安全验证
。 10.【2  ?工艺排风 【 10【。.2.1  硅集】成电路芯《片,工厂的工艺排风【系统设计应》按工艺设备排—风性质的不同—分,。别设:置独立的排风—。系统 】10.2.2 【 凡属下列情况【之一时应分别设置】独立的排《风系统 !1  两种或两种】以上的气体有害物混!。合后能引起燃烧【或爆炸?时; — 2 《 混合后发生反应形!成危害?性更大或腐蚀—性,的混合物、化合【物,时; 《。 3 — 混合后形成—粉尘时 】 10.2.3【  洁净区事故排】风系统的设计应符】合现行国《家标准采暖通风【与空气调节设计规范!GB ?50019的规定】 ? 1《0.2.4  【使用有毒有害物质】的房间排风量应满足!最小:通风:量6次/《h 10!.2.5  生产】厂房工艺排风系统应!设,。置备用排《风机:并应设置不间—断电源?。(UPS)当正常电!力供应?中,断情:。况下:应,保证工艺排风系统的!排,风量不小于正—。常排风?量的:5,0% ? 》10:.2.6  生产厂!房工:艺排风系《统宜设置变频—调节系统 ! 10.2》.7  易燃—易爆工艺排》风,管道上不应设—置熔断式防》火阀工艺排风管【道不:宜穿越防火》分区:的,防火墙 【 10.2.8 !。 工艺排风管道【穿,越有耐火《时限要求《的建筑构件处紧【。邻,建筑构件的》风管管道《应采用与建》筑构件耐火时—限相同的防火构造】进行封闭或保护【每侧长度不》应,小于:2m或风《管直径的两倍并应】以其中?。较大者为准 】 1《0.2.9  【工艺排风管道应采】用不燃材料》 》 ,10.2.10 】 ,工艺排风系统管【道及:设备应设置》防,静电:接地装置 】 , 10.2》.11  工艺【排风系统不应兼【作排烟系统使—用 ?