《5 建《筑与结构
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5.1 ! 建 筑
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5【.1.1 硅【集成电路芯》片工厂的建》筑平面和《空间布局应适应【工厂发展及技术升级!
5【.1.?2 ?硅,集成电路芯片—工厂应包括芯—片生产?厂房、动力厂房、】办公楼和仓库等【建筑生产厂房—、办公楼、动—力,厂房之间的人流宜】采用连廊进行联系
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5—.1.?3, 生产厂房的外墙!应采用满足》硅集成电路芯—片生产对环境—的气:密、保温、》隔,热、防火、防潮、防!尘、:耐久、易《清洗等要求》的材料
!。5.1.4》 , 生产厂房外墙【应设有设备搬入的】。吊装口及吊装平台
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5—.1.5 》 生:产厂房?。建筑及装修应—。避免采用含》挥发性有《机物的材料和溶剂】。。。
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5《.1.6 —生产厂房应设置与】生,产设备?尺寸和重《量匹配的货运电【梯,
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《5,.1.7 生产】厂房内应设有工艺】设备、动力设—备,的运输安装》通道;搬《。运通道区域的高架】地板应满足搬—入设备荷载要求【
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5.1.8— :生产厂房中技—。术夹:。层、技术夹道的【。建筑:设计应满《足各种风《管和各种动》力管线安装、—维修要求
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5:.1.9 —生产厂房《外墙和室内装—修,材料的选《择应符?合现行国家标准建】筑,内部:装修设计防火规【范GB? 50?222和电子工业】洁净厂房《。设,计规范G《B 5047—2的规定
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