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8 给排—水及消防
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【8.1 一般规】定
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8.1《.1 硅集—成,电路芯片工》。厂的给排水系统通】常包括一般生产给水!系统(主要用于就地!洗涤塔给水)、一】般生活给水系统【、超纯水系》。统、:工艺冷却水系统【、生产废水系统【、一般生活》排水系统、消—防给水系统等各【个系统对水》温、水质和水压的要!求都不?一样因此应》根据安全合理—、经济适《。用的要求分》别设:置系统此外》随着国民经济的发】展和城市生活—水平的提高我国很多!地区特别在北方【和,。某些:沿海城?市发生水资源—短缺和污染问—题水资?源本身不足》。和水源的污染已成】为我:国国民经济发展的一!。个制约?因素因此很多地方实!行水资源的统一【规划与管理把—。用,水问题特别是将节水!工作纳?入社:会经:济发展规划建立与】。健全相应的规—章制度认《真贯彻开源》节流并重方针—加强节水《的,科,学管理
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集成电路芯片】生产是消耗水资源较!大,的行业之《一水资?源的合理使用和节水!技术措施成了企业必!须重点考《虑的一个方面这不仅!关系到生产成本的降!低同时也是》节约资?源实施经济可—持续发展《的重要战略措施【企业还必须》在项目建《设过程中落实节水】工程、节水设施【建设的“《。三同时、《四到位”
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要做到节约用水】通常需?要对:全厂的给排水系统进!行,通盘考虑在完成全】厂水量平衡图的基础!上分析该类》项目的用水特—。点,通,过各用水《系统用水量、水质】要求:、节水?措,施,及节水潜力》进行比?较分:析提高节约用水【和循环用水》的水平实《现节:水节能减少排污【
8.1!.,3 洁净》室的洁?净度是受控的任【何可能造成洁净【环境受?到影响的动作都应有!必要措?施,。进行控制管道穿越洁!净室其穿管处的处】理就是关键一—。环总的?说来穿越处采用套】管方式?是行之有《效的:一方:面它保证了洁净【室内:的正压风不》会大量泄漏》造成能?量浪费另《一,方面也杜绝了—非,洁净空气顺着管道】缝隙进入洁净空间】对于无法设置套【管的部位《也应该有必要的技】术措施
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8?.1.?4 洁《净室的温度、湿度】和压力都《是受控的《基,本处:于恒:温恒湿?的状态因此给排水管!表面:温度高于洁净室环】境温度时应该进行】隔,热保温处理同时当给!排水管道表面温度低!于环境湿《球,温度时为避免由于】。管道表面结露影【响洁净?环境:的,温度、?湿度:和洁:净度:也,应该对?管道进行防结露【保温:处理对?于在可能冻》结区域架空敷设的给!。排水管道《应尽量避免死端【、盲:肠,、袋:状管段?。对于难以避》免的袋状管段应考虑!设低点排液阀对于】难以:避免的盲肠管—段或设备间断操作的!管道应考虑保温、】伴热等防冻措施
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用于—洁净室内给排水管】道保温需要的保温材!料应确保保》温材料脱落的粉尘对!环,境的影响最小—
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