安全验证
: , 1:1  空间管理 !。 : 11.0】.1  硅集成电】路芯片工《厂室外空《间管理应符》合下列规定 — 1 【 室外管线宜—采,用架空?敷设的方式集中布】。置; 》 2  室外】管架不应影响—道路的?正常通行; — 《。 3  室外管架与!邻近的建筑物—的,间距应满足》管道安装及》。维护的要求》; 《 4  —室,外管架宜《设置检修《马道:; 》 5 《。 室:外管架的空》间,和荷载应为扩展【留有余?量 11!.0.2  生【产厂房内的空间管】理,。应符合下《列规:定 【1  ?应满足设备的正常生!产空间; 》 2  】不应影响设备维修】。以及搬入的》空间; 【 :3  应满足辅助设!备的维?修、安装以及搬入;! :。 《4  应满足—设备检修的空间;】 》 5  管》。线之间以及管线与】建筑物?之间应预留足够【的安装维《修空间; — 6  【应计及管道入口的空!间及管道井的位置;! : 《7  应《为今后扩展》预留:管道空间和荷—载 ? , 11.0.3!  生产厂房—内的管道《应利用净《化区上、下技术夹】层的:空间进行布置 ! 11.—0.4  净化区】上技术夹层内除【消,防管道外不宜设置水!管及:其他:液体:输送管道 》 11.0!.5:  主要管线在上技!术夹层布置时应计及!气,。流,。。组织的空间、—排风管道《和大宗气体以及【特种气体《管道敷设的空间【高度 — 11.》0.6  在上【技术夹?层内宜设置检修【通道: ,。 , 1》1.0.《7,  主要管线—在下技术夹层布置】时应计及辅助—。设备、主管、—。支,管、二次配管和消防!喷淋管道的空—。间高度 — ?。11.0.8  】在管道种《类多空?间有限的《区域:宜设置公共管架并】应,符,。。合下列规定》 , 1  在!华夫板下《和净化区高架地板下!应留有二《次配管配线的空间;!。 《 2  》尺寸较大的管道宜布!置在公?共管架?的上层;《。。 《 3  》有坡度要求》的,管道宜布置在—管道的下层; 】 ? 4:  管道改变方式】时宜同时改变管道】的标高; 【 5  —应为今后扩展预留管!道空间和荷载;【 :。 6 — 由梁、柱承重【的,公共管架宜在结构】施工时预埋承—重构件 》