， 9.2  】照，    明 ！ 9.2.】1  净化》生产区？照明的照《度值宜为500l】x，光刻区的照》度值：宜为：600lx辅—助，设备区的照度宜【为300l》x实验室的》照度值宜为》600lx辅助工作！室、人员净化和物料！净化用室《、气闸室、》走廊等照《明，的照：。度，值宜为200lx～！30：0lx 【 9.《2.5  》光刻区照明使用【黄光由于波长较【长能量较低不会影】响到感光胶；—外界照明光线是白】光含有？多种波长的》。组合其短波长的成分！足以使感《光胶曝光 —