10.3 ！ 纯    水 】 10！.，3.1  硅集成电！路芯片工厂纯水【系统设计应根据【生产：工艺要求合理确【定纯水制备系统【的规模、供水水质】 —1，。0.3.2 — ，纯水的制备、储【存和输送的设—备，和材料除应满足【所需水？量和：水质要求外尚—应符合下列规—定 ： 1  纯！水的制备、储存和输！。送设备的配置应确保！系统满足运》行安全可靠、技术先！进，、经济适用、便于操！作维护等要求； 】 2  纯！水，的制备、储存和【输，送设：备材料的选择—应与其接触的水质相！匹配设备《内表面应满足光洁、！。平整等物理性能同时！应化学？性质稳定、耐腐【蚀、易清洗 【 ， ： 10.3.—。3，  纯水系》统应采？用循环供水方式【纯水：输配：系统应根据水质、水！量、用水点数量、管！道材质以及使用【点对水压稳定—性等要？求，确定可选择采用【单管式循环供水【系统、直接回水【的循环？供，水系统或《逆向回？水的循环供》水系统？并应符合下》列规定 】 1  纯水输配系！统的附？加循环水量宜—为额定耗用水—量的25％～50】％；： ： 2  纯水！管道流速的选—择应能有效地防止水！质降低和微生物的】滋生并应兼顾压力损！失供、回《水管流速《分别：不宜低于1.5m/！s和0.5》m/：s；： 3 】 纯水？输，配管路系统应根据】系统：运行：维护的需要设—置必要？的采样口； — 4—  工艺设备二次配！管，且截止阀离设—备较远时宜安—装回水管 【 ？10.3《.4  用于—纯水系统的水—。质检测设备及仪【表其安装不》应使纯水水质—降低其检测范围【和，精度应符合纯水生产！和检验的要求 【 ： 10.3.】5  纯水精处理】或终端处理》装置宜靠近主要用】水工：。艺设备设置 — 《 10.3.6 】 纯水系《统管道材《质的选用《应符：合下列要求 】 1 》 应满？足纯水水质指标【的要求； 【 ， 2？  材料的化—。学稳定性应高； 】 ？ 3  管道物】理性：能应好内壁》光洁：度应高； 【 ？4  不得有—渗气：现象 《 ？ 10.3》.7  纯水管【道，。的阀门和附件的选用！应符合下列规—定 1 ！ 应：选择与管道》相同的材质； ！ ， ， 2  应选用【密封好、结构合理】、无渗气现象的阀门！ ？。 1《0.3.8  【纯水废水《回收设计应与—硅集成电路芯片【。生产：工艺设计密切配合并！应根据工程实际情况！、回收水质》、水量？结合当前的技术【、经济条《件等合理确定回收】率，。 10.！3.9？  回收水处理系】统，流程的拟定和—设备的选择应根【据工程的具》体情况？、回收？水水质、水》量以及处理后的用】途，等因素综合确定【当不能取得》回收水水质资—料时可？按已建？同类工？程，经验或科学》。实验确定 —