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8 给排水】及消:防
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8.1 一】般规定
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:8.1.1 【硅集成电路芯—片工:厂的给排水系统通】常包:括一般?生,。。产给水系统》(主要用于就—地洗涤塔给水)、】一般生活《给,水系统、超纯水【系,统、工艺冷却水系】。统、生产废》水系统?、一般生《活排水系统、消【防给水系统等各【个系统对水》温、水质和水压的要!求都:不一样因此应根据安!全合理、经》济适用的要求分别】设,。置系统此外随着【国,民经济的《发展和城市生—活水:平的:提高我?国很多地区特别在】北方和某《些沿海?城市:发生水资源短缺【和污染问题水资源】本身不足和》水源的污染已成为】我国国民经》济,。。发展的一个制约【因素因此《很多地?方实行水资源—的统一规划与管理】。把用水问题特别是将!节水工作纳入社【会经济发展规划建立!。与健全?相应的规章》制,度认真贯彻开源节】流并重方针》加强节水的科学管理!
集【成电路芯片生产是消!耗水资源《较大的行业》之一水资源的合理使!用和节水《技,。。术措:。施成了企业必须重】点考虑的一个方面这!不,仅关系到生产—成本的降低同时也】是节约资《源实施经济可持【续发展的《重要战略措》施企业?还必须在项》目建设过程中—落实节水工程—、节水?设施建设《的“三同《时、四到位”
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要做到】。节约用水通常需要】对全厂?的给排水系统—。进行通盘考》虑在完成全厂水【量平衡图的》基,础上:分析:该类:项目的用水》特点通过各用—水系统用水量、水质!。要求、节水措施【及节水潜力进行【比较分析《提高节约用》。水和循环《用水的水《平实现节水节能减少!排污
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8.?1.3 洁净【室的:洁净度是《受控的任何可能造成!洁净环境《。受到:影,响,的动作都《应有必?。要,措,施进行控制管道穿越!洁净室其穿管—处,的处理?就,是关键一环总的说来!。穿越处采用套管【方式:是行之有效的—一方面它保证—了洁净?室内的正压》风不会大量泄漏【造成能量浪》费另一方《面也杜绝《。了非洁净空气顺着】管道:缝隙进入洁净空间对!于无:法设置套管的部【位也:应该有必要的技术】措施:
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8《.1.4 洁【净室的温度、—湿度和压《力都是受控的—基本处?于恒温恒《湿,的状态因此给排水】管表:面温度高于洁—净室环境《温度时?应该:。。进行隔热保温处【理同:。时当给排《水管道表《面温度低于》环境湿球温度—时为避免由于管道表!面结露?影响:洁净环境的温度、】湿,度和洁净度也—应该对管道进行防结!露保温处理对于在】可能冻结《区域架空敷设的给排!水管道应尽》量避免死端、—盲肠、袋状管段对于!难以避免的》袋状:。。管,段应考虑设低—点排液阀对于难【以避:免的盲肠管段或设】备间断操作》的管道应考》虑保温、伴热等防冻!措施
用!于洁:净室内给排水管道保!温需要的保温材料应!确保保温材料脱【落的粉尘对环境【的影响最小
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