6  【防 微 振 】 ？ 6.1  ！一般：规定： —。 6.1.1【。  集成电路—。芯片厂房的微振【控制：归根结底是在生【产区楼面提供一个】满足：振动敏感设备安装】要求的微《振动：环，境所以微振控制【要求是由生产—工艺及所选设—备，决定：的在集成电路芯片生！。。产，中对微振《有较高要求》的通常为光刻设备】以及扫描电子显微】镜其容？许振动值的》物理量表达通常有】振幅：（μm？。）、振动速度（m】m/：s）以及《振动加速度（mm/！s2）这《三种物？理量可以《通过公式换算在国】际上通？常，以通用振动》标准曲线VC进【行定：义如：图3所示VC曲【线是指一组表示在一！定，频率范围内振动【幅值（用速度表征】）的曲线按振动速度！从高到？低依次为V》。C-A、VC—-B…VC-—G，有关：VC曲线的定义、】场地和楼面微振动的！测，。。试、数据《采集、处《理和报？告可参考美国环境科！学与：技术协会（IE【ST：）的有关标准（【表2） 】。 【图3  通用振动】标准曲线V》C — 6：.1.2、》。6.1？.3  《交，通运输设《施对建设《场地的微振动水【平有重？要，影响当场地的微【振动超？过拟：建，厂房生产工》艺的要求时依靠结】构措：施，抑制厂房《结构的？振动响应需付出高】昂代价且具有较大】技术风险因此调【查交通设施（—如码头、《火车、高《。铁，、城：铁、邻近的飞机场】等，。）对所选场地的影响！、评价场地是否适】宜建设微振敏—感厂房是必须进行】的前期工作规—划中的交通设施【或振动较大的厂房（！如建造新厂》。房、道路变化、【。新增城铁及地铁【等）对场《地的振动《影响由于尚未实施而！难于评价对集—成电：路芯：片厂的正《常运行具有潜在【。威胁因？而了解拟《建场地周边的远【景规划？也是重要的前—期工作 ！表2  振动—标准曲线《VC：的应用及《解释 《。 【 ？ 《 6.《1.5  场地【的测：试和评价《是指：在建设开始前对拟建！场地：的，微振基本情况进行】测试作为设计的基础！；，结构完工时的测试和！评价主要为》验证施？工完的结构体是否】。符合防？微振设计《的要求；竣工时的测！试和评价是指—在建筑？完工洁净室安装完成！、机电设《备就位且运行洁净室！空调系统平稳运【行但：工，艺设备以及工艺【支持：系统尚未安》装的情况下进行【的测试和评价可【。最终确定环》境是：否满足设备》。。防微振的《要，。求这个？阶段的测试有时也由！工艺设备《提供商负《。。。责用于？确定生产《环，境的微振影》响是否能保证设【备正常工作 【