硅集成电路芯片工厂设计规范 [附条文说明] GB50809-2012 建标库

10.10      

10.10.1  生产厂房内化学品的储存、输送方式,应根据生产工艺所使用化学品用量及其物理化学特性等确定。

10.10.2  生产厂房内使用的各类化学品应按各自的物理化学特性分类和储存,并应符合现行国家标准《化学品分类和危险性公示通则》GB13690的有关规定。

10.10.3  在洁净区内使用危险化学品的生产设备、化学品储存区(设备),应采取相应的安全保护措施。

10.10.4  洁净厂房内各种化学品储存间(区)的设置,应符合下列规定:

1  易燃易爆化学品储存、分配间应靠外墙布置;

2  危险化学品储存区域(间)和分配区(间),不得设置人员密集房间和疏散走廊的上方、下方或贴邻;

3  各类化学品储存、分配间应设置机械排风。机械排风系统应提供紧急电源;

4  易燃易爆化学品储存间、分配间应采用不发生火花的防静电地面;腐蚀性化学品应采用防腐蚀地面。

10.10.5  当设置集中分配间通过管道输送化学品时,应符合下列规定:

1  输送系统设备、管道的化学稳定性应与所输送的化学品性质相容;

2  分配间以及设备排风应根据化学品的性质分类处理达到国家标准后排至大气;

3  应设置液位监控和自动关闭装置,并应设置溢流应对设施;

4  有机溶剂分配间应设置相应的泄漏浓度报警探头,并应与紧急排风系统连锁;

5  输送易燃、易爆化学品的管道,应设置静电泄放的接地设施,

6  输送易燃、易爆、腐蚀性化学品总管上应设自动和手动切断阀。

10.10.6  危险化学品的储存、分配间,应设置废液收集系统,并应符合下列规定:

1  应按化学品废液成分和性质分类收集;

2  物理化学特性不相容的化学品,不得排入同一种废液收集系统。

10.10.7  液态危险化学品的储存、分配间,应设置溢出保护设施,并应符合下列规定:

1  防护堤形成的有效容积应大于最大储罐的容积;

2  两种化学品混合将引起化学反应时,不同化学品储罐或罐组之间,应设置防护隔堤;

3  应设置液体泄漏报警和废液收集系统。

10.10.8  根据化学品性质在储存间和分配间应设置紧急淋浴器。

10.10.9  管道、阀门设计应符合下列要求:

1  化学品系统管道材质选用,应按所输送的化学品物理化学性质和品质要求确定,应选择化学稳定性能和相容性能良好的材料;

2  化学品输送管路系统,对多台生产设备供应同一种化学品时,应设置分配阀箱,并应设置泄漏检测报警系统;

3  输送非腐蚀性有机溶剂的管道材质,宜采用低碳不锈钢管;输送酸、碱类和腐蚀性有机溶剂管道材质,宜采用PFA或PTFE管,并应设置防泄漏保护透明PVC套管;用于管道系统的垫片,宜采用与所输送化学品相容的氟橡胶、聚四氟乙烯或其他与所输送化学品相容的材料;

4  阀门和附件的材质应与管道材质一致。