10—。  工艺相关系统】。。 《 10】.，1  净 》 化  区 ！ 《10.1.》1  生产环境【的洁净度等级应符】。合下：列要求 【 1  芯片【生产厂房内各洁【净区的空气》洁净度？等级应根据》芯片生产工艺—及所使用的》生产设？备，的要求？确定； ！2  洁净度等级】。的划：分，应符合现行国家标准！洁净厂？房设计规《范GB 50—073的规定； 】 3  洁！净区设计时空气洁净！度等级？。所处状态《应根据生《产条件确《定 《 ？10.1.》2 ： 生产环境》的温度、相对湿【。度指标应按》芯片：。。。生产工序《分别：制定一般洁净—区温度应控制在22！℃，±0.5℃～22℃！±2：℃相对湿《度应控制在43【％±：3％～45》％±1？0％ ？ 《 10.《1.3  洁净区】内的新鲜空气量【应取下列《最大值 《 1  补！偿，室，。。内排风量和》保，持室内？正，。压值所需新鲜—空气量之和； ！ 2  保证】供给洁？净区内人《员，所需的新鲜》空气：量 10！.1：.，4，  洁净区与周围的！空间应按工艺要【求保：持一定的正压值【并，应符合下列规定 ！ ， ？1 ： 不同等级的洁【净区之间压差不【应小于5Pa—。； 2】  ：洁净：区与非洁净区—之间压？差不应小于5Pa；！ 》 ，3  ？洁，净区：与室外的压差—。不应小于5Pa ！ ： 10.1.5】  气流流》型的设计应符合【下，列要求？ 1【 ， 气流流《型应满足空气洁净】度等：级的要求《； ： ： 2  空气】洁净度等级要求为】1级～4级时应采】用，垂直：单向：流； 》 3  空气】洁净度？等级要求为5—级时宜采用垂—直单：向流； 》 4  空气！洁净度等级要—求6级～9级—时宜采用非单向流 ！。 ， 10.1.！6  洁净区的送】风量应取下》列最大值 — 1  为保！证空气洁净度—等级：的送：风量； 【 2  消除洁】净区内？热、湿？负荷所需的送风量；！ 3【  向？洁净区？内供给的新》鲜空：。气量 《 10.【1.7 《 净化？系统的型《式应根据洁净区面】积，、空气洁净度等级和！产品生产工艺特【点确定 【 10.》1.8  洁净区】的送风宜采用下列方！式 ： ： ： 1 ？ 洁：净，区面积较小、洁净】度等级较低》。且洁净区可扩展性不！高时宜采用集中送】。。风方式？； 【2  洁《净区：面积大、洁净—。度等级？较高时宜采用风机】过滤器机组（—FFU？）送风 》 《。10.1.9  】对于面积较大的洁】净厂房宜设置—集中新风《处理系统新》风，。处理系统《送，风机应采取变—频措施 《 10.1！。.10？  对于《有空气分子》污染控制《要求的区域可采【取在新风机组—及该区？域风机过《滤器机组上》加装化学《过滤器的《措施 》 ， 10《.1.1《。1  干盘》管的设置应符合下】列要求 【 1  应根据】生产：工艺和？。洁净区布局确定合】理的安装位》置； 《 2 —。 应根据处》理风：。。量、：室内冷负荷、—风机过滤器特性【确定干盘管迎风面速！度和结？构参：数； — 3  应采取保！证，进入干盘管的—冷冻水？温度高？于洁：净区内空气露点温度！的措施？； — 4  应》设置检修《排水设施 》 ，