《5，.3  防火疏散 ！ 5.！3.：1 ： 硅集成《。电路生产《厂房中使用了丁酮、！丙酮：、异：丙醇等易燃化学品】和H2、《SiH4、AsH3！、PH？3等：可燃、有毒气体这些！物品：是集：。成电路生《产工艺所必需的原料！参与过程反》应或作为《保护：性气体使用随着【技术的进步》各种：气体及？化，学品的输送》、控制以及监控【报警技术有了—很大的进步和—提高调查表明集成电！。路生：产所采用《的扩散、外延、【离子注入等工艺和】设备自身都已—配有危险气体—泄露报警、连锁装】置以及灭火系—。统可燃气体及—易燃化学品系统没】有紧急切断阀一【旦发生？事故、火情时—。自动切断可燃—气体及易燃化学品】的供应？。本规：范制定过《程中同时《借鉴国内外已竣工投！产的硅集《成电路芯片厂房的成！熟经验本条为强【制，性条文必须严格【执行 《