5 【建,筑与结构
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5.1 建 ! 筑
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》5.1.1 【硅集成电《路,芯片工厂的建筑平】面,和空间布局》应适应工厂发展及】技术升级
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5.?1.2 》硅集成电路芯片工厂!应包括芯片》生产厂房、动力厂】房、办公楼和—仓库等建筑生产【厂房、办公》楼、动力厂房—之间的人《。流宜采用连廊进行联!系
5】.1.3 》 生产厂房的外【墙,应采用满足硅集成】电路芯片《生产对环境的气密、!保温、?隔热、防火、—防,潮、防尘、》耐久、易《清洗等要求的材料】
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5.1.4】 生产厂房外墙】应设有设备搬—入,的吊装口及吊—。装平台
!5.1.5 【生产厂房建筑及【装,修应避?免采用含挥发性有机!物的材料和》溶剂
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,5.1.6》 生产《厂房应设置》与生产设备尺—寸和重量匹配的货运!电梯
】5.1.《7 生产厂—房内应?设,有工艺设备、动力】设备:的运输安装通—道,。;搬运通《道区域的高架—地板应满足搬—入设备荷《载要求
!5.1.8 【生产厂房中技术夹层!、技术?夹道的?建筑设计应满足各种!风管和各种动力管】线安装、维修要【。。求
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5.1》.9 《生产厂房外》墙和室内装》修材料的选择—。应符合现行国家标准!建筑:内部装?修设:计防火规《范,GB ?50222和电子工!业洁净厂房设计【规范GB 50【47:2的规定
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