： ：6  防 》。微， 振 】 6.1  ！一般规定《 ： 》 6.1《.1  集成—电路芯片《厂房的？微振控制归》根，结底：是在生？产区楼面提供—一个满？。足振动？敏感设备《安装要求《的微振？动环境？所以微？振控制要求是由【生产：工艺：。及所：选设备决定的—在集：成电路芯片生产中对！微振有较高要求的通！常为光刻设备—以及扫描电子—显微镜其《容，许振动值《的物理量表达—通常有振幅（μ【m）、振动速度（m！。m，/s：）以及振动加速度（！mm/s《2）：这，三种物理量可—以通过公《式换算？在国：际上通常以通用振动！标准曲线VC进行】定，义如图3所示V【C曲线是指一组【表示在一定》频，率范：围内振动幅值（用速！度表征）的》曲，线按振动速度从高到！低，依次为？VC-A、》VC-B…》VC-G有关—VC曲线的定义、】场地和楼面》微振动的测试、数】据采集？、处理和报》告可参考美》国环境科《学，。与技术？协会（？。I，EST？）的有关标准（表】2） ？。。 ， 》 图3  ！通用振动标准—曲线VC — ？ 6.1《.2、6.1.【3  交《通运输设施对建设】场地：的，微振动水平》有重要影响当场地的！微振动超过拟—建厂房生产》工艺的要求时依【靠结构措施抑制厂房！结构的振《动响应需付出高昂代！价且具？有较大？技术风险因此—调查交通设》施（如码头、火【车，、高铁、城铁、邻】近，的飞机场等）对所】选，场地的？影响、评价》场，地是：否适宜建《。设微振敏感厂—房，是必须进行的前期】工作规划中》的交通设施或振动】较大的厂房（如建】。造新厂房、》道路变化、新增城铁！及地铁等）对场地的！振动影响由于尚【未实施而《难于评？价对集成电路—芯片厂的正常—运行具有潜在威胁因！而了解拟建场地周边！。的远景规划也是【重要的前期工作【 表2】  振？动标准曲线VC的应！用及解释《 》 ？ 】 6？.1.5 》 场地的测试—和评价是指在建设开！始前：对拟建场《地的微振基本—情况进行测试作为】设计的基础；—。结构完工时的测试】和，评价主要《为验：。证施工完的结—构体是否符合防【微振设？计的要求《；竣工时的测试和】评价：是指在建筑》完工洁净《室安装完成、—机，电设备就位》且运行洁净室—空，调系统？平稳：运行但工《。艺设备以及》工艺支持系统尚未安！装的情况下进行【。的测试？。和评价可最》终确定环境是否满足！设备防微振的—要求这个阶段的【。测试有时也由工艺】。设备提供商负责用于！确定：生产环境的》微振影响是否能【保证设备正常工【作，。。 ：