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《3 ?工艺:设计: 》 《 3.1《 一般规定— 【 3:.1.?1 ?硅集成电路芯片【工厂的工《。艺设计应符合下列要!求 》 1 !满足:产品生产的成品率】。的要求?; 》 : 2 【。满足工?厂产能的《。。。要求; ! 3》 具有工厂—今后扩展的》灵活性;《 】 , 4 满足节能】、环:保、职业卫》生与安全《。方面的要求 ! :3.1?.2 硅集成电路!芯片工厂设计时【应合:理设置各《种生:产条件在满足—。硅,集成电路生产要求】的,前提下宜投资少、】。运行费用《低、生产效》。率高 《