《10：  工艺相》关，系统 【 1—。0.1？  净  化 【 区 — 10.1.！1  生产环境【的洁净度等级应符】合下列要求》 ， ：。 1  芯【片生产厂《房内各洁净区的【空气洁？净度等？。级应根据芯片生产】工艺及所《使用的生产设备的】要求确定；》 2  ！洁净度等级》的划分应符合现行】国家：标准洁净厂房设计规！范，。GB 50》0，73：。的规定； 】 3？  洁净《区设计？时空气洁净度等级】所处状态应根据生】产条件确定》。 10】.1.2  生产】环境的温度、—相对湿度指》标应按芯片生—。产工序分别制—定一般洁净区温度】应控制在22℃±0！。.5：℃～22℃±2【℃相对湿度应—控制在43％±3％！。。～45％±10【％ 1】0.1？.3  洁净区内的！新鲜空气量应—取下列最大值 【。 1  补！偿室内排风量和保持！。室内正压值所需新鲜！。空气：量之和； ！ 2  《保证：供给洁？净区内？人员所需的新鲜空气！量 【10：.1.4  洁净区！与，周围：的空间？应按工？艺，要求保持一》定的正压值并应符合！下列规定 》 ？ 1  不同等】级的洁？净区之？间压差不应》。小于5P《a； 》 2《。  洁净区与非洁】净区之间压差不【应小于5Pa—； —。 3  洁净—区与室外的》。压差不应小》于5Pa ！ 10？.1.？5  气流流型的设！计应符？合下列要求 】 1  气流】流型应满足空气【洁，净度等级的要—求； ？ 2—  空气《洁净度等级要求为1！级～4级《时应采用垂直—。单向流； 【 3  空气洁！净度等？级要求为《5级时宜采用垂直】单向流； 【 4  空气洁！净度等级要求6级】～9级时宜采用非】单向流 《 ？ 10.》1.：6  洁净区—的送风量应取下【列，。最大值 ！1，。  为保证空气洁净！度等级的送风量； ！ 《 2  消除洁【净区内？热、湿？负荷所需的送风量】；， 《 3 《 向洁净区内供给】的新：鲜空气量 ！ 10.1.7  ！净化系统的型式应根！据洁净区面》积、空气洁净—。度，等级和产品》生产工？。艺特点确定》 ？ 10》.，1.8  洁净区的！。送风宜采用》下列方式 》 《 1  洁净区面积！较小：、洁净度等级—较，低且洁净区可扩【展性不高《时宜采用集中—送，风方式； 》 2  洁！净区面积大、洁【净度等级《较高时？宜采用风机过—。滤器机组（》FF：U）送风 — ， 1《0.1.9  对于！面积较大的洁净厂】房宜设置集》中新风处理系—统新风处理系统送】风机应？采，取，变，频措施 《 10【.1.10》  对于有空气分】。子污染控制要求的】区域可采取在新风机！组及：该区域风机过滤【器，。机组上加装化学过滤！器的措施 ！ 10.1.—11  干盘—管的设置应》符合下列要求— ， 1—  应根《据生产工艺》和洁净区布局—确定合？理的安？。装位置；《。 —。2  ？应根据处《理风量？、室内冷《。负，荷，、风：机过滤器特》性确定？干盘管迎风面速度】。和结：构参数；《 》。 3  应》。采取：保证进入干盘管的冷！。冻水：温，度高于洁净》区内空气露点温【度的措施；》 4【  应设《置，检修排水设施 】