《9.：2  照 》。   明 】 9.2.1！  ：。净化生产区照明的】照度值宜为500】lx光刻区的照度值！宜为6？00lx辅助设备区！的照度宜为》300lx》实验室的照度值宜】为60？0lx辅助》工作室、人员净化和！物料净化用室、【气闸室、走廊—等，照明的照《度值宜为20—0lx～30—0lx 【 9.2.5【 ， 光刻区《照明：使用黄光由于波【长较长能量较低【不会影响到》。感光胶；外界照明光！线是白光《含有多种《波长的组合其短【波长的成《分足：以使感光胶》曝光 《