9》.2  《照， ，   明 — 《 9.2.—。1  净化生—产区照？明的照度值宜为【500？。lx光刻区的照【。度值宜？为600lx辅助】设备区的照度宜为3！00lx实验—室的照度值宜为60！0lx辅助》工作室、《人员：净化和物料净—化用室、气闸室、】走廊等照明的照度】值宜为200lx～！3，00：lx ？。 9—.2.5  光刻区！照明：使用黄光《由，于波长较长能量较】低不会影《响到感光胶》；外界照明》光，线是白？光含有多种波长的】组合其？短，波长的成分足以【使感光胶曝光 】