3 工】艺,设计
《
【
3.1《 一般规》定
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3.1.》1 ?。硅集成电路芯片【工,厂的工艺设计应【符合:。下列要求
—
【 ,1 满足》产品生?产的成品率的要【求;
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— 2: 满足《。工厂产能的要求;】
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【3, 具有工厂今【后,扩展:的灵活性;
】
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4 满!足节能?。、环保、《职业卫生《与安:全方面的要求
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3.》1.2 硅集成】。电路芯片工厂—设计:时应合?理设置各种生产条】件在:满,足硅:集成电路生产要【求的前提下宜—投资少、《运,行费用低、生产效】。率,。高
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