3  【。工，艺设：计 ： ？ 《 3.1 — 一般规定 【 —3.1.《1、3.1.2【  硅集成》。电路产品《发展十分迅速按【照摩尔定律每个集成！。电路上可《容，纳，的晶体管数目约每】隔1：8个月增加》一倍性能也将—提升一倍近年来虽】然集：成电路发展》的速度？有所减？缓，但变化依然十分巨】大，同时集成电路生【产所需？的水、电的》。耗量较多各种原【材料和排放物的种类！繁，多其中不乏对环境】和，安全等有较大影响】的因此硅《集成电？。路，的厂房设计、建【造必须适应这种【快速的发展与变化】提高生产《效率减少能耗同【时，必须考虑到环—保以及职业卫生和安！全方面的要求 】