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8 给—排水及消防
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,8.1 一般规】定
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8.—1.1 硅—集成电路芯片—工厂的给排》水系统通常包括【一般:生产给水系统—(主要用于就地洗涤!塔给水)《、一般生活》给水系统、超—纯水:系统、工艺冷却水系!统,。。、生产废水系统【、一般生活排水【系统、?消防给水系统等各个!系统对水《温、水质和水压的要!求都不一样》因此:应根据安全合理【、经济适用的要【求分别?设置:系统:此外:随着国民经》济,的发:展和城市生活水平】的提高我国》很多地?区特别在北方和某些!沿,海城市发生水资源短!缺和污染问》题水资源本身不足和!水源的污染已—成为我?国国民经济发展的一!个制约因素因此很】多地方实行水资源】的,统一规划与》管理把用水问题特】别是将节《水工作?纳入社?会经济发展规划建】立与健全相应的规章!。制度认真贯彻—开,源节流并《重方针加强节水【的科学管理
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集成电路芯片生!产是消耗《水资源较大的—行,。业之一水资》源的合理使用和节水!技,术措施成了》企业必须重点考【。虑的一个方面—这不仅关系到生产】成本的降低同时也】是节约资源实施经济!可持续发展的重要】战略措施企》业还必须在项—目建设过《程中落实节水工程】、节水设施》建设的“三同时、】四到位?”
【要做到节约用水通常!需要:对全厂?的给排?水系统进行通盘【考虑在完成全厂水】量平:衡图的基础》上分析?该类项目的用水特点!通过各用水系—统用水量、》水质要求、节水措施!及,节水潜力进行比较】分析:提高节约用水和循环!。用水的水平实现节水!节,能减少?排污
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8.《1.3 洁净室的!洁净度是受控的任何!可能:造,成洁净环《境受到影响的动作都!应有必要措施进行控!制管道?。。穿越洁净室其穿管】处的:处理就是关键一环】总,的说来穿越》处采用?套管方式是行之【有效的一方》面它保证了》洁净:室内的正压风不会】大量:泄漏造?成能量浪费另一方】面也杜绝《了非洁净空气顺【着,管道缝隙进入洁净空!间对于无法》设置套管的部位也】应,该有必?要的:技术措施
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?8.1?.4 《洁净室的温度、【湿度和压力都是【受控的基本》处于恒温《恒湿的状态》因此给排水》管表面温度》高,于洁净室环境温度】。时,应该进?行隔热保温处—理,同时当给排水—管道表面温度低于】环境湿球《温度时为避免—由于管道表面结【露影响洁净环—境的温度《、湿度和洁净—度也应该对管—道进行防结露保温】处理对于在可能冻结!区域架空敷设的给】排水:管道应尽量避免死】端、盲肠《。。、袋状管段对于难】以,避免的袋状管段应考!虑设低点排液阀对于!难以避免的盲肠【管段或设备间断操作!的管道应考虑保【温、:伴热等防冻措施【
用于】洁净室内给排水【管道保温需要—的保温材料应确【。保保温材料》脱落的粉尘对环境的!影响最小
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