10—。.9  特种—气体 — 1》。0.：9.1？  特种气体宜采】用外购钢瓶气体【供应在厂《。区内：应设置储存》、分配系《统 1】0.：9.2  特种气】体宜：根据危险性质和存】储数量设置独立的气！瓶间： 10】.9.3  —洁净区内自燃、易】燃、腐蚀性或有毒的！特种气？体分配系统的设置应！符合下列规定 ！ 1  危险气！体钢：瓶应设置《在具：有，连续：机械排风的特种气】。体，柜中；？。 ： ， 2  排【风机：、泄漏报《警、自动切断—阀均应设《置应急电源》。； 3】  一个特种—气体分配系统供多】台生产设备使用【时应：设置多路阀门—箱 《 ： 10.9.4  ！特种气体分配系【统应符合下》列规定 【 ：1  ？应设置吹扫盘； 】 《 2  应设置应急！切断装置； 【。 ： 3  应—设置过流量控制【。装置； 《 ， 4》  应设置手动隔】离阀； 》 5 — ，运行：过程中的《吹扫气源不应使【用厂区内大宗气体】系，统； ？ ？ 6  不相【。容特种气体》不得共用同一吹扫】盘 ？