设备有压—滤机和离心脱水【机等脱水设备的选】择应充分考虑—污泥：的脱水性质和脱水】要求结合设》备的供货情》况经技？术经济比较后确【。定污：泥脱水性质的指【标有比？阻、黏？滞度：。、粒度等脱水—要求通常是指—泥饼的含水率 ！ 10》.4.6《  进入《脱水设备的污—泥含水率直接—影，响泥饼的产率在【一定条件下泥—饼的产率《与进入？脱水没？备的：污泥含水率成反比关！系因：此当污？泥含：水率大于《98%时《应，该考虑适当》的浓缩处理以—降低其含水率 【 10.4！.7  硅》。集成电？路芯片？。生产：废水处理《后生成的污泥需【要根据其《是否是危险废物分】。别进行外运处—置，外运：的频：度往往取决于委外处！置，厂，商的处理能力和外】运，条件所以废水处理站！通常都？需要考虑污泥暂存】的污泥？料仓或堆《场 10！.，4.9  硅集成】电路芯片工》厂要达到《高，效用：水通常采取两种【途径循环使》用和回收利用循环使！用通常在生》产工艺？设备的设计制造【过程中加以考—虑而回收《利用则是水系统工程！师必须要考虑—的问题如何保证不同！水质和？水量的用后纯水有】效回收和利用—离，不开对全厂用水系统！的，水量平衡水》。量平衡？是指在一个确定【的用水系统内—输入水量之和等于输！出，水量：之和硅集成电路芯片！工厂的水量平衡是以！。硅，集成电路芯片—生，。产为主要考核对【象通过对各用水【系统的用水水质和消！耗水量的分析—根据水？量的平衡关系—分析用水的》合理程？度 ？