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1 总 ! 则
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,1.:0.1 》为在硅集《成电路芯片工厂设】计中:贯,彻执行国家现行法律!、法规满《足硅集成《电路芯片《生产要?求确保人身和财【产安:全做到安全适用、技!术先进?、经济合理》、环:。境友好制定本规【范
1.!0.2 本规范】适用于新建、改建和!扩建的硅集成电路】芯,片工厂的工程—设计
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1.—0.3 硅集【成,。电路芯片工厂的【设计应满足硅集成】。电路芯?片生产工艺要—求同时应为》施工安装《、调:试检测、安》全,运行、?维护管理《。提供必要《条件
】1.0.4 硅】集成电路《芯片工厂《的设计除《应符合?。本规范外尚应符合国!。家,现行:有关标?准的规定
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