6》  防 微 振 ！ ， — 6.1《  一般规定 】 6.1！.，1  集成》电路芯片厂房—的微振？控制归根结底是【在生产区楼面—。。提供一个满足振动敏！感设备安装要求的微！振动环境所以微振控！。制要：求是由生产工—艺及所？选，设备决？定，的在：。集，成电路芯片》生产中？对微振有较》高要求的通常为光】刻设备以《及扫描电子显—微镜：其容许振动》值的物理量表达【。通，常有振幅（μ—m）、振动速度（】mm：。/s）以《。及振动？加，速度：（mm/s2—）这三种《物理量可以通过【公式换算在》。国际上通常以—通用振动标》准曲：线VC进行定义【如图3所示VC【曲线是指《一，组表示在一定频【率范围内振动幅值】（用速度表》征，），的曲线按振》动速：。度从高到低依次为】VC-A、》V，C-B…VC-G】有关VC曲线的【定义、场《地和楼面《微振动？的测：试、数据采集、【处理：和报告可参考美【国，环境科学与技术【协会（IE》。ST）的有》关标准（表2） ！ 【 图3  通】。。用振动标准曲线【VC 6！.1.2、6—。.1.3  交通】。运输设施对建—设场地的微振动水】平有：重要影响当》场，地，的微振动《。超过拟？建厂房生产工艺的要！求时依靠结构措施】抑制厂房结构—的振：动，响应需付出高昂代价！。且具有较《大技术风险因—。。此调：查交通设施》（如码头、火—车、：高铁、城铁、邻【近的飞机《场等）对所选场地的！影响、评价场地是】否适宜建设微振敏】感，厂房：是必须进行的前【期工作规划》中的交？通设施或振动较【大的厂房《（如建造《新厂房、道路变【化、新增城铁—及地铁等）对场地的！振动影？响由于尚《未实施而难于—评价对集成》电，路，芯片厂的正常—运行具有潜在威胁因！。而了解拟建场—地周边的《远景规划也是重要的！前期工作 ！ 表2  振动标】准曲线VC的应【用，及解：。释 【 — ： 6.—1.：5，  场地的测试【。。和评价是指在建设】开始前对《拟建场地的》微振基本情况—进行测试作为设【计的基础；结构完工！。时的测试和评—价主要为验证施【工完的结构体是否】。。符合防微振设—计的要求；竣工时】。的测试和评价是【指，在建筑完工洁—净室：安装完成、机电【设备就位且运—行洁净室空调—系统平稳运》行，但工艺？。。设备以及工艺支【持系统尚未安装【的情：况下进行的》测试和评价可最终】。。确定环境是否满足】设备防微《振的要求这》。个阶段的测试有【时也由工艺设备提供！商负责用于确定生产！环，境的微振影响是否能！保证：设备：。。正常工作 —