10—.9  特种—气体 【 10.9【.1：  特种气体—宜，采用外购钢瓶—气体供应在厂区内】应设：置储存、分配系统】 ？ 10》.9.2  特种】。。气体宜？根据危险性》质和存储数量设置独！立的气瓶《间 【10.？9.3？  洁净区内自燃】、易燃、腐蚀性或】有毒的特种气体分】配系统的设置—应符合？下，列规：定 — 1  危》险气体钢瓶应设【置在具有《。连续机械排风的【特种气体柜中—； 》 2？。  排风《机，、泄漏报警、自动切！断阀：均应设置应急电【源； 3！  一个特》种气体分《配系统供多台生产】。设备：使用：时应设置多路阀门】箱 ： ？ 1？0.：9.4  特种气】体分配系统应符合下！列规定？。 1 】 应设置吹》扫盘； — 2  —应设置？应急切断装置—。； 【3 ： 应设置《过流量控制装置；】 ： 4  应设！。置手动隔离阀—； ？ ，。 5  运行】过程中？的吹：扫气源不应》。。使用厂区《内大宗气体系统【； 》 ， 6  不相容【特种气体不》得共用同一吹扫【盘 ？