3》  工艺设计 ！ ？。 《3.1  一般规】定 ！3.1.1》、3.1.2  硅！集成电路产品发展】十分：迅速按照摩》尔定律每个》集成电？路上：可容纳的晶》体管数目约每隔【18个月《增加：一倍：性，能也将提升一倍近年！来虽然集成电路发展！的速度？有所减缓但》变化依然《十分巨大同时集成】电路生产《所需的水、电—的耗量？。较多各？。种，原材料和排》放物：的种类繁多》其中不乏对环境和】安全等有较大影【响的因此硅集—成电路的《厂房设计、建造必须！适应这种快速的发展！与变化提高》生产效率减》少，能耗同？时必须考虑到—环保：以及职业卫生和安全！方面的要求 【