， 1  总 】 ，  则 】    本【规，范为硅集《成电：路芯片工厂设计的】国家标准适用—于各种类型硅集成】电路：芯片工厂的新建、】扩，建和改建《设计 】由于：硅集：成，电路芯？片，产品种？类较多技术发展【迅速为适应不同技】术水平芯片生—产对于环《境的需要本规范对】于工艺？、总体？、建筑与结构、防微！振，、，冷热源、给》排水与消《防、电气、工艺相】关系统、空间—管理和环境安全【。卫生等方面制—定工：程设计中应遵—循的相关规定确【保，工程设计做到安【全适用、技术先进】、经济合理、—环境友好 —