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8.2 【 给 排 》。 水
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—8.2.4 硅集!成电路芯片生产工艺!复杂:加工精度高大多数】工序都?要使用超《纯水清洗硅片水资】源消耗量较高虽【然城市自来水作为芯!片工厂水源已经很安!全为:了保证?用水:更安全很多企业都加!大了水?回用的力度同时【在可能的情》。况下还?自备水源《(,如地:下水)所以无论回】用水:还,是自备水源水质【是否优于城》。市,自来水水《质均不得《用管道直《接连接在《城市自?。来水管上(即使加】装倒:。流防止器也不允许)!这也是国际上通【行的规?定本条为强制性【条文必须严格执行
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》8.2.8 由于!管道:法兰:处,容易泄漏所以输【送有毒、有害、腐蚀!。性介质的管道不得在!。人行通道和》机泵上方设》置法兰以免法—。兰渗漏时介质落于人!体上而发生工—伤事故如果》在管道与法兰连接】的设备、阀门、【特殊管件连接—处必须采《用法兰连接》时连接法兰处应【采取有效的防护措】施
8】.2.10、8.2!.11 《 硅集成电》路芯片厂房》。根据生产需》。要通常?使用较?多的化?学药品?这些化学药品性质】各不相同《分别表现《为可燃?、,易燃、?自燃、有毒》、腐蚀或《氧化性针对不同化】学特性这些化学品】通常都应《分门别类储存同时】不得和?禁忌物?品混合?储存作为贮存和配】送化学药剂的—房,间必须要《。有,可靠的排《水措施?将泄:漏的化?学药剂和《消防排水有》组织收集并临时贮】存避免因《为化学药剂》和,被化:学药剂污染的—消防排水因》无组织四处漫流而】导,致人员伤《害和环境《污染就地《。。通过地?沟等设施贮存泄漏的!。化学药剂和》消防排水是一—种,常,见的简单易行的【技术措施
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