10—.3：。  纯    【水 《。 10【.3：.1  硅集成电】路芯片工厂纯水【。系统：设计应根据生产工艺！要，求合：理确定纯水》制备系统的规模【、供水水质 】 ： 10？.3.2 》 纯水的制备、【储存和输送的设【备和材料除应满足】所需水量和水质要求！外尚应符合下列规定！ 《 1  纯—水的制备、储—存和输送设备的配】置应：确保系统满足运行】安全：可靠、技《术先进、经济适用】、便于？操作维？护等要？求； 【 2  纯水的【制备、储《存和输送设备材料】。的选择？应与其？接触的水质相—匹，配设备内表面—应满足光《洁、平？整等：物理性能同》时应化学《性质稳定、耐腐【蚀、易清洗 】 10.3.】3  纯水》系统：应采用循环供水方】式纯水输《配系统应根据—。水质、水量、—。用水点数《量，、管道材质以及使用！点对水压稳》定性：等要求确定可选择采！用，单管式？循，环供水系《统、直接回水的循】环供水系统或逆【向回水的循环—供水系？统并应符《合下：列规定 】 1  纯水输【配系：统的附？加循环水量》宜为额定耗用—水量的？25％～《50％； 》。 2 【 ，纯水管道流》速的：选，择应能有《效，。地防止水质降低和】微生：物的滋生并应—兼顾压力损》失供、？回水管流速》分，别不宜低于1.5m！/s和？。0.5m/s； 】 ， ， ： 3  纯水输【配管路系统》应根据系统运—行维护的需要设置必！要的采样口； 【 ？ 4 《 工艺设备二次【配管且截止阀离【设备较远《。时宜：安，。装回水管 【 10.3.4！  用？于纯水系《统的水质检》测设备及仪表—其安装不《应使：纯水水质降》低其：检测范？围和精度应符合【纯，水生产和检验—的要求？ ？ 10.—3.5？  纯水精处理或】终端处理《装置宜靠《近主要用水工艺设备！设置 》 ， 10.3—.6  纯水系统】管道材质的选—。用应符合《下，列要求 》 ， ？1， ， 应满足《纯水水质指标—的要求；《 —2  材料》的化学稳定性应【高； 《。 《3  管道》。物，理性能应好内壁光】洁度应高《； ？ 4  不】得有渗气现象— 《 10.3.【7  纯水管—道的阀门和附件的】选用应？符，合下列规定 】 1  —应选择与管道相同的！材质；？ 2【  应？选用密封好、—结构：合理、无《渗气现象的阀门 ！ 《10.3.8  】纯水废水回收设【计应：与硅集成电路芯【片生：产工艺设计密—切配合并应根据工程！实际情况、回收水质！、，水量结合当前—的技术、经》济条件等合理—确定回收率 】 10.—3，.9 ？ 回收水处理系统流！程的拟定和设—备的选择应根—据工程的具》体情况？。、回收水水》质、水量以》及处理后的用途等因！素综合确定》当不能取《得回收水水质—资料时可按已—建同类工程经验【或科：学实验确定 — ，