： 6？ ， 防： 微 振 ！ 6.1 ！ 一般规定 【。 ， 《 6.1.》1  集成电路芯】片厂房的微振控【制，归根结底《是，在生产区楼面提【供一个满足振—动敏感设备安装要】求的微振动环境所】以微振控制要求是】由生产工艺及所【选设备决定》的在集成《。。电路芯片生产中对】微振有较《高要求的通》。常为光刻设备以及】扫，。描电子显微镜其容】许振：动值的物理量表【达通：常有振幅（μm【）、振动速》度（mm/》。s）以及振动加【速度（m《m/s？2）：这三：种，物理量？可以通过公式换算】在国际上《通常以通用振动【标准曲线V》C进行定《义，如图3所示V—C曲线是《指一组表示在一定】频率范围内振—动幅：值（用速度表征）的！曲，线按：振动速度从》。高到低依次》为VC-《A、VC-B…V】C-G有关VC曲线！的定义、场地和楼面！微振动的测试、【数据采集、处理和】报告可参考美国环境！科，学与技？术协会（IEST】），的有：关，标准：（表2） 【 】 图3 《 通用振动》。标准曲？线VC？ —6.1.2、6.】1，.3  交通运【输设施对建设场地】的微振动水平—有重要影响》当场地的微》振动超过《拟建厂房生产工【艺，的要求时《依靠结构措施抑制】厂房结构的振动响】应需付出《高昂：代价且具《有，较大技术风》险因此调查交通【设施（？如，码头、？火车、高铁》、城：铁、邻近的飞—机场等）《对所选场地》的，影响、评价场地【是否适宜建设—微振敏感厂》房是必须进行的【前，期工作规划中的【交通设施或振动较大！的厂房（如建造新】厂，房、道路变化、新】增城：铁及地铁《等）对场地的—振动影响由于尚未】。实施而难于评价对集！成电路芯片厂的正】常运行？具有潜在《威胁：因而了解拟》建场地周边的远景规！划也是重《要的前期《工作 —。 表2 》 振动标准》曲线VC的》应用及解释》 ： ， ！ 《 6.1.5【 ， 场地的测试—和评价是指在建【设开始前对拟—。建场地的微》振基本情《况进：行测：试作为？设计：的基础；结构完【工时：的测：试和评价主要—为验证？施工完？。的结：构体是否符》合防微振设计的【要，。。求，；，竣工时？的测：试和评价是》指在建筑完工—洁，净室安装完》成，、，机电设备就位且运行！洁净：室，空调系统平稳—运行但？工艺设备以及工【艺，支持系统尚未—安装：的，情况下？进行：的测：试和评？价可最终确定环境是！否满：足设备防微振的要求！。这个阶段的测—试有时也由工艺设备！。提供商负责用于确定！生产环境的》微振影响是否—能保证设《备正常工作 【