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5.3 】 ,防火疏散
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5.3.1】 硅集成电路【芯片厂房的火灾危险!性分类?应为丙类耐火等级】不应:。低于二级
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5.3.2— , 芯:片生产?厂,房内防火分区的划分!应满:足工艺生产的要求】并,应符合?现行国家标准—电子工?业洁净?厂房设计规范—GB 5047【2的规定
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5.3.3 洁!净区的上技》术夹层、下》技术夹层《和洁净生产层当按】其构造特点和用途作!为,同一防火分区时上】、下技术夹》层的:面积可不计入防火分!区的建筑面》积但应分别》采,取相:应,的消防措施
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5.3.】。。4 :。 每一生产层、每】个防火分区或—每一洁净《区的安全出口—设计应符合下—列规定
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1 安全【出口数量应符—合,现行国家标准洁净厂!房设计规范GB 5!007?3的相?关规定;
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2 —。 安全出口应分【。散布置并《应设有明显的疏散】标志;
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3 安全疏散距!离可根据生产—工艺:确定但应符合现行国!家,标准电子《工业洁净厂》房设计规《范GB 50—472的规定
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