3》 工?艺设计
《
【
3.1》 :。一般规定
【。
》3.:1.1、《3.1.2 硅集!成电路产品发展十分!迅速按?照摩尔定律》每个集成电路上可】容纳的晶体管数目】。约每隔18个月增加!一倍:性能也?将提升一倍近—年来虽?然集:成,。电路发?展,的速度有所减缓但变!化依然十分巨大同时!集成电路生产所需的!水、电的耗量较多各!种原材料和排—放物的种类繁多【其中不乏对环境和】安全等有较大影响的!因此硅集成电路【。的厂房设计、建造必!。。须适应这《种快:速的发展与变化【提高生产效率减少能!。耗同时必《须考虑到环保以【及,职业卫生和》。。安全方面的要求【
: