《6  防 微 振】 — ，。 6《.1  一般—规定 ？ 《 ？6.1.1》  集成电路芯【片厂房的微》振控制归根结底是在！生产区楼面提供一个！满足振动《敏感设备《安装：要求的微振动—环境所以微振控制】要求是由生》产工艺及所选设备】决定的在集成电路芯！片生产中《对微振有较高—。要求的通常为光刻】设备以及扫描电子】显微镜？其容许振动值的【物理量表达通常有振！幅（：μm）、振动—速度（mm/s）以！及振动加《速度（mm/s【2）这三种物理【量可以通过》公式换算《。在国际上通常—以通用振《动标准曲线VC进】行定义如图3所示】VC曲线是指—一组表示《在一：定频率？范围内振动》幅值（用速度表【征）：的曲线按振动速【度从：。高到低依《次为VC-A—、VC-B…VC-！G有：关VC曲《。线的定义、场—地和楼面微振动的】。测试、数据采—集、处？理和：报，告可参考美》国环境科《学与：技术协会（IE【ST）的有关标准（！表2） 】 》 ， ，图3  通用振动标！准，曲线VC 【 ， 6.1.2【、6.1《.3 ？ 交通运输设—施对建设《场地：的微振动水平有重要！影响当场地》的微振动超》过拟建厂房生产工】艺的要求时依靠【结构措施《抑，制厂房结《构的振动《响应需付出高昂代】价且具有《较，大技术风《险因此？调查交？通设施（如码头【、火车、高铁、城】铁、：。邻近的？飞机场等）对所选场！地的影响、评—价场地是否适宜建设！微振敏？感厂房是必须—进行的前期工作规】划中的交《通设：施或：振，动较大的厂》房（如？建造：新，厂房：、道路变化、—。新增城铁及地—铁等）对场》地的振？动影响由于尚未【实施而？难，于评价？对集成电路芯—片厂的正常运行【具有潜在威胁—因而了解《拟建场地周边的远】景规划也是重要的前！期工作 》。 表》2，  振？动标准？曲线VC的应—用，及，解释 ！ ！ 6.1.5 】 ，场地的？测试和？。评价是指在建设开始！前对拟？。建场地的微振基【本情况进行测试【作为：设计的基础；结【构完工时的测试【和评价主要》为验证施工》完的结构体》是否符合防》微振设计的要求【；竣工时的测试和评！价，。是指在？建筑完？工洁净室安》装完成、《机电设备就位且运】。行洁净室空调系统】平稳运行但工艺设备！以及工艺支持系统尚！未安装的情况下进】行的测试《和评价可最》终确定？环境是否满足设备防！微振：的要求这个阶段的】。测试有时也》由工艺设备提供【商负责？用于确定《生，产环：境的微？振影响？是否能保证设备正】常工作 》