1》0  工艺相—关系统？ — 《10.1  净  ！化  区 】 《10.1.1  】生产环境的》洁净度等级应符合】下列要求《 —1  芯《片生产厂房内—各，洁净区的空气洁净度！等级：应根据芯《片生产工艺及所使】。用的生产设》备的要求确定； ！ ：。 2  洁—净度等级的划分【应符合现《行国家标准洁净厂】房设计规《。范GB？ 5007》3的：规定； 《 ， 3  【洁净区设计时空【气洁净度等级—所处状态应根据【生产条件《确定 ？ ？ 10.1.【2  生产环境的温！度，、相对湿度指标应】按芯片生《产工：序，分别制定一般洁净区！温度：应控制在《22：℃±0.《5℃～22℃±2℃！相对湿度应控制【。在43％±》3％～45％±1】0％： 《 10.》1.3 《 洁净区内》的新鲜空《气量应取下列最大】值 《 1  补偿室！内排风量《和保持室《内，正压值所需新—鲜空气量之和—； 《 2  —保证：供给：洁净区？内人员所需的新鲜空！气量 】10：.，1.4  洁净【区与周围的》空间应按工艺要【求保持一定的正压值！并应符？合下列规定 】 1 》 不同等《级的洁净区之间【压，差不应小于5Pa】； 》。 2  洁净区】与非洁净区之间压】差不：应小于5《Pa：； 《 3 》 洁净区与室外【的压差不应小于【5Pa 【 10.1—.5  气流流【型的设计应符合下】列要求 】 1  气流流【型应满足空》气洁净度等级—的要求； 》。。 ： 2  空【气洁净度等级要求为！1级～4级时应【采用垂直单》向流； 》 3》  空气《。洁净度等级要—。求为5级时宜采【。用垂直？单向流； 】 4？。  空气洁净度等级！要求6级～9级【时宜采用《非单向流 — 《。10.1.6 【。 ，洁净区的送》。风量应取下列最【大值 1！。  为保证空—气洁净度等级的【送风量； 》 2  】。消除洁净区内热、湿！负荷所需《的送风量； ！ 3  向洁【净区内供给的新鲜】空，气量 —。 10.1.【7  净化系统的】型式应根据洁净【区面积、《空气洁净度等级和产！品生产工《艺特点确定》 1【0.1.8  洁】净区的送风宜—采用下？列方式 【 1  洁—净，区面积较小、洁【净度等？。级较低且洁》净区可扩展性—不，高时宜采用集—中送风？。方式； 》 2》  洁净区面积【大、洁净《度等级较高》时宜采用风机过滤器！机组（FFU）送风！ —10.1.》9  对于面积【。。较，大的洁净《。。厂房宜？设置集中《新风：处理系统新风处【理，系，。统送风机《应采取变频措施【 —10.1.》10  对于有【空气：分子污染《控制要求的》区域可？采取在？新风机组及该区域】风，机过滤器机组上加】装化：学过滤器的措施 ！ 10.1.！11  干盘管【的设置应符合下列】。要求 】。1  应根》据，生产工艺和》洁净区布局确定合理！的安装位置； ！ 2 》 应根？据处理风量、室【内冷负？荷、风机过》滤器特性确定干盘】管迎风？面速度和结》构参数？； — 3  应采取保】证进入干《盘管：的冷冻？。水温：度高于洁净区内【空气露点温度—的措施？； ： ， 4  应】设置检？修排水设《施 ？