， ： 3： ， 工艺设计》 — 3.1  ！一般规定 — ？ 3.1—.1、？3.：1.2  硅集成】电路产品发展—十，分迅速按照》摩尔定律每个集成电！路上可容纳的晶【体管数目约每—隔18个月增—加一倍性能也将提升！一倍近？年来虽然集》成电路发展的速度】有所减缓但变化依】然十分巨大》同时集成《电路生产《所需的水、电的【耗量较多各种原材料！。和排放物的种类繁多！其中：不乏对环境和安【全等有较大影—响的因此硅集—成电路的《厂房设计、》建造必须适应—这，种快速的《。发展与变化提高【生产：效率：减，少能耗同时必须【考虑：。到，环保以及《职业卫生和安—全方面的要求 】