:。中华:。人民共和国国—家标:准
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硅集成【电路芯片工厂—设,计,。规范
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C?od:e for d【esign of !s,ilicon 【integra【ted circ】uits wafe!r fab
】
:。
G:B 50809-】。201?2
《
主《编部门?中华人民共和国【工业:和信息化部
】
批准》部门中?华人民共和》国住房和城乡建设】部
:
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:施行日期《2012年》12月1日》
《
中华人民共和国!住房和?城乡建设部公告
!。
《。第1497》号
!住房城乡《建,设部关?于发布国家标准【硅集成电路芯—片工厂设计规范的公!告
》
—现批:准硅集成电路—芯片工厂设计规【范为国家标准—编号为GB —。5080《9-2012自【2012《年12?月1:日起实施《其中第?5.2.1》、5.3.》1、8?.2.4、8.【3.11条》为强制?性条文必《须,严格:。执行
?
】 本规范由我部标】准定额研究所组织】中国计划出版社【出版:发行
》
中华人民共和!国住房和城乡建设部!
2【012年10月【11日
!前 言
【
本【规范是根据原建设】部关于印发<20】08年工程建设标准!规范制定、修订计划!>的:通知(第二批—),(建标〔200【。8〕105》号)的要求由信息】产业电子第》十一研究院科技工程!。。股份有限公》。司会同有关》。单位共同编制—完成
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在规范】编制过程中编写【组,根据我国硅集成【电路芯片《工厂的设计、建造】和运行?的实际?情况进行了大量【调查研究同时—考虑我国目》前集成电路生产【的现状对国》外的有关规范进行深!入的研读广泛征【求了全?国有关单位》与个人的意见并反】复修改最后经—审查定稿
!
本规范共》分12章主要内【容包:。括,总则:、术语、《工艺设计、总体设计!、建筑?与结构、防微—振,、冷热源、给排水及!。消防、电《。。气、工艺相关系【统、:空间管理、环境【安全卫生等
【
本规范【中以黑体《字标:志的条文为强制性】条文:必须严格执行
【
《
,本规:范,由住房和城》乡建设部负责—管理和?对强制性条文的【解释由工业和信【。息化部负责》日,常管理由信》息产:业电子第《十一设计《研究院科技工程股份!有,限公司负《责具体技术》内容的解释本规【范,在执行过程中请各】单位结合工程实【践认真总结》经验如?发,现需要修改和补充】之,处,请将意见和》建议寄至《信息产业电子第【十一设?计研究院科技工程】股份有?限公司硅集成电【路,。芯片工厂设》计规范管理组—(地址?四川省成都市—双林路251号邮政!编码610》021传真0—28-843—33172》)以便?今后修?订时参考《
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本规范主—。编单:位、:参编单位《、主要起草》人和:主要审查《人
《
主编》单位信息产业—电子第十一》。设计研?究,院科技?。工程股份有限公【司 信息产业部电】。子工程标准定额站
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参编单位!中国电?子工程设《计院 中芯国际集成!电路:制造有限公司 上海!华虹NEC微—电子有限公》司
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主要起草人王】毅勃 王明云— 李骥?。。 肖劲?戈 江元升》 ,黄华:敬 何武 》夏双兵 陆崎 【。谢,志雯 朱琳 刘【。娟 刘序《忠 高艳《敏 朱?海英 徐小》诚 :刘姗:宏
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主要审查人—陈,霖新 薛《长立 韩方俊— 王天龙 刘—志弘 彭力 刘【嵘侃 ?李东:升 毛煜林 —杨琦 周礼誉—
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