10.3.1  硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求，合理确定纯水制备系统的规模、供水水质。

10.3.2  纯水的制备、储存和输送的设备和材料，除应满足所需水量和水质要求外，尚应符合下列规定：

1  纯水的制备、储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠、技术先进、经济适用、便于操作维护等要求；

2  纯水的制备、储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配，设备内表面应满足光洁、平整等物理性能，同时应化学性质稳定、耐腐蚀、易清洗。

10.3.3  纯水系统应采用循环供水方式。纯水输配系统应根据水质、水量、用水点数量、管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定，可选择采用单管式循环供水系统、直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统，并应符合下列规定：

1  纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25％～50％；

2  纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生，并应兼顾压力损失，供、回水管流速分别不宜低于1.5m/s和0.5m/s；

3  纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口；

4  工艺设备二次配管，且截止阀离设备较远时，宜安装回水管。

10.3.4  用于纯水系统的水质检测设备及仪表，其安装不应使纯水水质降低，其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求。

10.3.5  纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置。

10.3.6  纯水系统管道材质的选用，应符合下列要求：

1  应满足纯水水质指标的要求；

2  材料的化学稳定性应高；

3  管道物理性能应好，内壁光洁度应高；

4  不得有渗气现象。

10.3.7  纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定：

1  应选择与管道相同的材质；

2  应选用密封好、结构合理、无渗气现象的阀门。

10.3.8  纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况、回收水质、水量，结合当前的技术、经济条件等合理确定回收率。

10.3.9  回收水处理系统流程的拟定和设备的选择，应根据工程的具体情况、回收水水质、水量以及处理后的用途等因素综合确定。当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或科学实验确定。