。。 10.【9  特种气体【 ？ 10.9！.1  特种气体】宜采用外购》钢瓶气体《供应在厂区内应设】置储存、分配系【。统 ？ 10.【9.2  特种【气体宜根《据危险性《质和存储《。数量设置独立的气瓶！间 》 10.9.3】  洁净区内自燃、！易燃：、腐蚀性或有毒的特！种气体分配系—统的设？置应符合下列—规定 》。 1《  危险气体钢瓶】应设置在具有连续】机械排风《的特种？气，体柜中； — ？ 2  排风机、泄！漏报警、自》动切断阀均应设置应！。。急电源； — 3 — 一个？特种气体分配—系统供多台》生产设备使用时【应设置多《路阀门箱《 1【0.：9.4  特—种气体分《配，。系统应符《合下列规定 】 1  —应设置吹扫盘—；， 2  ！应设置应《急切断？装置； ！3 ： 应设置过流量控】制装置；《 —4  应设置手动】。隔离阀；《 》 5  运行过程中！的吹扫气《源不应使用厂区内】大宗气？体系统； — 6》。  不相容特种【气体不得共用同一吹！。扫盘 《