1  总】。    《则 ？ ： 1.0.1！ ， 为在硅集》成电路芯片工厂【设计中贯彻》执，行国家现行法律、法！规，满，足硅：集成：电路芯片生产要【求确保人身和财【。产安全做到安全适】用、技？术先进、《经济：合理、环境友好制】定本规范 》 》1.0.《2  本规范适用】于新建、改建和扩】建的：硅集成电路》芯片工厂的工程【设计 《 1.0.3！。  硅？集成电路芯片工厂】的设计？。。应满足硅集成电路芯！片生产工《艺，要求：同，时应为施工安装、调！试检测、安全—运行、维护管—理提供必要条件【 ？ 1.》0.：。4  硅集》成电路芯片工—厂的设？计除应符合本规【范外尚应符合—国家现行有关标【准的规定 —