硅集成电路芯片工厂设计规范 [附条文说明] GB50809-2012 建标库

8.4  

8.4.1~8.4.3  灭火器是扑灭初期火灾的有效手段,考虑到洁净室为防止灭火器误喷而污染洁净环境,洁净室内所用灭火器通常采用二氧化碳作为灭火剂。但是按相关规范设置级别所布置的手提式二氧化碳灭火器通常较重,不便于使用,所以通道上宜设置推车式二氧化碳灭火器以方便使用。