： 6  防— 微 振 】 》 6.1《  ：一般规定 》 —。 6.1.1—  集成《电路芯片厂房—的微振控制归—根结底是在》生产区？楼面提供一个—满足振动敏》感设备安装》要求的微《振动环？境，所以微振控》制要求是由生产工】艺及所选设备决【定的在？集成电路芯》片生产中对微振【有，较高要求的》通常为光刻设备以及！扫描电子显》微镜其容许振动值的！物理：。量表达通常有振幅】（μm）、振动速度！（mm/s）以及振！动加速度（》。mm/s2》）这三种物》。理量可以通过—公式换算在国—际上通常以通用振动！标，准曲线VC进—行定义如图3所示】VC：。。曲线是？指一组表示在一定频！率范围内振动—幅值（用《速度表征）的曲【线按振动速度从【。高到：低依次为VC-A、！VC-B…》VC-？。G，。有关VC《曲线的定《义、场地和楼—面微振动的测—试、数据《采集、处理和报【。告可参考《美国环境科学与技】术协会（IES【。T）的有关标准（】表2：） 】 ： 图3  通用！振动标准曲线VC ！ 6.1.！2、6.1》.3  交通运输】设施：。对建设场地》的微振动水》平，有，重要影响当场地的】微振：动，。超过：拟建厂房生产工艺的！要求时依靠》结构措施抑》制厂房结《构的振动响应—需付出高昂代价且具！有，较大技术风险因此】调查：。交通设施（如码头】。、火车、高铁、城铁！、邻近？的飞机场等）对所选！场地的影响》、评：。价场地是否适宜建设！微振敏感厂》房是必须《进行的前《期工：作规划中的交通设】施或振动《较大的厂房（如建造！。新厂房、道》路变：化、新增城铁及地】铁等）对场地的【振动：影响由于尚未实施】而难于评《。价对集？成电路芯片厂的【正常运？行具有潜在》威胁因而了解拟建场！地周边的远景规划】。也是重？要的前期工作 】 ？ 表2  振动标准！曲线VC的应—用，及解：释 》 》 ： ， 《 6.1.5 】 场地的《测试：和评价是指在—建设开始前对拟建场！地的微振基本情【况进行测试作为设】计的基础；》结构完工时》的测试和《评价：主要为验证施—工完：的结构体《是否符？合防微振设》计的要求；竣工时】的测试和评价是指在！建筑完工洁》净室安装完成、机电！设备就位且运行【洁净室？空，调系统平《稳运行但工》艺设备以《及工艺？支持系统尚未安装的！情况下？进行的测试和评【价可：最终确定环》。境是否？满足设备防微—振的要求这》。。个阶段？的测试有时也由【工，艺设：备提供商负》责用于确定生产环】境的微振影》响是否能保证设【备正常工作 【