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8》.2  给 排 】 水 】 8.2.4【。  :硅集成电《路,芯片生产工艺复【杂加:工精度高大多数工序!都要使用超纯水清】洗硅片水资源消耗量!较高虽然城市自来水!作为芯片工》厂,水源已经《很安全为了保证【用水更安全很—多企业都加》大了水回用的力【度,同时在可能的—情况下还自》备,水源(如《地,下水)所以无论回】用水还是自备—水源:水质是否优于城市】自来水水质均不得】用管道直《接连接在城》市自来?水管上(即使加装倒!流防止器也不允许)!这也是国际上—通行的规定本条【为强制性条文必须严!格,执行: 8【.,2.8  由—于管道法兰处容【易泄漏所以输送【有毒、有害》、腐蚀性介质的管道!不得在?人,行通道和机》泵上方设《置,。法兰以?免,法兰:渗漏时介质落—于人体上而》发,生工伤事故如—果在管道《与法兰连《接的设?备,、阀门、《特殊管?件连接处必须—采用法兰连接—时连:接法兰处应采取有】效的防护措施 ! 8.2—.10?、8.2.》11  《硅集成电《路芯片厂房根据生】产需要?通常使用较多—的化学药品这—些化学药品性质各】不相同?分,别表:现为可?燃、易?燃、自燃、》有毒、腐蚀或氧化性!针对不同化学特【性这些化学品—通常都应分门别类储!存同:时不得和禁忌物品】混合储存作》为贮存和配送化【学药:剂的房间必须要有】可靠的排水》措施将?泄漏的?化学药剂和消防排水!有组织?收,集并:临时贮存避免—因为化学药剂和被】化学药剂污染的【消防排水《因无组织四处漫流而!导致人员伤害—和环境?污染就?地通过地沟等设施贮!存泄漏的化》学药剂和消防排【。水是一?。种常见的简单易【行,的技术措施 【