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? 9 《。电 气 》 — 9.1 供! :配 : 电 【。 ?9.1.3 硅】集成电路芯片生产的!工艺设备大》多数:为进口设备其用电】电压可能是2—08V/12—。0V、?。3,。80V/2》20V、4》15:V/240V、4】8,0V/277V等应!根据各种电压等级】设备的用电》。。需求量确定合理的变!压,器配置方案 【