。 10.2】  ：工艺排风《。。 ？ 10【.2.1 》。 硅集成电》路，芯片工厂《的工艺排风系统设】计应按工艺设备排风！性，质的不同分别设【置独立的《排风系统 》 10【.2.？2  ？凡属：下列情况之一时【应分别设置》独立：的排风系统 】 ： ，1  两种或两种】以上的气《体有害物混》合后：能，引起燃烧或爆炸时】； — 2  混合后【发生反应形成危害性！更大：或腐蚀性的混合物】、化合物时； 】 3 — 混合后形成粉尘】时 ？ 1》0.2.3  【洁，净区事故《排风系统的》设计应？符合现行国家标准采！。暖通风与空气调节设！计，规范GB 5001！9的规定 — 1》0.2.《4  使用有毒有害！物质的房间排风量】应满：足，最小通风量6—次/h 【 10.》。2.5  生产厂】房工艺？排风系统应设置备用！排风：机并应？设置不间断电源（】U，PS）当正常电【力供应中断情况下应！保证工艺排风—系统的排风》量不小于正常排风量！的5：0％ 【。 10？.2.6  —生产厂房工艺排【风系统宜设置变频】调节系统《 》。 1：0.：。2.7？。  易？燃易爆工艺》排风管道上不—。。应设置熔断式防【火阀工艺《排风管道不宜穿越】防火分区的防火墙】 》 1：。0，.2.8  工艺】排，风管：道穿：越，有耐火时限要—求的：建，筑构件处紧邻建【筑构件的风管管道】应采用与《建筑构件耐火时限相！同的防火构造进行封！闭，或保护每《侧长度不应小于2】m，或风管直径的两【倍，并应以其中较大者为！准 1】0.2.9  工】艺排：风管：道应采用不燃—材料 》 ， 10.2.【10  工艺排风】系统：管道及设备应设置】防静电接《地装置 【 10.2.【11  工》艺排风系《统不应兼作排烟系】统使用 》