： 10.2  】。工艺排风 【 10【.2：.1  硅集成电】路芯片工厂的—工艺排？。风系统设计应按工】。艺设备排《风性质的《不同分别《。设置独立的排—风系统 — 10.2【.，2 ： 凡：属下列情《况之一时应》分别设置独立的排】风系统 — ？1  两种或两种】。以上的气体有害【物混合后能引起【燃烧或爆炸时—； 2】  混合后发—生反：应形成？危害：性更大或腐蚀性的混！合物、化合》物时：； — 3  混合后形成！粉，尘时 【 10.2》.3  洁净区【事故排风系统的设计！应符合现《行国家？标准：采暖通风《与空气？调节设计规范G【B 5？0019的规定【。 《 10.》2.4  使用有】毒，有害物质的房间排】。风量应满足》最小通风量6—次/h？ ， ， 10.【2.：。5  生产厂房工】艺排风系统应设【。置备用排风》机并应设《置不间？断，电源（UPS—。），当正常电力供—应中断情况下应保证！工艺排风《系统的排风量不小】于正：常排风量《的50％ ！ 10.《2.6  生产厂】房工：艺排风系统宜设置变！频调节系统 —。 《 10？.2.7 》 易燃？易爆工艺《排风管道《上不应？设置熔断式》防火：阀工：艺排风？管道不？宜穿越防火分区【的防：火墙： 10.！2.8 《 工艺排风管道穿】越有耐火时限要【求的建筑构》件处紧邻建筑构【件的风管《管道应采用与建筑】构件耐火时限—相同的防火构造【进行封？闭或保护每侧长度不！应小：于2m或风管直【径的两倍并应以其】。。中，较大者为准 — 》1，0.2.9  工】艺排风管道应采用不！燃材料 — ： 10.2.—10  工》艺排风系《统管道及设备应【。设置防静《电接地装置》 ， 1—0.2.1》1  工《艺排风？系，统，不应兼？。作排烟系《统使用 》