《。8 : 给排水及消—防,
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8.1》 一般规定
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8《.1.1《 硅?集成:。电路芯片工厂的给排!水系统通《。常包括一般》生产给水《。系统(?。主要用?于就地洗涤》。塔给水)《、一般生活给水系统!、超纯?水系统、工》艺冷却水系统、生产!废水系统、一—般生活排水系—统、消防给水系【统等各个《系统对水温、水质】和水:压,的要求都不一—。样因此应根据安全】。合,理、经济《适用的要求分别设】置系统此外随着国】民经济的发展和城】市生活水平的提【高我国很多地区特别!在北方?和某些沿海城市发生!水资源短缺和污染】问题水资源本身不足!和水源的污染已成为!。我,国国民经济发展的一!个制约因素因此很】多,。地方:实行水?资源:的统:一规划?与管理把用水问【题特别是将节水工】作纳入社会经—济发展规划建立与】健,全相应的规章—制度:认真贯?彻开源节《流并重方针加—强节水的科学管理
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集》成电路芯《片生产是消耗—水资:源较大的行业—之一水资源的合理使!用和节水技术措施成!了企业必须重—。点考虑的一个方【面这不仅关系—到生产成本的降【低同时?也是节约资源实施经!济可持?。续发展的重要—战略措施企业还必】须在项目《建设过程中落实节】水工程、节水设施建!设,。。的,“三同时、四到位”!
要做】到节约用水通常【需要对全厂的—给排水系《统进行通《盘考:。虑在完成全厂水量平!衡图的?基础上?分析该类《项目的用水特点【通过各用水》系统用水《量、水?质要求、节》水措:。施,及节水潜力进行比较!分析提高《节约:用水和?循,环用水的水平实【现节水节能减—少,排,污,
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8.《1.3 》。洁净室的洁净度【是,受控:。的任何可能造—成洁:净环境受《到影响的动作—都应有?必要措施进》行控制管道穿越洁净!室其穿管处的—处理就是关键一环】总的说?。来穿越处《采用套管《方式是行之有效的一!。方面它保证了洁净室!内,的正压风《不会大量泄》漏造成能《量浪费另《一方面也杜绝了【非洁净空气顺着管】。道缝隙进入洁净空】间对于无法设置【套管的部位也应该有!必要的技术措施
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8.1.】4 洁净室—的温度、湿度和【压力都?。是受控的基》本处于恒温恒—湿的状态因此给【排水管表面温—度高:于,洁净室环境温度【时应该?进行隔热保》温处理同时当给排】水管道?表,面温度低于环—境湿球温度时为【避免由于管》道表面?结露影响洁》净环境的温度、湿度!和洁净?度也应该对管—道进行防结露保温】处理对于在》可能冻结区域架空】敷设的给《排水管?道应尽量避免死端】、盲肠、袋状—管段对于难》以避免的袋状管段应!考虑设低点排液【阀,对于难以避》免的盲肠管段或【设备间断《操作的管道应考虑】保温:、伴:热等:防冻措施
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用于?洁净室内给排水【。管道保温需要的保温!材料应确保保温材】料脱落的粉》尘对环境的影响最小!
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