3  工】艺设计 》 】3.1  一般规】定 【。 3.1.—1、：3，.1.2  —硅集成电路产品发】展十分迅速按照摩】尔定律每个集成电路！。上，可容纳的晶体管【数目约每隔18个月！增加一倍性能也将提！升一倍？近年来虽然集成电路！发展的速度有—所减缓但变》化依然十分巨大【。同时：集成电路生产所需的！。水、电的耗量较【。多各种？原材料和排放物的】种，类繁多其中不乏对环！境和安全等有—较大：影响的因《此硅集？成电：。路的厂？房设计？、建造必《须，适应这种《快速的发展与变化】提高生产效率减少】能耗同时必须考【。虑，到环保以及职业卫生！和安：全方面的《要求 《