6 — 防 ？微 振 ！ 《6.：1  一般规定【 《 6》。.1.1  —集成电路芯》片厂房的《微振控制归根—结底是在生产区【楼，面，提，供一个满足振动敏感！设备：安装要求的微—振动环境所以—微振控制要求是【由生产工艺及所选设！备决定的在集成电】路，芯片生产中对—微振有较高要求【的通常为《光刻设备以及扫描】电子显微镜其容【许振动值的物理【量表达通常有振【幅（μm）、振【动速：度（mm/s）以及！振动加速度》（mm/s2）这】。三，种物理量可以通【过公：式，换算在国际上通【常以通用振》动标准曲线VC进】行定义如图》3所示？。VC曲线《是指一？组表：示在一定频》率范围？内振动幅值（用【速度：表征）的曲线按振动！速度从高《。到低依？次为VC-》。A、VC-B…VC！-G有关VC曲【线的：定义、场地和楼面】微振动的测试、数】据采集、处理和【报告可？参考美国环境科【学与技术协》会（：I，EST）的有关【标准（表2》） ？ 《 图3 ！ 通用？。振动标准曲线—VC ？ 6—。.1.2、》6.1.《3 ： 交通运《输设施对建设场地的！微振动水平有重要影！。响，当场地的微振动超】过拟建厂房生—产工艺的要求—时依靠结构措施【抑制厂？房结构的《振动响应《需付出高昂代价【。且具有较大技术【风险因此调查交通设！施（如？码头、火车、高铁、！。城，铁、邻近的飞机【场等）对所选场地】的影响、《评价场地是否适宜】建设微振敏感厂房是！。必须进行的前期工作！规划中的交通设【施或：振动较？大的厂房（如建造新！厂房：、道路变化、新增】城铁及地铁》等）对场《地的振动影响由于】尚未实施《而难于评价对—集成电？路芯片？厂的正常《运，行具有潜在威胁【。。因而了解拟》建场地周边的—。远景规划也是重要】的前期？工作 ？ ， 《表2 ？ 振动标准》曲线VC的》应用及解《释， ， ， 】 6！.1.5《  场？地的测？试和：评价是指在建—设，开始前对拟》建场地的微振基本情！况进行测试》作为设计的基—础；结构完》工时的测试和—评价主要为验—证施工完的》。结构体？是否符合防微振设】计的要求《；竣工？时的测试和评价是指！在建筑完工洁净室】安装完成、机电设】。备就位且运行洁【净室空调系统平【稳运行但工》。艺设备以及工艺支】持系统？尚未安？装的情况下》进行：的测试和评》价可最终确》定环境是否满足【设备防微《振的要求这个—阶段的测试有时【也由工艺设备提供】商负责用《于确定生《产环境的微振影响是！否能保证设备正常】工作 《