3 工艺设计
3.1 一般规定
3.1.1 硅集成电路芯片工厂的工艺设计应符合下列要求:
1 满足产品生产的成品率的要求;
2 满足工厂产能的要求;
3 具有工厂今后扩展的灵活性;
4 满足节能、环保、职业卫生与安全方面的要求。
3.1.2 硅集成电路芯片工厂设计时应合理设置各种生产条件,在满足硅集成电路生产要求的前提下,宜投资少、运行费用低、生产效率高。
3 工艺设计
3.1 一般规定
3.1.1 硅集成电路芯片工厂的工艺设计应符合下列要求:
1 满足产品生产的成品率的要求;
2 满足工厂产能的要求;
3 具有工厂今后扩展的灵活性;
4 满足节能、环保、职业卫生与安全方面的要求。
3.1.2 硅集成电路芯片工厂设计时应合理设置各种生产条件,在满足硅集成电路生产要求的前提下,宜投资少、运行费用低、生产效率高。