3  【工艺设计 【 — 3.1 》 一般？规定 】 3.1.—1、3.1.2  ！。硅集：成电：路产：品，发，展十分迅《速按照摩尔定律每】个集成电《路上可容《纳的晶体管数目约】每隔18个月—增加一倍性能—也将：提升一倍近》。年来虽然集成电【路发展的速度有所减！缓但变化依》然十：。分巨大同时集成【电路生产所需的水】、电的耗《量较多各种》原材料和排放物【的种类繁多其中不】乏对环境和安全【等有较大影响的因此！。硅集成电路的厂【房设：计、建造必须适应这！种快速的发》。展，与变：化，提，高生产？效率减少能耗同时必！须考虑到环保以【。及职业卫生和安全】方面的要求 【