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中华人民共和】国国家标准 ! 硅集成电—路芯片工《厂设计规范 — 《 Code f【or ?design o】f silico】n integ【r,ated circ!ui:ts wafe【r fab — G—B 50809-2!012 》 主编—部门中华人民共和国!工业和信息化—部 批】准部门中华人民共和!国,住房和城乡建—设部 ? 施行日期!2012年1—2月1日 ! 中华人民共和国住!房,和城乡建设》部公告? 第【1497号 — 》  住房《城乡建设部关—于,发,布国家标准硅集成】电路芯?片工厂设计规范【的公告 —     【现批准硅集成电路】芯片:工厂设计规》。范为国家标》准编号为GB 50!。80:。9,。-2012自—20:12年12月1日起!。实施其中第5.【2.1、5.—3.1、8.2.】4、8.3.11条!为强制性条文—必须严格执》行 》   《 ,。 本:规范:由我部标《准定额研《究,所组:织,中国:计划出?版社出版发行 】。 ? 中华人民共—和国住房《。。和城乡?建设部? 》 2012年—10月11日 ! , 前 言 【。 《 ,   本规》范是根据原建设【。部关:于印:发<2008年【工程建设《标准规范制定、修订!计划:>的通知(第—二批)(建标—〔2008〕1【05号)的要求由】信息产业电子第十一!研究院科技工程股】份有限?公司会同有关单位】共,。同编制?。完成 《 在规范编制!过程中编写》组根:据我:国硅集成电路芯片工!厂的设计《、,建,造和运行《的实际情《。。况进行了大量调【查研究?同时:考,虑我国目前》集成电?路生产的现状对国外!的有关规范进—行,深入的?研读广泛《征求了全国》有关单位《与个人的意见—并反复修改最后【经审查定稿》 : 本规—。范,共,。分12章主要内容】包括总则《、术语、工艺设计、!总体设计、建筑与结!构、防微振、冷热】。源、给排水及消防】、,电气:、,工艺相关系统、【空间管理、环境安】全,卫生等 》 , 本规范中【以黑体字标》志的条文为强制【性条文必《须严格?执行: 》 ,本规范由住房和【城乡建设部负责管】理和对?强制性条文的解【释由工业和信—息化部负责日常管理!由信息产业电子第】十一设计《研究院科技工程股】份有限公司负责具】体技术内容的—解释本规《范在执行过程中请】各单:位结合工程》实践认真《总结经验如发现需】要修改和补充之处】。请,将意:见和建议寄至信【息产业电子第—十一设计《研究:院科技工《程股份有限》。公司:硅集成电路芯—片工厂设计规范管】理组(地址四川省】成都:市双林?路,2,51号邮《政编:码6:10:021?传真028-8【4333172)】以便今后修订时参考! 《。 本?规范主编《单位、参编单位、主!要起:草人和主要》审查人 《 , 《主编单位信息产业】。电,子第十一设计研究】院科技工《程,股份有?限公司 信息产【业,部,。电子工程标准定额】站, 《 , 参编单《位中国电子工程设计!院 中芯国》际集成电路制—造有限公司 上海】华虹NEC微电【子有限公司》 主要】起草人王毅勃— 王明云 李骥 肖!劲,戈,。 ,。江,元升 ?黄华敬 何武— 夏双兵 陆崎 】谢志雯 朱》琳,。 刘娟 刘序—忠 高艳敏 朱【。海英 徐小诚 刘】姗宏 》 主要》审查人陈霖新— 薛长立 韩方俊 !王天龙 刘》志弘 彭力 刘嵘侃! 李东升 毛煜林】 杨琦? 周礼誉 》 ,