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5 建筑—。与结构
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5.1! 建 》 筑
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5.1.1 !硅集成电路芯片工】厂的建筑《平面和空间布局应适!应工:厂,发展及技《术升级
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5.1》.,2 硅集成电【路芯:片工厂应包括芯片生!产厂房、动力厂【房、办公楼和仓库】等建筑生产厂房、】办公楼、《动力厂?房之间?的人:流,宜采用连廊进行联系!
5.】1.3 生—产厂房的《外墙应采用满足硅集!成电路芯片生产对环!境,的气密?、保温、《隔热、防火、防潮、!防尘、耐久、易清洗!等要求的材料—
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5.1.4 !生产厂房外墙应设】有设:备搬入的《。吊装:。口及吊?装平台
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5—.1.5 生产厂!房建:筑及:装修应避免采—用含挥发性有机【物,的材料?和溶剂
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5.1.6【 生产厂房应设】置与生产设备尺寸和!重量匹配的》货运:电梯
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,5.1.《7 生《产厂房内应设有工】。艺,设备、动力设备的】运输安装通》道;搬运《通道区域的高架【。地板应满足》搬入设备荷载要求
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,5.1.8 生】产厂房中《技术:夹层、技术夹—道,的建筑设计应满【足各种?风管和各《种,动,力管线?安装、维修要求【
5.1!.9 生产—。厂房:外墙和室内装修材料!的选择应符合现【行国家标准建筑内】部装修设计防火规】范GB 5》0222和》电子工?业洁净厂《。房设计规范G—B 50472【的规定
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