5》 建?筑与结构
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5】.1 建 — 筑
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5》.1:.,1 硅集成电路】芯片工厂的建筑【。平面和空间布局【应适应工厂发展及】技术升级
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5.【1.2 硅集成】电路芯片工厂应【包括:芯片生产厂房、动力!厂房、?办公楼和仓》库等建筑《生产厂房、》办公楼、动力厂【房之间的人流宜采】用连廊进行联系
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5.1.!3 生产厂—房的:外墙应采用满—足硅集成《电路芯片生产对【环,境的气密、保温、】隔热、?防火、?防,潮、防?尘、:。耐久、易清洗等【要求的材料》
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5.》1.4 》生,产厂房外墙应设【有设:备搬入的吊装—口及吊装平台
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《5,.1.5 生产】厂房建?筑及:装修应避免采用含挥!发性有机物的材料和!溶剂:
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5?.1.6 》 生产厂房应—设,置与生产设备—尺寸和重量匹配的货!运电梯
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5.1—.7 ? 生产厂房》内应设有工艺—设备、动力设备的运!输安装通道;搬【运通:道区域的高架地板】应满足搬入设备荷载!要,求,
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5.1【.8 ? 生产厂房中—。技术夹层《、技术夹《。道的建筑设计—应满足?各种风管和》。各种动?力,。管线安装、维修【要求
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,5.1.9 生产!厂房:外墙和室内装修材料!的选择应符》合现行国《。家标准建筑内部装修!设,计,防火:规范GB 50【222和电子工业】洁净厂房设计规范G!B 5?0,472的规定
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