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? 10.4》。 , 废    —水 】 10.4.—1  硅集》成电路芯片》生产:废水通常包括可【回用:废水、含氟》废,。水、化?学机械抛光废水、】一般酸碱废水、高浓!度含氨废水等分类收!集既是提高废—水处理效《率的:需要也是提高全【厂水系?统回用率的需要【 《。 10.4—.3  硅集成【电路:芯片生产排放的废】水,其水质?和水量在一天24h!内均存在《波动水量、水质【波动越大过程参数】越难以控制》处理效果《越不稳定因》此为了保证废水【处理系统《的平稳运行设计大小!合适的调《节池对废水进行均质!均量的调整》是非常重要的同【时合理设计调节【池对后续处》理设:施的处理能力、基建!投资、运转费用等】均有较大《影响: 》。 10.4.5【  硅集成电—路芯片生《产,废水种类较多且污】染物特性各不相同如!何处置脱水后的泥】饼直接?影响废?水和污泥系统—的分类和处置技术 ! 》    目前—国内:较为成熟的》污泥:脱水设备《有压滤?机和离心脱水机等】脱水设备的选择应充!分考:虑污泥?的脱水性《质,和脱水要求结合【设备的?供,货情况经《技术经?。济比较后确定污【。泥脱水性《质的指标《有比阻、黏滞度、粒!度,等,脱水:要求通常是指泥【饼的含水率 【 10—.4.6  —。进入脱?水设备的污泥—含,。水率:直接影响泥饼—的产率在一定—条件下泥《。饼的产?率与进入脱》水没备的污泥含【水率成反《比关:系因:此当污泥《含水率大于》98%时应该考虑】适当的?。浓缩处?理以降低其含水率 ! 10.4!。.7:  硅?集成电路《芯,片,生产废水处理—后,生成的?污泥需要根》据其:是,否是危险废》物分别进行外—运处:置外运的频度往往】取决于委外处置【厂商的处理能—力和外运条件—所以废水处理站【通常都需要考—虑污泥暂存的污泥】料仓或堆场 — 《 10.4.9 】 硅集成电路芯片】工厂要达到高效用】水通:常采取两种途径循】环使:用和回收利用—循环使用通常在【生产工艺《设备的设计制—。造过程中加以考【虑而回收利用则是水!系统:工程师必《须要:考虑的?问题:如何:保证:不同:水,质和水量的用—后纯水有效回收和】利用:。离不开对全厂—用水系?统的水量平衡水【量,平衡:是指:在一个确定的—用水系统内输入水】量之和等于》输出:水量之?和硅集成《电路:。芯片工厂的水量平衡!是以硅集成》电路芯片生产为【主要考核对象通过】对各用水系》统的用水《水质和消耗水量的】分析根据水》量的:平衡关?系分析?用水的合《理程度 》