。。 6 — 防 微 振 ！ 6.！1  一般规定 】。 《 6.1.【。1  集成电路芯片！厂房的微振控制归】根结底是在生—产区楼面提》供一个满足振—动，敏，感设备？安装要求的微振动环！境所以微《振控制要求》是由生？产工艺及所选设备决！定的在集成电路【芯片生？产中对微振有较高】要求的通常为光【刻设备以《及扫描电子显微镜】其，容许：。振动值的《物理量表达通—常有振幅（μm【）、振动速》度（mm/s—）以：及振：动加速度（》mm/s2》）这：三种物理量可以【通过公式换算在国】际上通常以通用振动！。。。标准曲？。线VC进行》定义如图3》所示VC曲线—是指一组《。表示在一定频率【范，围内振动幅值（用速！度表征）的曲—。线，按振动速度从—高到低依次为—VC-A、》VC-B…VC【-G有关VC曲线】的定义、《场地和楼面微振动的！测试、数据采集【、，处理和报告》可参考美国环境科学！与，技术协？会（IEST）的有！关标准？（表2） —。 】 图？3  通用振动【标准曲线VC—。 6【.1.2、6—.1.3  交【通运输设《。施对建设场地—。的微振？动水平有重要影【响当场地的微—振，动超过拟《建厂房生产工艺的要！求时依靠结构—措，。。施抑制厂房结—。构的：振动：响应需付出》高昂代价且具—有较大技《术风：险因此调查》交通设施（如码【。。。头、：火车、？高铁、城《铁、邻近的》飞机场等）对所选】场地的影响、评价场！。地是否适《宜建设微《振敏感？厂房是必须进行【的前期工作规划【中的交通设施或振】动较大？。的厂房（如建造新】厂房、道路变化、新！增城铁及地铁等【）对场地的》振动影响由于尚未实！施而难于评价对【集成电路芯片厂【的正常运行具—有潜在威《胁因而了解拟建场】地周：。边的远？景，规划也是《重要的前期工作 】 表2  ！振动标？准曲线VC的—应用及？解释 【。 《 【 ，。 6.1.5— ， 场地的测试和【评价是指《在建设开始》前对拟建场地—的微：振基本？情况进行《测试作为设》。计的基础；》。结构完？工时的测试》和评价主要为—验证施工完的结构体！是否符合防微—振设计的要求—；竣工时的测试和评！价是指在建筑完【工洁：净室安装完成、机电！设备就位且》运行洁净室空调【系统平？稳运：行但工艺设备以及工！艺支：持系统尚未安装的】情况下进行》的测试和评价可最终！确定环？境是否满足设备防微！。振的要求这》个阶段的测试有时也！由工艺设备提供商负！责用于？确定生产环》境的微振影响是【否能保证设备正常工！作 ？