： 3  工—艺设计 《 — 3.1  】一般规定 》。 3.！1.：1，、3：.，1，.2  硅集成【电，路产品发《展十分迅速按照摩尔！定律每个《集成电？路上可容纳的—晶体管数目》约每隔18》个月增加一倍性能也！将提升一倍》近年来虽然》集成：电路发展的速度【有所减？缓，但变化？依，然十分巨大同—时集成电路生—产所需的水、—电的耗？量较多各种原材料和！排放：物，的，种类繁多其》中不乏对环》境和安全等有较大】影，响的因此《硅集成电路的—厂房设计、建造必】。须适应这《。种快速的发展与变化！提高：生产效率减》。少能耗同时必—。须考虑到环保—以及职业卫生和【安全方面的要求 】。 ，