12.0.1  硅集成电路芯片工厂应具有对环境、安全及卫生进行监控的设施。

12.0.2  8英寸～12英寸硅集成电路芯片工厂宜设置健康中心，并应具备工伤急救及一般医疗、转诊及咨询的设施。

12.0.3  8英寸～12英寸硅集成电路芯片工厂宜在靠近生产区入口处设置专人全天职守的紧急应变中心（ERC），并应符合下列要求：

1  应制定紧急应变程序；

2  应设置防灾及生命安全监控系统；

3  应配备紧急应变器材。