1  总 ！ ，  则 【    【本规范为硅集成电路！芯片工厂设计—的国家？标准适用《于各种类型》硅集成？电路芯片工厂的新建！、扩建和改建设【。计 》 由于硅》集成电路芯片—产品种类较多技术】。发展迅？速为适？应不同技术水平芯片！生产对？。于环境的需要—。本规范对于》工艺：、总：体、建筑与结构【。、防微振、冷热源】、给排水与消防、电！气、：。。工艺相关系统—、空：间管理和《环境安全卫生等方面！。制定工程设计中应】遵循的相《。关规定确保工—程设计做到安全适用！、技：术先进、经济合理】、环境友好 — ，