？ 10.3  【纯    水 ！。 10.】3.1 《 硅集成电》路芯片工《厂纯：水系统设《计应根据《。生产工艺要求—合，理确定？纯水：制备系统的规—模、供水水》。质 ？ 《1，0.3.2 —。 纯：水的制备、储—存，和输送？的设备和材料—除应满足所需—水量和水质要求【外尚应符合下列【规定 《 ： 1 《 纯水的制备、储存！和输送？设备的配置应确【保系统满足运行【。安，全，可靠、技术先进、】。经济适用、便—于操：作维护等《要求； 《。 ： ？2  纯水的制备、！储存和输送设备材料！的选择应与其接【触的水？质相：。匹配设备内表面应】满足光洁、平整【等，物理性？能，同时应化学性质稳】定、耐腐蚀》、易清洗 — 10.【3.3  》纯水系统《应采用循环供水【方式纯水《输配系统应根据水】质、水量、用水点】数量、管道材质【。以，及使用？点对：水压稳定性等—要求确定《可选择采用单管式循！环供：水系统、直接—回水的？循环供？水系：统或逆向回水的循】环供水系统并应【符合下列规定— 1 】 ，纯水输配系统的附】加循环水《。量宜为额定》耗用水量的2—。5％：～5：0％；？ 2 】 纯水管道流—速的选择应能有效地！防止水质降低和【微生物的滋生—并应兼？顾压力损失》供，、回水管流速分别不！宜低于1.》5m/s和0.5m！/s； ！3  纯《水输配？管路系统应根据系】统运行维护的需要设！置必要的采样口【； 【4  工《艺设备？二次配管且截止【。阀离设备较远时宜安！装回水管 》 》10.3.》4  用《于纯水系统的水质】检，测设备？及，。仪表其安装不应使纯！水水：质降低其检测—范围和？精度：应符合纯水生产和】检验的要求 【 10.3.！5  纯水精—处理或终端处理【装置宜靠近主要用】水，工艺设备设置 ！ ： 10？。.3：.6  纯水—系统管道材质的选用！应符：合下列要求 【 1  应满！足纯水水质》指标的要求； 【 2 【 材料的《化学：。稳定性应高； ！ 3  管【道物理性能应好内壁！光洁度应高》； 《 4  不得】。有渗：气现象 【 10《.3.7  纯【水管道的阀门和附】。件的选用应》符合下列规定 【。 ： 1  应【选择与管道相—同的材？质，； ？ 2 — 应选用密》封好、结《构合理、无渗气现象！的阀门？。 —10.3.8  】纯水废水回》收设计应与硅集成】电路芯片生产—工艺设计密切配【合并应根据工程实际！情况、回收水质、水！量结合当前的技【术、：经济条件等合理【。确，定，回收率？ 1【0.3.9  回】收，水，处理：系，统流程的拟》定和设备的》选择应根据工程的具！体情况、回收水【水质、水量以及处理！后的用途等因素综】合确定当不能—取，得回收水《水，质资料时《可按已建同》类工程经验或科学实！验确定 》