1  总】    则 【 ？ ？。   ？本规范为硅集成【电路芯片工》厂设计的国》家标准适《用于各种类型硅集成！电路芯片工厂的新建！、扩建和《改建设计 ！ ，由于硅集成电路芯】片产品种类较多【技术发展迅》速为适应不同技术水！平芯片生产对于环境！的需要本《规范：。对于工艺《、总体、《建筑与结《。构、防微《振、冷热源、给【排水与消防》、电气、工艺—相，关系统、空间管理】和环境安全卫生等】方面：。制定工？程设计中应遵循【的相关规定确—保工程设计做—。到安全适用、—技术先进、经济合理！、环境友好 【