安全验证
: 11 》 空间管理 【 : ? ,11.0.1 【。 硅集成电路—芯片工厂室》外空间管理应—符合下列规定— 《 , 1 ? 室外管线宜—采用架空敷设的【。方式集中布置; 】 2 【 室外管架不应影响!道路的?正常:通行;? 3【。  :室外管架与邻—近,的建筑物的》间距:应满足管《道,安装及维护的要求】;, : : 4 《 室外管架宜—。设置检修马道; 】 5 【。 室外管架的—空,间,和荷:载应为扩展留—有余量? : 11.【0.2  生产厂房!内的空间管理—应符合下《列规定 】 1  应满足设】备的:正常生产《空间; 《 ? 2  不应影响!。设备维修以及搬入】的,空间;? : 《3  应满足—辅助设备的维修、安!。装以及?搬入;? ? 4  应【满足设备检修的空间!; : : 5  —管线:之间以及管线—与建筑物之间应【预留足够的》安装维?修空间; ! 6  应计及管】道入:口的空间及管道【井的位置; 【 7  应为!今后:。扩展预留管道空间】。和荷载?。 1【1.0.3  生产!厂房内的管道应利用!净化:区上、下技术夹层】的空间进行布—置 — 11.0.—4 : 净化区上技术夹】层内除消《防管道外不》宜设置水管及其他液!体输送管《道 — 11.0.—5  主要》管,线在上技术夹层布】置时应计及气—流组织?的空间、排风管【道和大宗气体以及特!种气体?管,道敷设的空》间高度 【 11.0—.6  在上技【。术夹层内宜》设置:。检修通道 — : 1?1.0?.7  《主要管?线在下技术夹层布置!时,应计及辅助设备、主!。。管、支管《、二次配管和—消防喷淋管道的空】间高:度 ? 11—.0.8《  在管道种—类多:空间有限的区—域宜设置公共管【架并应符合下列规定! 1  !在华夫板下和—。净化区?高架地板下应留有二!。次配管配线的空间;! , ? , 2  尺》寸较:大的:管道宜?布置:在,公共管架的上层;】 3 】 有坡度要》求的管道《宜布置在管道的【下层; !4  管道改变方】式时宜同《时改变管道的标【高; 》 : ,5  应为今—后扩展预留管道空】。间和荷?载; 6!  由?梁、柱?承重的公共管架【宜在结?构施工时预埋承重构!。。。件 ?