9.—2 ： 照    —明 ：。。 ？ 9》.2.1  净【化生产区照明的照度！值宜为500l【x光刻区的照度【值宜为600l【x辅助设《备区的照《度宜为3《00lx实》验室的照度值宜为6！00lx《辅，助，工作室、人员净化】和，。物，料净化用室、气闸室！、走廊等照明的照】。度值宜为200lx！～30？0lx ！9.2.5 — 光刻区照明使【用，黄光由？于，。波长较长《能量较低不会影响到！感，光胶；外界照明【光，线是白光含有多种波！长的组？合其短？波长：的成分足《。以使：感光：胶，曝光 《