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5 建筑与!结构
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!5.1 》建 《。 筑
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5.?1.1 硅集成电!路芯片?工,厂的建筑平面—和空间布局应适应】工厂发展及技术【升级
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5:.1:.,2 硅集成—。电路芯片工厂应【包括芯片生》产厂房、动》力厂房、《办公楼和仓库等【建筑生产厂房、【办,公楼、动《力厂房之《。间的人流宜采—用连:廊进行联系
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5.1.3— , 生产厂房》的外墙应采》。用满足硅集成电路】芯片生产对环境的】气密、保《温、隔热、防火、防!潮、防尘《、耐:久、易?清洗等?要求的材料
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5》.1.4 生产】。厂房外?墙应设?有,设备搬入的吊装口及!吊装平台
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5.1.5— , 生产?厂房:建筑及装《修应避免采用含挥】发,性有机物的材料和溶!剂
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5.1.6 】 生产厂《。房应设置《。与生产设备尺—寸和重量匹配—的货运电梯
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5.1.】。7 生产》厂房内应设有工艺设!备、动力设》备的运输《安装通道;搬运【通道区域的高架【地板应满足搬入设备!荷,载要求
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5.1.8 ! 生产厂房》中技术夹层、技术夹!道,的建筑设计应满【足各种风管》和各种动《力管:线安装、维修要求】
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5.1.9 !生产厂?房外墙和室内装修材!料的选择应符合现行!国家标?准建筑内部装修设】计防火?规范:GB 5《0,222?和电子工业洁—净,厂房设?计规范GB 504!72的?规定
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