？ 1  总   】 则 】 ：。   本规范—为硅集成电路芯片】工，厂设计？的国家标准适—用于各种类》型，硅集成？电，。路芯片工厂的—新建、扩建》和改建设计 】 ， 由于硅集—成电路芯片产品种】类较多技术发展【迅速为适应》不，同技术水《平芯片？生产对于环》境的需要《本规范对于工艺【、总体、建筑与结构！、，防，微振、冷热源、【。。给排水与消防—。、电气、工艺相关】系，统、空？间管理？和环境安全》卫生：等方：面，。制定工程设计中【应遵循？的相关规定》确保工程《设计做到安全—适用、技《术，先进：、经济合理》、环境友好》 ：