6  防 ！微 振？ ？ 6】.1：  一般规定 ！ ？ 6.1.1  ！集成电路芯片厂房的！微振控制归》根结底是在生产区楼！面提供一个满足振】动敏感设《。。备安：装要求的《微振动？环，境所以微振控—制要求是《由生产工艺》及所选？设备决定的在集【成电路？芯片：生，产中对？微振有较高要求的通！常，为光刻设备以—及，扫描电子显》微镜其容许振动值】的物理量表达—通常有振幅（μ【m）、振动速度（m！m/s）以及振动】。加速：。度（：mm/s2）这三种！物理：量可以？通，过公：式换算在国际—。上通常？以通用振动标准【曲线V？C进行定义如图3所！示VC曲线是指一组！表示在一定频率范围！内振动幅《。值（用速度表—征）的曲《。线按振动速度从高】到低依次为VC-A！、VC-B…VC-！G有关VC曲线的】定义、场地和楼面微！振动的测试、数据】采集、？处理和报告可—参考美？国环：境科学？与技术协会（—IES？T）的有关标准（】表2） 》 ， 》 ， 图《3，  通用振动标准曲！线VC 》 ？ 6.1.》2、6？.1：.，3  交通运—输设施对建设场地】的微：振动水平有重要【影响：当场地？。的微振动《超，过拟建？厂，房生：产工艺的《要求时依靠结构措】施抑制厂房结—构的：振动响应需付出【。。。高，昂代价？且具有较大技术风】险因此调查交通设】施（如码头、火车】、高：铁、：。城铁、？邻近的飞机》场等）？对所选场《地的影响、评—价场地是否适—宜建设微振敏感【厂房是必须进行【。的前期工作》规，划中：的交通？设施或振《动较大的《厂房（如建造新厂】房、道？路变化、新增城铁】及地铁等）对场地的！振动影？响由于？尚未：实施而难于评—价对集成电》路芯：片厂：。的正：。常运行具《有潜在威胁因而了】。解，拟建场地周边的远景！。规划也是重》要的前期工作 ！ 表2  【振动标准曲线—VC的应用及解释】 ， 】 ： ， 6.1！.5  场地的测】试和评价是指—在建设开始前—对拟建场地的微振】。基本情况《。进行：测试作为设计的基础！；结构完工时的【测，试和评价主要为验证！施工完的结构体【是，否符合防《微振设计的要—求；竣工《时的测试和评—价是指在建筑—完工洁净室安装【。完，成、机电《设备就？位且运行洁净室空调！系统平稳运行但工】艺设备以及工—艺，支，持，系统尚未《。安装的情《况下进行的测—试和评价《可最终确定》环境是？否满足设《。备防微振的要求这个！阶段的测试有时【也由工艺设备提【供，商负：责用于确定生产环境！的微振影响》是，否能保证设》备正：常，工作 《