： 6  防 微】。 振 ！ 6.1  一！般规定 【 《6.1.1》 ， 集：成电：。路芯片厂房的微振控！制，。归根：结底是在《生产区楼面提供【一个满足振动敏【感设备安装要求的】微，振动环境所以微振】控，制，要求是由生产工艺及！所选设备决》定的在集成电路芯片！生，产中对微振》有较高要求》的通常为光刻设【备，以及扫？描电子显微镜其容许！振动：值的物理量表达通常！。有振幅（μm）、】。振动：。速度（mm/s）以！及振动加速度（【mm/s2》）这三种物理量【可以通过公式—换算在国际上通常】以通用振动》标准曲线《VC：进行定？。义如图3所》示VC？曲线是指一组表示】在一定频《率范围内振动—幅值（用速度表征）！。的曲线按《振动速度从高到【低依次？。为VC-A》、VC-B》…，VC-G有关—。VC曲线的定义、场！地，和，楼面微振动的—测试、数据采集【、处理和报》告可参考美国环境】科学：。与技术协会》（IE？ST：）的有关标准（【表2） 《 — ： ， 图3  —通用振动标准—。。曲线VC 】 ：6，.1.2、6.1】.3  交》通运输设《施对建设场地的【微振动水平有重要影！响，。当场地的微振—。动超过拟建厂房【生产工艺的要—求时：。依靠结构措施—抑制厂？。房结构的振》动响应需付出—高昂代？。价且具有较》大技术风险因此调】查交通设施（如【码头、？火车、高铁、—城铁、邻近的飞机】场等）对《所选场地的影响、】评价场地《是否适宜建设—微振敏感厂房是必须！进，行的前期工作规划中！。的交通设施或振动】较，。。大的厂？房（如建造新厂房】、道路变化》、新增城铁及地【铁，等）对场地的振动影！响由于尚未实施【而难于评《价，对集成电《路芯片？厂的正常运行—具有潜在《威胁因而《了解拟建《场，地周边的远景—规划也是重要的前期！工作 【 ，。。表2  振动标【准，曲，线VC的《应用及解释 【 》 ？。 】6，.1.5  场地的！测试和评《价是指？在建设开《始前对拟《建场地的微振基【本情况进行测—试作为设计的基【础；结构完》工时：的测试和评价—主要为验证施工完的！结构体是否》符合防微振设计的】要，求；竣工时》的测试和评价—是指在建筑完工【洁净室？安装完成、机电设】备就位？且运行洁净室空调系！。统平：稳，运行但工《艺设备以及》工艺支持系统尚【未安：装的：。。情况下进行的—测，试和评价可最—终确定环境是否满足！设，。备防微振的要—求这个阶段的测试】有时也？。由工艺设备》提供商负责用于确】定生产环《境的微振影响是否】能保证设备正—常工：作 ： ，