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5 《建筑与结构》
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5!.1 建 【 筑
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5.1.1 【 硅:。集成电路芯片—工厂的建筑》平面和空间布局应适!应工:厂发展及技术升【级
5.!1.2 》硅集成电路》芯片工厂应包括【。芯片生产厂房、动】力厂房、《办公楼和《仓库等建筑生产厂】。房、办公楼、动力厂!房之间?的,人流宜采用连廊【进行:联系
5!.,1,.3 生产厂【房,的外墙应《采用满足硅集成【电路芯片生产对【环境的气密、保温】、隔热?、防火、防潮、防尘!、耐:。久、易清洗》等要求的材料
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5:.1.4 生【产厂房外墙应设有】设备搬?入的吊?装口:及吊装平台
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》5.1.5》。 , 生产?厂房建筑及装修应】避免采用含挥发性】有机物?的材:。。。料和溶剂
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:。5.:1,.6 生产厂【房应设置与生产【设备尺寸《和,重量匹配的货—运电梯?
5.1!.7 生产厂房内!应设有工艺设备、】动力设备的运输【安装通道;搬—运通:道区域的《高架地板应满足搬入!设备荷载要求—
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5.1.8— :生,产厂房?中技术夹《层、技术夹道的建】。。筑设计应满足—各种:。风管和各《种动力?管线安装、维修要】求
5.!1.9 生—产厂房外墙和—室,内装修材料》的选择应《符,合现行?国家标准建筑内部】装修设计防火—规范:GB ?。。50222和—电子工业洁净厂房设!计规范GB》 ,5047《。2的规定
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