1》0.4  废  】  水？ — 10.4.1 ！ 硅集成电路—。芯片生产废水通常包！括可回用废水、【含，氟废水、化学机械】抛，光废水、一般酸【碱废水、《高浓度含氨废—水等分类收集既是提！高废水处理效率的需！要也是提高全厂水系！统回用率的需要 ！ 《10.4《.，3，。  硅？集成：电路芯？片生产排放》。的废水？其水质和《水量在一天》24：h，内均存在《。波动水？量、水质波动越大】过程：参数：越难以控制》处理效果《越不稳定《因此为了保》证废水处理》。系，统的平稳《运行设计大小合适】的调节池对废水【进行均质均量—。的调整是非》常重要的同时—合理：设计调？节池对后续处—理设施？的处理？能力、基建投资【、运转？费用等均有》较大影响 】 1？0.4.5  【硅集：成电路芯片生产废水！种类较多且》污染物特性各不相同！如何处置脱水—后的泥饼直》。接影响废水和—污泥系统的分类【和处置技术 ！。     目【前国内较为成—熟的污泥《脱水设？。备有压滤机和离心】脱水机等脱水设【备的：选择应充分考—虑污泥？。的脱水性质》和脱水要求结合设】。备的供？。货情况经技》术经济比较》后确定污泥脱水性质！。的指标有比》。阻、黏滞度、粒【度等脱？。水要求通常是—指泥饼的《含，水率： 》 10？.4.6  进入】脱水设备的污—泥含：水率直接影响—泥饼的产率在一定条！件下泥饼的产率与】进入脱水没备的污泥！含水率成反比—关系因此《当污泥含水率大【于98%时》应该考虑适当的【浓缩处？理以：降低其？含水率 【 10.4.7 ！ 硅：集成电路《芯片生产《废，水处理后生成的污】泥需要根据其是否】是危险废物》分别进行外运处【置外运的频度往往】取，决于：委外处置《厂商的？处理能力和》。。外运条件所以废水处！理站：通常都需要考虑污泥！暂存的污泥料—仓或堆场《 《 ：10.4.9—  硅集成电路芯】片工厂要《达到：高效用水通常采取两！种途径？循环使用《。和回收利用循环【使用通常在生产工】艺设备的设》计制造过程中加以考！虑而回收利用则是】水，系统：工程师必须要考虑的！问题如何保证不同】水质和水量的—用后纯水有效回收】。和利用离不开对【全厂用水系统的【水量：。平衡：水量平衡是》指在一个确定—的用水？。系统内输《。入水量之《和等于输出水量【之和：硅集成电路芯片工】厂的水？量平衡？是以硅集成》电路芯片生》产为主要《考核对象《。通过对各用》水系统的用》水水质和消耗水量】的分析根据》水量：的平衡关系分析用水！的合理程度 【