1》0  工艺相关系统！ 】 10.1  】净  化 》 区 ！ 1：0.1.1  生产！环境的洁《。净度等级应符合下列！。要求 【 1  芯片—生产厂房内各—洁，净区的空气》洁净度等级应根据】芯片：生产：。工艺及所使用的生】产设备的要求—确定：； — 2  洁净—度等级的划分—应符：合现行国家标—准洁净厂房设—计规范？GB 50》073？的规：定，； ： ，。 ： 3  洁净【区，设计时空气洁净【。度等级所处状态【。。应根：据生产条件确定 ！ 《1，0.1.2  生产！环境的温度、相【对湿度？指标应按芯片生产】工序分别《制定一般洁净区【温度：应控制在22—℃±：0.5℃～22℃±！2℃：。相对湿？度应控制在43【％±3％～45【％±1？0％ 【 10.1》.3  洁》净区内的《新鲜空气量应取下列！最大值 》 1》  补偿室》内，排风：量和保持室内正【压值所需新鲜空气】量，之和； 》 ？ 2  保证供【给洁净区内人员所】需的新鲜《空气量 【 10.》1，.4  《洁净区与周围的【空间应？按工艺要求保持一定！的正压值并》应符合下列规定 】 ？ 1 《 ，不同等级《的洁：。净区之间压差—不应小？于5Pa； 【 ？ 2  洁净区与非！洁，净区之？间，压差不应小于5P】a； 【 ，。3  洁《净区与室《外的压差不应—小于5Pa》 》 ，10.1.5  】。气，流流：型的：设计应符合下列【要，求 《 1《  气流流型应【满足：。空气洁净度等级的要！求； 】2  空《气洁净度等级要求】为1级～《4级：时应采用垂直—单向流？； 3】  ：空气洁？净度等级《要求：为5级时宜采—用垂直单向流—； ？ 4》。 ， 空气洁净度等级】要求6级～9级时宜！采用非单向流 ！ 10》.1：.6  洁净区的】送风量应《。取下列最大值 ！ ： 1  《为保证空气洁净【度等级的送风—量； 2！  消除洁净区【内热、湿负荷所【需的送？风量； 》 3》  向洁净区内供给！的新鲜？空气量 】 ，10.？1.7  净—化系统的型式—应根据洁净区面【积、空气洁净度等级！和产品生产工—。艺特点确定 【 10.1.！8  ？洁净区的送》风宜采？用，。下列：方式：。。 ： 1  【洁，净区面？积较小、《洁净度等级较—低且洁净《区可扩展性》不高时宜采用集中】送风方？式； 】2  洁净区面积大！。、洁净度等级较【。高时宜采用风机【过滤器机组（—FFU）送风 ！ 10》。.1.9 》 对于面《积较大的洁净厂房】宜设置集《中新风处理》系统新风《处，理系统送风机—应采取变频措—施 【。10：.1.10》  对于有空气分子！污，染，。控制要求的区域可采！取，在新风机组及该区域！风机过？滤器机组《上加装化学过滤【器的措施 【 10.1.1！。1 ： 干盘管的设置【应符合？下列要求《 《 ：1  应根据—生产工艺和洁净区布！局确定合《理的安装位置；【 2 】 应根据处理风【量、室内冷负荷、】。风机过滤器》特性确定干盘管迎】风面速度和结构参】数，； ： 》3  ？应，采取保证进入—干盘管的冷冻水温】度高于洁净区内【空气露点温度—的措施； 【 4 》 应设置检修排【水，设施 《