《5 建《筑与结构
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5.【1, , 建 《 筑
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5.1【.1 硅集—成电:路,芯片工厂的》建,筑平面和空》间布局应适应工厂】发展及技术升级
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5.《1.2 《 硅集成电路芯【片工厂应《包括芯片生产厂【房、动力厂房、办公!楼和仓库等》建筑生产《。厂房、办《。公楼、?动力厂房之》间的:人流宜采用连廊【。进,行联系
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5.1.】3 生产厂房的】外墙应采用满足硅】集成电路芯片生产对!环,境的气密《。、,保温:、隔热、防火—。、防潮?、防尘、耐久—、,易清洗等要求的材料!
5.】1.4 《 生产厂房外墙应设!有设备搬入的吊【装,口及吊装《平台
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5.1—。.5 生产厂房建!筑及装修应避免【采用含挥《。。发性有机《物的材料《和溶剂
!。5.1.6 生产!厂房应设置与生产设!备尺寸和重》量匹配的货》运电梯?
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5.1.7— 生产厂房内【应设有工艺设备、动!力设备的《运输安装通道;【搬运通道区域的【高架地板应满足搬】入设备?荷载要求
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5.1.】8 生产厂房【中技术?夹层、技术夹道的建!筑,设计应满足》各种风管和》各,种动力管线安装、】维,修要求
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5.1.—。9 : 生:产厂房外墙》和室内?装修材料的》选,择应符合现行国家标!准建:筑内部装修设计防火!规范GB 5—0222《和电子工业洁净厂】房设计规范GB【 5047》2的规?定,
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