3 — 工艺设计
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—3.1 一般规定!
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3》.1.1、3.1】.2 硅集成电】路产品发展十—分迅速?按照:摩,尔定律每个集—成电路上可容纳【的晶体管数目约【每隔18个月—增加:一倍性能也》将提升一倍近年【来虽然集成电—路发展的速度—有所减缓但变—化依然十分巨—大同时集成电路生产!所需的水、电的【耗,量较多?各种原材料和排放物!的种类繁多其中不乏!对环境和安》全等:有,较大影响的因—此硅集成电路的厂】房设计、建造必须】。适,应这:种,快,速的发?展与变化《提高生产效率减少】能耗同时必须考【虑到环保以及职【业卫生和安全方面】的要求
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