8.2 】 给 排 —水
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》8.2.4 【。硅集成电路芯片生】产工艺?复杂加工精度—高大多数工》序,都要使用《超纯水清洗》硅片水资《源消耗?量较:高虽然城市》自来水作为芯片工厂!水源已经《很安全为了保证用】。水更:安全很?多企:业都加大了》水回用?的力度同时在可【能的情况下还自备水!。源(如地下水)所】以无:论回用水还是自备水!源水质是《否优于城市自—来水水质均不得用】管道直?接连接在城市自【来水管上(即使加】装倒流防止器也【不允许?),这也是国际》上通行?的规定本条为强制性!条文必须严格执行】
8.】2.8 》由于管道法》兰,处容易泄漏》所以输送有》毒、有害、腐蚀【性介质的管道不得】在,人行通道和机泵【上方设置法兰—以免法?兰,渗漏时介质落于人体!上而发?生工伤?事故如果在管道与】法兰连?接的设备、阀门、】特殊:管,件连接处必须采用法!兰连接时连接法兰处!应采取有效》的防护措施
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8.《2.10、8—.2:。.11 硅集【成电路芯片》厂房根据生产需要通!常使用?较多的?化学药品这些化【学药品性质各不【相,同分别表现为可【燃、易燃《、自:燃、有毒、》腐,蚀或:氧化性针对不同化】学,。特性这些化》学品通常都应分门】别类储?。存同:时不:得和禁忌物》品混合储存作为【贮存和配送化学【药剂的房间必须要】有可靠的排水—措施将泄漏的化学药!剂和:。消防排水有组织收集!并临时贮《存避免因为化学【药剂和被《化学:药剂污染的消防【排水因无组织四处漫!流而导致人员伤【害和:环境污染就地—通,过,地沟等设施贮存泄】漏的化学药》剂和消防排水是【一种常见的简单易行!的技术措施
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