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5.3 防【火疏散?
】5.3.1 硅】集成电路《芯,片厂房?的火灾危险性分类应!为,丙类耐火等级不应低!。于二级
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5.3.【2 芯片生—产厂房内《防火分区的划分【应满足工艺生产【的要求并应符合现行!国家标准电子工业】洁净厂房《设计规范GB 5】0472的规定
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《5.3.3 【洁净区的上技术夹层!、下技术夹》层和:洁净生?产层当按其构造【特点:和,用途作?为同一防火分区【时上、下技》术夹层的面》积可不计入防火【分区的?建筑面积但应分【别采取相应的消防措!施
5】.3.4 每一】生产层、每个—防火分区或》每一洁净区的安【全出口设计应符合下!。。列规:定
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1 安全出】口数量应符合现行国!家标准洁净厂—房设计规《范GB 500【73的?相关规定;
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《2 安全出口【应分:散布置并应设有【明显的疏散标志【;
【3, 安全疏散距【离可根据《生产工艺《确定但应符合现行】国家标准电子工业洁!净厂:。房设计规范G—。B 504》72的规定
【