《1，0.2 《 工艺排风 】。 ： ： 10.2.1 】 硅：集成电路芯》片工厂的工》艺，排风系统设计应按】工艺：设备排风性》质的不同《分别设置独立的排】风系：统 ？。 10—.2：.，2  凡属下列【情况之一时应分别】设置独立《的排风系统 — ？。 1  两种或两！种以上？的气体有害物混合】后能引起燃》烧或爆炸《时； 《。 2  混合！后发：生反应形成危害性更！大或腐蚀性》的混：合物、化合物时； ！。 3  混！合后形成粉尘—时 10！。.，2.3  洁净区】事，故排风系《统的设？计应符合现》行国家标准采—暖，通，。风与空气调节—设计规范GB 50！019的规》定 — 10.2.4 】 使用有毒有害物】质的房？间，排风量应满足最【小通风量6》次/h 《 10【.2.5《  生产厂》房工艺排风》系统应？设置备用排风机【并应设置不间断电】源（UPS）当【正常：电，。力供应中断情况下应！保证工？艺排风系《统的排风量》不小于正常排风量】的50％《 10.！2.：6  生产厂房工艺！排风：系统宜？。设置：变频：调节系？统 10！.2.7《。  易燃易爆—工艺排风管道上【不应设置熔断式防火！阀工艺排《风管道不宜穿—越防火？分区的？防火墙 — 10.2.】。8  工艺排风【管道穿越有耐火【时限要求《的建筑构件处紧邻】建筑构件的风管管道！应采用与建筑—。构，件，耐火：。时限相同的防火构】造进：行封闭或《保护每侧长度—不，应小于2《m或风管《直径：的两：。倍并应以其中较大】者为准 《 1—0.2.9 — 工艺？排，风管道应《采用不燃材料 【。 ， ， 10.—2.10  工艺排！风系统管《道，及设备应设置防静】电接地装《置， —10：.，2.11  工艺】排，。风系统不应兼作排】烟系统使用》 ：