。 10—  工艺《相关系统 — 《 10.【。1  净 》 化  《区 —。 10.1.1！ ， 生：产环：境，的洁净度等级—应符：合下列要求 【 1  芯片！生产厂房《。内各洁净区的空气洁！净，度，等级应根据芯—片，生产：工艺及？所使用的生产—设备的要求确定； ！。 》2  ？洁，净，度等级的划》分应符合现行国家】标准洁？净厂房设《计规范GB 500！7，3的：规定； 》 3 — 洁：净区设计时空—气洁净度《等级所？处，状，态应根据生产条件确！定 《。。 10.1.2！  生产环境—的温：度、相对《湿度指标应按芯片】生产工序分》别制定一般洁净区】温度：应控制在22℃【±0.5℃～2【2℃±2℃相对湿度！应控制？在43％±3％～】4，5，％±10％》 1【0.1.3  洁净！区内：的新鲜空气量应取下！列最：大值 】1  补《偿室内排风》量和保持室内正压值！。所需新鲜空气—量之和； ！ ，2  保证》供给洁净区内人员所！需的新鲜空》气量 》 ？1，0.1.《4  ？洁净区与《周围的空间》应按工艺要求保持】。一定的正压值并应符！合下列规《定 1】  不同等级—的洁净区之间压差】不应小于5Pa；】 ？ ， 2  洁—净区与？。非洁：。净区之间压差不【应，小于：5Pa； 【 3《  洁净区与室【外的压差不应小于5！Pa 1！。0.：1.5  气流【流型的？设计应符合下列要】求 》。 1  气—流流：型应满？足空气？洁净度？等级的要求； ！ ： 2  《空气洁净度等—级要求为1级～4】级，时应：采用：垂直单向流； 【 》3 ： 空气洁净度等级要！求为5？级时宜采《用垂直单向》流； 4！  ：空气洁净度》等级要求6级～9级！时宜采用非单向【流 10！。.1.6  洁净区！的，。送风量？应取下列最大值 ！ ： ：1  为保》证空气洁《净度等级的送风量；！ —2  消除洁净区】内，热、湿负《荷所需的送风量【； — 3  向洁净区】内供给？的新鲜空气》量 — 1：0.1.《。7  净化系统的】型式应根据洁净区面！积、空气《洁净度等级和产品生！。产工艺？特点确定 — 《10.1.8—  洁净《区的送风宜采用下】列方式？ ： 1》  洁净区》面，积较小、洁净度等级！较低且洁净区可扩展！性，不，高时：宜采：用集中送风》方式：。； ： 》2  洁净区面【积大、洁净》度，等级：较高时宜采用风机】过滤器机《组，（F：FU）？送风 》 ？10：.1：.9  对于面【积较大的《。洁净厂？房宜：。设置集中《新，风处：理，系统新风处理—系统送风机应—采，取变：频措施 【 10.》1.10《 ， 对于有空气分子污！染控制要求的区域】可采取在新风机【组及该区域风机过滤！器机组上加装化学】过滤器的《措施：。 10.！1，.11？  ：干盘管的设》置应符合下列—要求 【 1  应根据生产！工艺和洁《净区布局确定合【理的：安，装位置； ！ 2  应根据处理！风量、室内冷负【荷、风机《过滤器特《性确定？干盘管迎风》面速度和结》构参数； — ， ？3  应采取—保证进入干盘管的】冷冻水温《度高于？洁净区内《空气露点《温度的措施； 】 4 — 应设置检》修，排水：设，施 ？