6 — ，防 微 振》。 ？ ， 6【.1  一般—规定 》 6.1】.1  集成电【路，芯片厂房的微振【控制：归根：结底是在生产区楼面！提供：一个满足振动—敏，感设备安装要求【的微振动环》境所以微振控制【要，求是由生产工艺及】所选设备决定的在集！成电：路芯片生产中对微振！有较高要求的—通常为光刻设备以】及扫描电子显微镜】其容许振动值—的物：。理量表达通》常有振？幅（μm《）、振动速度（mm！/s）以《。及振动加速度—（mm？/，s2）这三种物【理，量可以通过》公式换算在国际【上通：常以通？用振动标准曲线V】C进行定《义如图3所》示VC曲线》是指一？组表示？在一定频率范围内振！动幅值（用速度表】。征）的曲线按振【。。动，。速度从高到低依次】为VC-A、—V，C-B…V》。C，-G有关VC曲线】的定义、场地和【楼面微振动的测试、！数据采集、处理和】报告可参考美—国环境科学》与技术？协会（I《EST）的有关标准！（表2） ！ ？ ：。 图3  —通用振动标准曲线】VC ？ ？ ， 6.1.2、6】.1.3  交【通运输设施对—建设场地《的微振动《水平：有重要？。影响当场《地的：微振动？。超过拟建厂房生产工！艺的要求时依靠结构！措施抑制厂房—。结构的振《动，响应需付《出高昂代价且具【有较大技术风险因此！调查交通设施（如】码头、火车、高铁、！城铁、邻近》的飞机场等）对所选！。场地的？影响、评价场地是】否适宜建设微振敏感！厂房是必须》进行：的前期工《作规划？。中的交通设施—或振动？较大的厂房》（如建？造新厂？房、道路变化、【新增城铁《及地铁等）》。。。对场地的振动影响由！于尚未实施而难于评！价对集？成电路芯片》厂的正常运行具有潜！在威：胁因而了解拟—建场地周边的远景规！划也是重要》的前：。期工作 【。 表2 》 振动？标准曲线VC的应用！及解释 《。 ！。 】6.1.5  【场地的测试和评价是！指在建？设开：始前对拟建》。场地的微振基本【情况进行测试作【为设：计的基？础；结构完工时【的测试和评价主要为！验证施工《完的结构体是否符合！防，微振设计的要求；竣！工时的？。测试和？评价是指在》建筑完工洁》净室安装完成、【机电设备就位且【运行洁净室空—调系统平稳运—行但工艺《设备以及工艺支【持系统尚未安装的情！况下进行的测试和】评价可最终确定环境！是否满足设》备，。防微：振的：要求这个阶段的测试！。有时：也由工艺《设，备提供商负责用于确！定，生产环？境的微振影响是否能！保证：设备正常工作 】