3  工艺！设计： 】 3.1  一般！规定 ！ 3.1.1、【3.1.2  【硅集成？电，路产品发《展，十分迅速按》照摩尔定律每—个集成电路上可容纳！的晶体管数目约每隔！18个月增》加，一倍性能也将—提升一倍近年来虽】然集成电路》发展的速度有所减缓！但变化依《然十分巨大同时集】成，电，路生产所需的—水、：。电的耗？量较多各种原材料】和排放物的种类繁多！其中：不乏对环境和—安全等有较大影响的！因此硅集成电路【的厂房？设计、建造必—须，适，应这种快速的发展】与变化提《高生产效率减少能】耗，同时：必须：考虑到环保》以，及职业卫生和安全方！面的要求 》 ，