2  【。术  语《 】2.0.1  硅】片， ，   wa》fe：。r， 从拉】伸长出的高纯度【单晶硅？的晶锭经《。滚圆、切片及—抛光等工序加工后】所形成的硅单晶薄】。片 《 2.》0.2  线宽 】   c《ritical【 ，d，im：ens？ion — ？为所加工《。的集成？电，路电路图形中—最小：线条宽度也称为【。特征：尺寸： ？ ： 2.0《。.3  《。洁，净室   》 c：lean ro【om 《 空气悬浮】粒子浓度受控的【房间 — ：2.：0.4  空气分子！污，染    ai【。rborne mo！le：cular》 contam【inant — 空气【中所含的《对集：成电路芯片制造产】生有害影响的分子】污染物 ！2.0.5  【标准机械接口—    stan】d，ar：d m？echa《nic？。al interf！ace —。 适用于不同】生产设备的一种通用！型接口装置可—将硅片？自动载入设备—并在加工结束后将硅！片送出同《时保：护硅片不受》外界环？境污：染 ：。 2—.0.6  港【湾式布？置  bay— and 》chase ！ 生产工艺设【备按不同《的洁净等级进行布】置并以隔墙分—隔生：产区和维修区 】 2》.0.7  大空间！式布置    b】all r》oom 】 生产工艺设—备，布置：在同：一个区域全区采【用同一洁净等级未】。划分生？产区和维修区 】 ： 2？.0.8 》 自动物《料处理系《统  ？  aut》。omati》c mate—。rial h—andl《ing syste！m(AMHS) ！ 在硅—。集成：电路芯片《工厂内部将》。。硅片和掩模板—在不同的工艺—设备或不同的—存储区域之间—进，。行传输、存储和分】发的自动化系统 ！ 2.0.9！  纯？水 ：   pure【 water— ？ 根据生产需】要去除？生，产所不希望保留的】各种离？子以及其他》杂质的？水， 》 ，2.：0，.1：0  紧急》应变中心   【 emer》gency —response】 center 】 ： 内设各种【安全报警系统和救】灾设备的安全值【班室为24h事故】处，理中心和《指，挥中心 》