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,3 工艺设—计
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3—.1:。。 一般规》定
:
》
3?.,1.1 硅集【。成电:路芯片?工,厂的工艺《设计:应符合下列要求
!
】1 满足产—品生产的成品—率的要求;》
:
—。 :2 满足工厂产】能的要求;》
》
3 【 具有工厂今后扩展!的灵:活性;?。
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》 4 》满足节?能、环保《、职业?卫生与?安全方面的要求
】
3—.1.2 》 硅集成电路—芯片工厂《设计时应合》理设:置各种生产条件在满!足硅集成电路生产要!求的前提下》宜,投资少、运》行费用低、》。。生产效率《高
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