3  工艺！设计 — 》。 3.1《  一？。般规：定， 《。 3》.1.1、3—.1.2 》 硅集成电路产品发！展十分迅速》。按，照摩尔？定律每个集》成，电路：上可容纳《的晶：体管数？。目约每隔18个月】增加：一，倍性能也将提升一倍！近年来虽然集成【电路发展的》。速度有所《减缓但变化依然十分！巨，大，同时集成《电路生产所》需的水、电的耗量较！多各：种原材料和排—放物的种类繁—。多其中不《乏对环境和安全【等有较大影响的因】此硅集成电路的厂房！设，计、建造必须—。适应：这种快？速的发展《与变化提高生产效】率减少能耗同时【必须：考虑到？环保以及职业卫【生和安？全方面的《要求 《