： 10.3—  纯   — 水 》 10【.3.？1  芯《片生产？过程中？需大量使用》超纯水作《为清洗用水》我国水资源短—缺、淡水资源总量】约每年26200】亿m：3人均占有》量，为每年2392m3！为，世界：人均占有《。量的1/4》名列第110位由】于各地？区处于不《同的水文带》及受季风气候影【响水资源与土地、矿！产资源分布和工【业用水结《构不相适应水污染】严重水质型缺水更加！剧了水资源》的短缺？高速扩张的产—能和日益匮乏的【水资源的尖锐对立】如，何合理的制》水、用水并综合【利用水？资源是硅集》成电路芯《片工厂纯水》系统设计的基础纯水！制备系统需根据【生产工艺的要求【合理制？定制备系统规—模，和供水水《质超纯水制备可利用！水，源包括自来水以外】的再生水、》。甚至废水处理—站处理后《的水体现面对水资】源匮乏设计中不能】只考虑自来水—而忽略其《他水源 】。 10.3.3【  实践证明采【用循环？供水方式是》行之有效的主—要是基于保证输水】管道内？的流速和尽量减【少不循环段》的死水区《。以减少纯《水，在管道？内的停？留时间减少管—道材料微量溶出【物（即使《目前：质量最好的管—道也会有微量溶出物！）对超纯水水质的】影响同时较高的流】速还可以防止细【菌微生物的滋生【 》。 10？.3.？6  纯水系—统，管材的选择方面主要！应考虑三方面的【因素 ？ 材料【的化：学稳定性《纯水：是一种极好的溶【剂为了保证在输送】过程中纯水水质【下降最小必须选【择化学？稳定性极好的—管材也就是在所【。要求的纯水中的溶出！物最小？。溶，出，物，的多：少，应，由材料的溶出试验】确定其中包括金属】离子、有机物—的溶出等 【。 管道内壁【的光洁度若管道内壁！有微小？的凹凸会造成微粒】的沉：积，和微生物的繁殖【导致微粒和细菌【两项指标的》不，合格：目前聚偏氟》乙烯（PVDF【）管道？内壁粗糙度可达小】于1：μm的水《平，而不锈钢管约为几十！微米 【 管道及管件—接头处的平整—度对：于，防止产生流》水的涡流区是非常重！要的 【 10.3》.8：、10.3.9  ！纯水作？为清洗用水经过【工艺生产《设备使用后应—尽，可能做到“清污【分流”？选择收集低》污染度的《清洗废水作为—纯水制？备的：原水或其他次级用】水的原水促进水的循！环利用和重复使用实！现高效率的一—水多用是《实现纯水系统和全】厂高：回用率的关键所在】用后纯？水的重复利用既【要达到高的回用【。率同时也《。必须保证工艺—设备：的用：水安全？因此确？定，回收水水《质对纯水系统—设计影响很大回【收水水质《。。必须：根，据回收系统的处理】工艺和处理能力来确！定在设计初期必【须结：合目前？成熟可？靠的工程技术和经】济条件？做好：相关的技术评估工作！既要确定可》供安全回收的回收水！水质也？必须考？虑到回收水》水质变化对纯—。水系统？的影：。响，和，冲击：。根据：国，内硅集成电路芯【片工：厂运：行经验以《及国外同类》工厂的？技术水平6》英，。寸硅集成《。电路芯片《工厂的工艺废—。水的：回用率？不应低于50％8英！寸～1？2英寸硅集成电路】芯片工厂《的工艺废水的回用】率，。不，应低于7《5％ 《