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9.5》 通信与安全保护!
9!.5.1 一个完!整的硅集成电路芯】片工厂?通常组?。。织严密、内部—。分工细致各工—段相互联系紧密【对外需随《时保持联系》因而通常需在厂内靠!。。近办公区《设一电?话站装设程控数字】电话交换机生产厂房!洁净区电《话由程控交换机引】来洁净区内通—。常采用综合布—线系统?设置电话插》座(单孔)和电【话/数据插座(两孔!或三孔?。)两:种,信息插座
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9.5.2 ! ,。硅集成电路芯片厂】房设置火灾自动【报警系统主要—目的为保障贵重工艺!设备:以及:及早发?现火:灾隐患同《时根据洁净》厂,房的特点一》旦火灾?发生人员进》入较困难因而—火灾自?动报警系统》必须设置《。设置火?灾自动报警系统【的区域根据生产【工艺布置和公用动力!系统的装《设情:况包括洁净生产【区、技术夹层—、机房、站》房等均应《设火:灾探测器全面保护】
硅集成!电路芯片厂房内设】。备、仪器较》为昂贵且厂房—建造:。费用:较高一旦着火—损失:巨大同时洁净厂【房,内人员进出迂回【曲折人?员疏:散困难不易发—现火情消防人员难】以接近防《火有一定的困难为达!到室内净化》级别:洁净室内对气流、空!间大小、换气率都】有较:高,的要求火灾发生【后,若一旦关闭净化【空调系统即》使再恢复也》会影响洁净度使【其达不到工艺生产】要,求而造成损失—而且:中断生产和烟雾【对设备?的影响所造成的损失!。很,难弥补洁净》室内:一般空?间,。较大、气流》速,。度高(换气次数40!。次/h~120次】/,h)普通的》感烟探测器对—烟雾探测有很—大的困难所以洁净室!。内的烟雾探测既重】要又困难《常规的火灾探测器】。系统:往往不能有效—。地发挥作《用采用早期火灾探测!。。及,报警技术可》以克服?洁净室内高气流、】大空间的《探测难度以达到【火灾极早期报警使火!。灾损失最小》
—9,.5.6 —硅集成电路》。芯片厂广播应满【足应急广《播最低声压级的【要求即洁净室—内扬声?器的额定《。功率:不应小于3W—在环境噪《声大于60》d,。B的场?所在其播放》范围内?最远点的播放—声,压级应高《。于背景噪声15dB!
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