5.3 】。。。 防火疏散
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5.3!.1 《。硅集成电路芯片厂】房的火灾《危险性分《。类,应为丙类《耐火等级不应—低于二级
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《。
5.3.2 【 ,芯片生产厂房—内防火分区的—划分应满足工艺生产!的要求?并应符合现行—国家标准电子工业洁!净厂房设计》规范GB 50【472的规》定
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5.3》。.3 ? 洁净?区的上技术夹层【、,下技术?夹层和洁净生—。产层当按其构造特点!和用途作为同—一防火分区时上【、下:技术夹层《的面:积可不计入防火分区!的建筑面积》。但应分别采》取相应的消防—措施
《
《5.3.4 — 每:一生产层《。、每个防火分区【或每一洁净区的安全!出口:设计应?符合下列规定—
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1 安—。全出口数量应符合现!行国家标准洁净厂房!设计规范GB 【。50073的相关规!定;
《
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?2 安全出—口应:。分散布置并应设有】明显的疏散标志【;
3】 安全《。疏散距离可根据生产!工艺确定但应—。符合现行国家—标准电子工业洁净厂!。房设计规《范,GB 50472的!规定
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