:
1 》总 则
!
《
1.0.1— :为在硅集成电路芯】。片工厂?设计中贯彻执—行国家现行法律、】法规满?足硅:集成电路芯片生【产要求确保人身和】财,产安全做到安—全适用、技术—。先进、经《济合:理、环境友好制定】本规范?。
1.】0.2 》本,规,范适:用于新建、》改建和扩建》的硅集?成电路芯《片,工厂的工程设计
!
1.0.】3 ?硅集成电路芯片【工厂的设计》应满足硅集成电【路芯片生《产工艺?要求同?时应:为施工安装》、调试检测、安全】运行、维护》。管理:提供必?要条件
】。
1.0.4 】硅集成电路芯片【工厂的设计》除应符合《本规:范外尚应符合国家】现行有关标准—。的,规定
《