8.—。3 消 》 防
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8.3.—1 :。 ,。硅集成电路芯片【生产厂房是一—。。。。。个相对封闭的建【筑物:室内设?备众多?通道狭长而曲折一】旦发生火灾》。人员的疏散和灭火】都非常困难为了确保!生产操作人员和【设备财产《。的安全?设计中?应贯彻?“预防为主防消结】合,”的消防工作方针因!此硅集?。成电路芯片生产厂房!除了设计有效的防】火,措施:外,还必须?根据消防安》全、经济高效、合】。理统一的《。原则:设计有效的》灭,火设施预防火灾的发!生和:蔓,。延
【8.3.2》 硅集成》电路芯片生产过【程中使用《大量的特种气体和】化学品这些特种气】。体和化学品通常具】有不同的化学性【质如可燃《、易燃、自燃、【腐蚀、氧化或惰性因!此,硅集成电路芯—片厂房需要根据不同!物,品的火灾危险性有针!对,性,的,设置不同的》消防措施如ClF3!遇水:会发生爆炸就需要】根据其特性》采用非水消防的【消,防措施
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8.3.3 【。 ,消防加压水泵是消】防给水系统》的关:键设备?直接关?系消防给《水,系统是否《完善决定了火灾扑】救的效?果根据?火灾扑救效》果统计在扑救失利的!火灾案例中8—1.5%的》火场消防供水不足导!。致,。火势失控
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:8.3.4》、8:.3.5 此规】定是根据我国的有关!方,针政策、具体—工程实际情》况并结合消防—施救能?力和扑?。救习惯而制定的
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8.3.!6 硅集成电路】芯片生产《厂房通常根据生产需!要调整房间布—置或设备布置有【时需要调整消—。。火,栓的位置室内消火】栓设置单《独的隔断阀门可以使!消火栓位置的调【整变得快捷》方便
8!.3:.7 ? 自动喷水灭火系统!是硅集成电路—芯,片生产厂房的最为】有效的?灭火:设施一?旦发生?火情:喷头及时开启出【水可以有效》地控制火情并扑【灭火灾硅《。集成电?路芯片生产厂—房自动喷水灭火系统!设计参数的确定【。。是根据国《内外集?成电路?芯片生产厂房的常】规,实践所?规定的
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8.3.9 在!硅集成?电,路芯片生产》厂房洁净《。空调系统《的运行?过程中送风自—上,而下即使《发生:火灾部分风机—过滤:单元仍旧送》风使得喷头不能及时!感受到热《气流的?热量为了让喷—头能及时动作应【采,用快:速响应喷头其动【作速度远快于标【准喷头
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,8.3.10 】软管用于硅》集成:电路芯?片生产厂房的喷【头连接可以避免地震!时由于吊顶与消【防管路的相对位移造!成的管?路和喷头的破损而】引发的水渍》。损害同?时由于软《管具有一定》的长度在喷头位置需!。要根据房间分隔变】化时可?以带水作业便于快】捷方便调《整喷:头布置而且软管安】装简单?快捷还?可有效地降低硬管】安装误差所造成【的吊顶与消防管【道间:的应力采用不锈【钢材质是为》了减少腐《蚀并降低粉尘—污染:
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8.3.!。11: 本条《规定是参照》国内外类《似项目的设计—实践目的是为了自】动喷水灭火系—统能够?及时开启《。迅,速,控制:并扑:灭火灾避免火势蔓延!本条为强《。制性条文必须严【格执行
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8.3—.12 硅烷具】。有自燃性一旦泄漏】容易:。发生自燃如果—采用普通的湿—式灭:火,系统或?。雨淋:系统火势扑灭—后泄漏的气体容易】发生爆炸所以该【类火灾的《灭火要求是首先【及时关?断自动关断阀切【断气源?防,。止事故扩大同时做】好气瓶的防护
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8》.3.13》 本条是根据国内!外集成电《路厂房的工程—实践和借鉴美国防火!协会标准半导—体制造设施》保护标准N》FP:A, 3:18的相关》规定而?制定的
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