10.9.1  特种气体宜采用外购钢瓶气体供应，在厂区内应设置储存、分配系统。

10.9.2  特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。

10.9.3  洁净区内自燃、易燃、腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定：

1  危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中；

2  排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；

3  一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱。

10.9.4  特种气体分配系统应符合下列规定：

1  应设置吹扫盘；

2  应设置应急切断装置；

3  应设置过流量控制装置；

4  应设置手动隔离阀；

5  运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统；

6  不相容特种气体不得共用同一吹扫盘。