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《8 给《排水及消《。防
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8》.,1 一般规定
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【8.1.1 — 硅:集成电路芯片—工厂的给排水系统】通常包括《一般生产给》水系统(《主要用于就地—洗涤塔给水)—、一般生活》给水系统、超—纯水系统、工艺冷却!水系:统、生产《废水系统《、一般生活》排水系统、消防给】水系统等各个—系统对水温、—水质和?水压的要求都—不一:样因此应根据安【全合理、《经,济适用的要求—分,别设置?系统此?外随着国《民经济的发展和【城市生活水平的提】高,。。我国很多地》区,特别在北方和—某些沿海城》市发生水资源短缺和!污,染问题水资源—本身不足和》水源:的污染?已成为我《国国:民经济发展的一个制!约因素因此很—。多地方实《行水资源的统一规划!与管理把用》水问题特别》。是将节?水工作纳入》社会:经济发展规划—建立与健全相应的】规章制?度,认真贯?彻,开源节流并重方针】加强节水的科学管】理
集】成电:路芯片?生产是消耗水资源】较大的?行业:。之一水资源的—合理:。使用和节水技—术措施成了》企,业必须重点考—虑的一个《方,面这不仅关系—到生:。产成本的降低同【时也是?节约资源实》施经济可持续发展的!重要战略措施—。企业还必须在项目建!设过程中落实节水工!程、节水设施建【设的“三同》。时、:四到位”《
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要做》到节约用水》。通常需要对全—厂的给排水系统【进行通盘考虑—在,完成全厂水量平衡图!的基础上分析该类】项目:。的用水特点通过【各用水系统用水量、!水,。质要求、《节水:措施及节《。水,。潜力进行比》较分析?提高:节约用水和循—环用水的水平实现】节水节能《减少:排污
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8.1.3【 :洁,净室的洁净度—是,受控的任《何可能造《成洁净环境受到影响!的动作都应有—必要措施进行控制】管道穿越洁净室其】穿管处的《处理:就是关键一环总的说!来穿越处采用套管方!。式是行之有效的一】方面它保证了洁净室!内的:正压:风不会大量》泄漏:造成能?量浪费?另一方面也杜绝了非!洁净:空气顺着管道缝【隙进入洁净空间对于!无法设置套管的部位!也应:该有必要的技术措施!
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8.1.4—。 洁?净室的温《度、湿度和压力都】是受控的基》本处于恒温恒湿的】。状态因此给排水管】表面温度高》于洁净室《环境:温,。。度时:应该进行隔热—保温处理同时当给】排水管道表》面温度?。低于环境湿球温度】时为避免由于—管道表面结》露影响洁净环境的温!度、湿度和洁净【度也应该对管—道进行防结露保温处!理对于在可能—冻结区域架》。空敷设?的给排水管道应尽量!避免死?端、盲肠、袋状【管段:对于难以避免—的袋状管段》应,考虑设?。低点:排液阀对《。于难以避免的盲【。肠,管段或设备间断操作!的管:道应考虑保》温、:。伴热等防冻措—施
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用于洁》净室内给排水管道】保温需?要的保温材料应【确保保温材》。料脱落的粉尘对环】境的影响最小
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