10.3 ！ ，纯    水—。 1！0.3.《1，  硅？。集成电路芯》片工厂纯水系统【设计：应根据生产》工艺：要求合理确定纯【水制备？系统：的规模、供水—。水质 》 ？1，0，.3.？2  纯水的制备】、储存和输送—的，设，备和材料《除应满足所需水量和！水质要？求外：尚应符合下列规定】。 ？ 1  —纯水的制备、储【存和：输送设？备的配置应确—保系统满足运行安】全可靠、《技术先进、经济适】用、便于操作维【护等要求； — 《 2：。  纯？水的制备、》储存和输《。送设备材料》的选择？应与其接触的水质】相匹配设备内表面】应满足光洁、平整等！物理：性能：同时应？化学：性质稳定、耐腐蚀、！易清洗 】 ，1，0.3.《3  纯《水系统应采》用循环供水方式纯水！输，配系统应根据—。水质、？水量、用《水点数量、管—道材质以及使用点对！水压：稳定性等《要求确定可选择【采用单？管式循环《供，水系统、直接回水】的循环供水系统或】逆向回水的》循环：供水系统并应—符合下列《规定： 》 1  纯水—输配系统《。。的附加？循环水量宜为额定】耗用水量的》25％～50—％； 》 ，。 2  纯—。水管：道流速的选择应能有！效地防止《水质降低和微生【物，的滋生并应兼—顾压力损失供、回】水管流速分》别不宜低于》1.5m/》s和0.5m/s】； 3】。 ， 纯水输配管路系统！应根据系统运—行维护的需要设置】必要的采样口；【 4  ！工艺设？备二次配《管且截止《阀离：设备较远时宜安装回！水管：。 10】.3.4《  用于纯》水系统的水质检测】设备及仪表其—安装不？应使纯水水质降【低，其检测范围》和精度应符合纯水生！。产和检验的》要求 》 10.3.】5  ？。纯，水精处理或终端处理！装置：宜靠：近主：要用水工艺设备【设置 》。 10.—3.6？。  纯？水系统管道材—质的选用应符合【下列要求 — 《1  应满》。足纯水水质指标的】要求； 《 2  材！料的化学稳定性【应高； ！3  管《。道物理性能应好内壁！光洁度应高》； 4 ！ 不得有渗》气现象？ ： ，。 1《0.：3.：7  纯水管道【。的阀门和附件的【。选用应符合下列规】定 》 ， 1：  应？选择与管《道相同的《材质； 【 ：2  应选用—。密封好、《结构合理、无渗气现！象的阀门 】。 10《。.3.8  纯【水，废水回？收，设计应与硅集—成电路芯片》生产工？艺，设计密切配合并应根！据工程？实际：情况、回收》水质、水《量结合当前的技【术、经济条》件等：合理确定回收率【 —10.3《.9  回》收水处理系统—流，程的拟定和设—备的选择《应根据工程的具体】情况、回收水—水质、水量以及处理！后的用？途等因素综合确【定，当，不能取？得回收水水质资料】时可：。按已建同类工程经】验或科学《实验确定 —