， 3  工艺】设计 《 ？ 3.【1  一般》。规定 】 3？。.1.1、3.1】。.2：  硅集成电—路产品发展十—分迅：速按照摩尔定律每】个集：成电路上可》容纳的晶体管—数目约每隔18【。个月增加《一倍性能也将提【升一倍近年来虽然】集成电路发》展的速度有所减缓】但变化依然》十分巨大同》时集成电路》生产：所需的水、电—的耗量较多各种原材！料和排放《物的种类繁多其中不！乏对：。环境和安全等有较大！影响：的因此硅集成电路】的，厂房设计、建造【必，须适应？这种快速的发展【与变化提高》生产效？率，减少能耗《同时必须考虑到【环保以及职》业卫生和安全方【面，的，要求 《