9》。.2  《照    明 ！ 9—.2.1  净化】生产区照明的—照度值？宜为500》lx光刻区》的照度值宜为60】0lx辅助》设备区的照度宜为3！00lx《实验室的照度值宜为！60：0lx辅《助，工作室？、人员？净化和物《料净化用《室、气闸室、走廊等！照明的照《度值宜为200lx！～300l》x —。。 9.2《.5  光》刻区照明使用黄【光，由于波长较长能量】较低：不，会影响到感光胶【；外界照明光线是】白光含有多种—波长的？组合其短《波长的？。。成分足以使感—光胶：。曝光 《