1》。0.9  特种气体！ 》 10.9【.1  特种气【体宜采用外购钢【瓶，气体供？应在厂区内》应设置？。储存、分配系统 】 10【.9.2  —特种气体宜根据【危险性质和》存储数量《设置独立《的气瓶？间 ： 》10.9.3  】。洁净区内自燃、【易燃、腐蚀性或有毒！的特种气体》分配系统的设置应】符合下列规定— 《 1 《 危险气体钢瓶【应设置在具》有连：。。续机：械排风？。的，特种气？体柜中；《 《。 2  排—。风机、泄漏报警、自！动切：断阀均？应，设置应急电源； 】 ？ 3  一个【特种气体分》配，系统供多台生产设备！使用：时应设置多路阀门】箱 【10.9.4  】特，种气体分配系统应符！合下列规《定 1 ！。 应设置吹》扫盘； 《 》2  应设置—应急切断装》置； 》 ： 3  《应设置？。过流量控制装置；】 ， 4  】应设置手《动隔离阀； — 5  运！行过程？中的吹扫气》源不应使《用厂区内大宗—。。。。气，体系统； 】 6 《 不相容特》种，气体不得共用同一吹！扫盘 ？ ，