《。9.2  照— ，   明《 》 ， 9.《2.1  净化【生产区照明》的照度值宜为5【。00：lx光刻区的照【度值宜为600l】x辅助设备区的【照度宜为3》00lx《实验室的照度—。值宜为600l【x，辅助工？作室：、人员净化和物料净！化用室、气闸室、】。走廊等照明的照【度值：宜为：200lx～3【00lx 】 9.2.5【  光刻区照—明使用黄光》由于波长较》长能量较低不—会影响到感光胶；外！界照：。明光线是白》光含有多种波长的组！合其短波长的成【分足以使感光胶曝】光 ？