,
:。
5 建筑与结构!
》
5.1】 建 筑
!
5.!1.1 硅集成电!路,。芯片工厂《的建筑平面和空间布!局,应适应工厂发展【及技术升级
【
?
5:.1.2《 硅集成》电路芯片《工厂应包《括芯:片,生,产,厂房、动力厂房、办!公楼和仓《库等建筑生产—厂房、办公楼、动力!厂房之间的》人流宜采用连廊进】行联:系,
?
5.》。1.3 生产厂房!。的外:墙应采用《满足硅集成电路【芯片生产对环—境的气密、保温、隔!热,、防火、防潮、防】尘、耐久、易清【。。洗等要求的材料
!
5.1.4! 生?产厂房外墙》应设有设《备搬入的吊装—口及吊装平台—
5.1!.5 生产厂房】建筑及装修应避免】采用含挥《发性有机物的材料】和溶剂
》
:
5.1.6 !生产厂房应》设,置与:生产设备尺寸和【重量匹配的货运【电,梯
【5.1.《7, :。生产厂房内应—设有工艺设备、动】力设备?。的运:输安装通《道;搬运通道区域的!高架地板《应满足搬入设备【。荷载:要求:
5【.1.8 》 生产厂房中—技术夹层、》技,。术夹道的建》筑设计应《满足各种风管和各种!动力管线安》装、维修要求—
《
5.1.9 !生产厂房外墙—和室内装修材料的选!择应符?合现行国家标准建】筑内:部装修设《计,防火规?范GB 《50222和电子工!业洁净厂房设计规】范GB 50—472的规定
】