《。10.9  —特，种气体？ 【 1：0.9.1  【特种气体《。宜采用外购钢瓶气体！供应在厂区内应设】置储存、分》。配系：统 10！.，9.2  特—种气：体宜根据《。危险：性质：和存储？数量设置独立的气瓶！间 1】。0.9.3》  洁净区内自燃、！易燃、腐蚀性或【有毒的特种气体分】配系统的设置—应符合下《列规定 》 ： 1？  危？险气体钢瓶应设置】在具有？连续机械排风的【特种气体柜中； ！ 2 — 排风机、泄漏报警！。、自动切断阀均应】设置应急电源—； — 3 ？ 一个特种气体【。分，配系统供多》台，生产设备使用—时应设置《多，路阀门箱 【 ？1，0.9.《4  特种气体【分配系统应符—合下列规定 【 1 — ，应设置？吹扫盘？。； 2】  应设置应急切断！装置； — ？3 ： 应设置过》流量控制《装置；？ ？ ， 4 《 应设？置，手动隔离阀；— 5【  运行过程中的吹！扫气源不应使—用厂区？内大宗气《体系统； 】。 ， 6  不》相容特种气体不得共！用同一吹扫盘— ：