： 10 》。 工艺相关》系统 ！ 10.1【 ，。 净：  化  区 ！。。。 1—0.1.1  生产！环境的？洁净度等级应符合】下列要求 》。 ， 1》 ， 芯片生产厂房【内各洁净区的—空气洁？净度等级应根据芯片！生产工？艺及所使用的—生产设备的要—。求确定； 【 2 》 ，洁净度等级的—划，分应符？合现行国家标准洁净！。厂房设计规》范GB 50073！的规定？； 《 3《  洁？净区设？计时空气洁》净度等级所处状态】应根据生《产条件确定 】 ，。 10《.1.2 》 生产环境》的，温，度、相对湿度指标】应按芯片《生产：工序分别制定一般洁！净区温？度应控制在》22℃±《0.：5，℃～22℃》±2℃相对湿度应控！制在43《％±3％～》45％±10—％ ？ 10.1】.3  洁净区内的！。新鲜空气量应取【下，列最大值 — ？ 1 ？ 补偿室内排风【量，和保持室内正压值所！需新鲜空气量之【和； 》。 ： 2  保证供给洁！净区内人员所—需的新鲜《。空气量 》 1》0.1.4  【洁净区与周》围的空间应》按工艺要求保持一】。定的：正，压值并应符合下【列规定 — ？1  不同等级的】洁净：区之间压差不应【小，于5Pa《； 《 2  洁净】。区与非洁《净区之间《压，差不应小《于5Pa； 【 《3  洁净区与【室外的压差不应小】于5：Pa 1！0.1.5》  气？流流型的设计应符合！下列要求 》。 1  】。气流流型《应满足空《气洁净度等级的要求！。； 《 ， 2  》空，气洁净度等级要【。求为1级～》4级时应采用垂直】单向流； 】 3  空气洁】净度等级要》求为5级时宜采用】垂直单？向流； 》。 ？ 4：  空气洁净度等】级，。要，。求6：级～：9级：时宜采用《非单向？流， 10.！。。1.6  洁净区的！送风量应取下列最】。大值 1！  ：为保证空气洁—净度：等级的送风量； ！ 《2 ：。 消除？。。洁净区内热》、湿负荷所》需的送风量； ！ 3  向洁净！区内供给《的新鲜空气量 】 10—.1.？7  净化系统的】型式应根据洁净区】面积、空《气洁净度等级和产品！生产工？艺特点确定 ！ 1？0.1.8 — 洁净？区的送风宜采用下列！方式 【 1  洁净区【面积较小、》洁净度等级较低且洁！净区可？扩展性不高时—宜采用集中送风方】式； 【。 2  洁净区面】积大、洁净度—等级较高时宜采用】风，机过滤器机组—（，F，FU）送风 【 10.1】.9  《对于：面积较大《的洁：净厂房宜《设置集中新》。风，处理系统新》风处：理系统？送风机？应采取变频措—施 【10.1.10 】 ，对于有空气》分子污？染控制要《求的区域可采—取，在新风？机，组及该区域风—机过滤器机组上【加装化学过滤器【的措施 —。 10.1【.11  干盘【管的设置应符合下】列，要求： 《 ：1，  应根《据生产工艺》和洁净？区布局确定合理的安！装位置； 】 ：。2  应根》据处理风《量、室内冷负—荷、：风机过滤器特性确定！干盘管迎风面速度和！结构参数； ！ ， 3  应采取保】证进入干盘管—。的冷冻水温度—。。高于洁净区内空【气露点温《度的措施； — 4  应！。设置检？修排水设施 【