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《5 建筑》与结构
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5】.1 ? 建 筑【
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5》.,1.1 硅集成电!路,芯片工厂的建筑【平,。面和空间布局—应,适应工厂发展及技】术升级
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5.1.】2 硅集》。成电路?芯,片工厂应《包括芯片生产—厂房:。、动力?。厂房、办《公楼和仓库》等建筑生产厂房【、办公?楼、动力厂房之间】的人流?。宜采用连廊进行联系!
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》5,.1.3 生【产厂房的外墙应采】用满足?硅集成电路》芯片生产《对环境的气》密、保?温、隔热、防火【、防潮?、防尘、《耐久、易清洗—等,要求:的材料
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5:.1.?4 生产厂房【外墙:。应设有设备搬—入,的吊装口及》吊装平台
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5《.1.5《 生?产厂房?建筑及装修应—避免采用含》挥,发性有机物的—材料和溶剂
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5.1.—6 生产厂房应】设,置与生产设备尺寸和!重量匹配的货—运电梯
!。5.1.7 生产!厂房内?。应设有工艺》设备、动力设备【的运输?安装通道《;搬运通道区域的高!架地板?应,满足搬入设备荷【载要:求
5.!1.8 》生产厂房中》技术夹层、技—术夹道?的建筑设计》。。应,。。满足各种风管和【各种:。动,力管线安装、—维修要求
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5.1.9— 生产厂房外【墙,和,室内装?。修材料的选择应符合!。。现行国家标准建筑内!部装修设《计防火规范GB 5!0222和》电子工业洁净厂房】设计规范GB 50!472的规定
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