5 建筑!。与,结构
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5.—1 : 建 筑
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5【.1.1《 硅集成电路芯】片工厂的建筑平【面,和空间布局应—。适应工厂发展及【技术:升级
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5.1.2【 硅集《成电路芯《片工厂应包括—芯片生产厂房、【动力厂房《、办公楼和仓库【等建筑生产》厂房、办公楼—、动力?厂房之?间的人流宜采用连】廊进行联系
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5.1.3— :。生产厂房的外墙应采!。用满足硅集成电【路芯:片生产对环》境的气密、保温【、隔热、《防,火、防?潮、防尘、耐久、】易清洗等要求的【材料
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5.1.4【 生产厂房—外墙应设有设备搬】入,的吊装口《及吊:装平台
!5.1.5》 生产《厂房建筑《。及装修应避》免,采用含挥发性—有机物的材》料和溶剂《
—5,.1.?6 生《产厂房应《。设置与生产设备【尺,寸和重量匹配—的货运电梯
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5.1.7— 生产厂房内应设!有工艺设《备、动?力设备的运输—。安装通道;搬运通】道区域的高架地板】应满足搬入设备【荷载要求《
—5.1?。.8 生产厂【房中技术夹层、【技术夹道的》建筑设计《应满足各种风管和各!种动:力,管线安装、维修要求!
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》5.:1.9 《 生:产厂:房外墙和室内装【修材料的选择应符】合现行国家标准【建筑内部《装修设计防》火,规范:GB 50》222和电子工业洁!。净厂房?设计规范《GB: 50472的【规定
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