1》0.3？  纯？   ？ 水 【 10.—3.1  硅集【成电路芯片工厂纯】水系统设计应根据生！产工艺要求合—。理确定？。纯水制备系》统的规模、供水水】质 ：。 ： 10.3.】2  ？纯水的制《备、储存和输送的】设备和材《料除：应满足所《需水量和水质要求】外尚应？符合下列规定—。 ， 》。1  纯水的—制备、储存和输【送，设，。备的：配置应确保系统满】足运行安《全可靠、技术先【进、经济适用、【便，。于操作？维护：等要求； ！ 2：  纯水的制备、】储存和？输送设备材》。料的选？择，应与其接触的水质相！匹配设备内表—面应满足光洁、平】。整等物理性能同时应！化学性质稳定、耐】腐蚀：。、易清洗 【 10.3.】3，。  纯水系统—应采：用循环供《水方式纯水输配【系，统应根据水质、水】量、用水《点数量、《管道材质以》及使用点对水—压稳定性等要—求确定可《选择采用单管式循环！供，水系统、直接回水】。的循环供水系统【或逆向回水的—循环供水系》统并应符《合下列规定 — 》1  纯水输配【系统的附《加循：环水量宜为额定耗用！水量的？25％～50％； ！ ， 2  【。纯水管？道流速的选择应能】有效地？防止水质降低—和微生物的滋—生并应兼顾压力【损，失供：、回水管流速分【别不宜低于》1.5m/s和0.！5m/s；》 ：。 ？ ，3  纯水输配【。管，路系统？。应根：据系统运行维—护的需？。要设置必要》。的采样口《； ： 《 4  工》艺设：备二次配管且截止】阀离设备较远—时宜安？装回水管 — 10—.3.4《 ， 用：于纯水系统》的水质检《测设备及仪表其安】装不应使纯水水质】降低其检测范围【。和精度应《符合纯水《生产和检验的要求 ！ 10.】3.5  》纯水精处理或终端处！理装置宜靠近主要用！水工艺？设备设置 ！。 ，10.3.6  纯！水系统管道》材，质的选用应符合【下列要求 —。 ： 1  应满足纯！水水质指标的—要求； — 2  —材料的化学稳—定性应高； 【 3》  ：管道物理性能应好】内壁光洁度应高；】 4【  不得有渗—气现象 《 10.】3.7  纯—。水，管道的阀门和—附件的选用》应符合下《列规定 ！1  应选择—与管道？相同的材质》； 【2 ： 应选用《密封好、结构—合理、无渗气现象的！。阀门 》 10.3.8！  纯水《废水回收设》计应与硅集成电路】。芯片生？产工艺设计密切配】合并应根据工程【实，际情：况、：回，。收水质、水量—结合：当前的技术、—经济条？件等：合理确定回》收率 1！0，.，3.9  》回收水？处理系？统流程？的，拟定和设备的选择】应根据？工程：的具体情况、回收】水水质？、水量以及处理【后的用？途等因素综合确定】当不：能取得回收水水质资！料时可按已建同类工！程经验或科学—实验确定 —