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10.》3， 纯 《。 水
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10.3.1 ！硅集成电路芯片【工厂纯？水，系统设计应》根据：生，产工艺？。要求合？理确定纯水制备【系统的规模、—供，水水质？
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10.《3.2 纯水的】制备、储《存和：输送的设备和—材料除应满足所需】水量和水质要求外尚！应符合下列规定【。
1 】 纯水的制备、【。储存和输送设备【的配置？应确保？系统：满足运行安全—可靠、技术先进【、经济适用、便于】操作：维护等要求》；
》。
2 纯水的制！备、储存和输—送设备材料的选择应！与其接触的水—质，相匹配？设备内表面》。应满足光《洁、平整等物—理性能同时应化【学，性质：稳定、耐腐蚀、易清！洗
【10.3.3 】纯水系统应采用循】。环供水方式纯水输配！系统：应根：据水质、水量、用】水点：数量、？。管道材质以及—。。使用点对水压稳定性！等要：求，确定可选择采用单管！式循环供水系统、直！接回水的循环供水】系统或逆向》回水的循环供—水系统并应符合【下列：规定
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1 《纯水输配系》统的附加循环水量】宜为额？定耗用水《量的25％～50％！；，。
？
2 纯水】管道流速的选择应】。能，有效地防止》水质：降低和微生物的【滋，生并应兼《顾压力损失》供、回水管》流速分别《不宜低？于1.5《m，/，s和0.《5m/s；
】
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3 《纯水输配《。。管路系统应》根据系？统运行维《护的需要设置必【要的采样《口；
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4 工【艺设备？二次配管且截止阀】离设备较远》时宜安装回水—管
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，
，
10.3.4！ 用？于纯水系统的—。水质检测《设备：及仪：表其安装不应使【纯水：水，质，降低其检测范围【和，精度应符合纯水生产！和，检验的要求
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10.3—.5 纯水精处理！或终端处理装置【宜靠近主要用水【工艺设备设》置
1】0，.3.6 》 纯水？系统管道材》质的选用应符—合，下列要求
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1 应】满足纯水水质—指标：。的要求；
！
2 材》料的化学《稳定性应高》；
《
3 管道物！理性能应好内壁光】洁度应高；
】
4 不得】。有渗气？现象
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10.3.【7 ？纯水管道的阀门和】附件：的选用应符合下列规！定
1 ！ 应选择与管道【相同的材《质；
？
2—。 ：应，选用密封好、—结构合理、无渗气】现象的阀门
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10.3》.8 纯水废水回！收设计应与硅集【成电：路芯片？生产工艺设计—密切配合《并应：根据工程实际情况、！回收水质、水量结合！当前的技术、经济条！件等合理确定回【收率
】10.3.9 【 回收水处理系统流！程的拟定和设—备，的选择应根据工程】的具体情况、回收水！水质、水量以及【处理后的用途等因素！综合确定当不能取得！回收水水质资料【时可按已建同—类工：程经验或科》学实：验确定？
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