8 — 给排水及》。消防
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8.1 ! 一般规定
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8【。.1.?1 硅集成电路芯!片工厂的给排水【系统通?常包括一般生产【给,水系统(主》要用于就地洗涤【塔给水)《、一般生活给水系】统、超?纯水系统《、工:艺冷却水系统、【。生产废水系统—、一般生活排水系统!、消防给水系—统等各个系统对【水温:、水质?和水:压的要求都不一【样因此应根》据安全合理、经【济适用的要》求分别设置系统此外!随着国民经济—。。的发展和城市生活】水平:的提高我国很—多地区特别在北方】和某些沿海》城市发生《水资源短缺和污染问!题水:资源:本身不足和水源的污!染,已成为我国国民经济!发展的一个制约因素!因此很多地方实行】水资源的统一—规划与管理把用水问!题特别?是将节水工作纳入】。。社,会经:济发展规划建立与健!全相应的规》章制度认真贯彻【。开源:节,流并重方针》加强:节,水的科学管理
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集成电路【芯片生产《是消耗水资源较大的!行,业之一水资源的【合理使用《和节:水技术措施成—了企业必须重—点考虑的一个方【面这不仅《关系到生产成本【的,降低同?时也是?节约资源实施经济】可持续发展的重要战!略措施企业还必【须,在,项目建设过程—。中落实节水工程、节!水设施建设》的“:三,。同时、四到》位”:
要【做到节约用水—。通常需要对全厂的】给排:水系:统进行通盘》考虑在完成全厂水】量平衡图《的,基础上分析该类项目!的用水特点》通过各用《水系统?用水量?、水质要求、节水】措施:及节水潜《力进行?比较分析提高—节约用?水和:循环用水的水平【。实现节水节能减少排!污
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8.1【.3 《洁净室的《洁净度是受控的任】何可能造成洁—净环境?受到影响的动—作都应?有必要措施进行控制!管,道穿越?洁净室其穿管处的处!理就是关键一环总】。的说来穿越处采用】。套管方式《是行之有效》的,一方面它保》证了:洁净室内的正—压风不会大》量泄漏造成能—。量浪费另一方面【也杜绝了非洁—净空气顺着管道缝】隙进入洁净空间对】于无法设置》套管的部位也应该】有必要的技术措施
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8.1】.4 洁净室的】温度、湿《。度和压力《都是受控的基—本处于恒温》恒湿的状态因—此给排水管表面温度!。高于洁?净室:环境温度时》应该进?行隔热保温》处理同?时当给排水管道表】面温度?低于环境湿球温【度,时为避免由于管道表!面结露?影,。响洁净环境的温度】、湿度和洁净度【也应该对管道进行】防结露保温处理对】于在可能冻结—区域架空敷设的【给排水管道》应尽量?避免:死端、盲《。肠、袋状管段对于难!以避免的袋》状管段应考虑设【低点排液阀》对于难以避免的盲】。肠管段或设》备间断操作的—管,道应考?虑保温?、,伴热等防冻措施【
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用于洁净》室内给排水管道【保温需要的保温【。材料应确《保保温材料脱落【的粉尘对《环境:的影响最小
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