：。 6  防 微 ！振 》 ？ 6.1 【。 一般规定》。 ： 《 6.1.1【  集成电路芯片厂！房的微振控制—归根：结底是在生》产区：楼面提？供一个满足振动【。敏感：设备安装要求的微振！动环境所以》微振控制要求—是，。由生产工艺》及所选设《备决：定的在集成电路芯】。片生产中对微—振有：较高要求的通常为光！。刻，设备以及扫》描电子显微镜—。其容：许振动值《的物理量表》达通常有振幅（μ】m）、振动速度（m！m/s？）以及振动加速度（！mm/？。s2：）这三种物理量可】以通过公《式，换算在国际上通【常以通用振》动标准曲线VC【进行定？义如图3《所示：VC曲？线是：指一：组表示在一》定频率？范，围内：振动幅值（用速【度表征）的》。曲线按振动速—度，从高到低依次为VC！-A、VC-—B…V？C-G有《关VC曲线》的定义、场地—。和楼面微振动—的测试？、数：据采集、处理—和报告可《参，考美国？环境科？学与技术协会（I】EST）的有关标准！（表2） — ： 【 图3  通—用振：动标准？曲线VC 【。 6.1.2】、6：.1.3  —交通运输设施对【建设场地的》微振动？水平有？重要影？响，当场地的微振动超】过拟建厂房生产工】艺的要求时依靠【结构：。。措施：抑制厂房结构的振】动响应需付出高昂代！价，且具有较大技—术风险因此调查【交通设施《（如码头、火车、高！铁、城铁、邻近的】飞机场？等）对所选场地的】影响、评价场地是否！适宜建设微振敏感】厂房是必须进行的前！期工作规《划中的交通设施【或振：动较大的厂房—（如建造《新厂房、道路—变化、新《增城铁？及地铁等）对场地】的振动影响由于【尚未实施而难于评】价对集？成，电路芯片厂的正常运！行具有潜《在威胁因而》了，解拟建场地周—边的远景规》划，也是重要《的前期工作 】 ？表，2，  ：振动标准《曲线：VC的应用及解释】 ？ 【 《 6》.1.5《  场地的测试【和，评价是指在》。建设开始前对拟【建场地？的微振基本》情况进行测试作为设！计的基础；结构完工！时，的测：试和：评价主要为验—证施工完的》结构体是否》符合：防微：振，设计的？要求；竣工时—的测试和《评价是指在》建筑完？工，洁净室安装》完成：、机：电，设备就位《且运行洁《净室空调系统平稳运！行但工艺《设备以及工艺支【持系统尚未安—装的：情况：下进行的测试和评价！。可最终确定环境是】否满：足设备防微振—的要求这个》阶段的测试有时也由！工艺：设备提供商负责用于！确定生产环境的微】振影响是否》能保证设备正常工作！ ：