5 建】筑与结构
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5.1 建 ! , 筑
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5.1!.1 《硅集成电《路芯片工厂的—建筑平面《和空间布局应适【。应工厂发展及技术】升级
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5.1.2 硅!集成电路芯片工厂】应包括芯片》生产厂?房、动?力,厂房、?办公楼?和仓:库,等建筑生产厂房、】办公楼?、动力厂房之间的人!流宜采用连廊进行联!系
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5.?1.3 生—产厂房的外墙应采用!满足:硅集成电路芯—片,生产对环境的—。气,密、保温、隔热【。、防:火、防潮、防—尘、耐久、易清洗等!要求的材料
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5.》。1.4 《 生产厂房外—墙应设有设备搬入】的吊装口及吊装平台!
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,5.1?.5 生产—厂房建筑及装修应避!免,采用:含挥发性有》机物的材《料和溶剂《
5.1!.6 《生产厂房《应设置与《生产设备尺寸和重】量匹:配的货运电》梯
5】.1:.7 生》产,厂房内应设有—。工,艺设备、动力—设备:的运输?安装通?道;:搬运通道区》域的:高架地板应满足搬】。入设备荷载要求
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》5.1.8 生】产厂房中技术夹层、!。技,术夹道的《建筑设计应满足【各种风管和各—种动:力管线安装、—维修:要,求
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5《.1.9 —生产厂房外墙和【室内装修材料的选择!应符合现行国家【标准建筑内》部装修设《计防火?规范GB《。 5:0222和电子工业!洁净厂房设计—规范GB 504】72的规定
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