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1《 总 则
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1《.,0.:1 为在硅—集成电路芯片工厂设!计中贯彻执行—。国家现行法律、法规!满足硅集成电路芯片!生产:要,求确保?人身和财产》安全:。做,到安全适用》、技术先进》、经济合《理、:环境友好制定本【。规范
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《。1.0.2》 :本规范适用于新建】、改建和扩》。建的硅?集成电路芯片工【厂的工程设计
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1.《0.3 《 硅集成电路芯【片工厂?的,。设计应满足》硅集成电路芯片【生产工艺要》求同时应为施工【安装、调《试检测、安》全运行、维》护管理提供必要【条件
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1.0.4 ! 硅集成电》路芯片工厂的设计】除应符合本规—范外尚应《符合国家现行有【关标:准的规定
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