9.3【。  空气调节与净】化 【 9.3.1  ！本条是对新风处理机！组设置的《规定 》   》 ， 1  《本款规定是为了【很好地控制洁净室】内，的正压值同时—也为了节能 ！     —2  本款规定的】目的是室外含尘空气！在送入洁《。净室前彻底过—滤从而？延长：洁，净室顶部FFU【内过滤器或洁净【室，顶部末端高效—。。过滤器的使用—寿，命， ， 》9.3.2  规】定本条是《建议光刻间采用“】新风处理《机组＋？风机过？滤，器机：组＋干冷却》盘管”的净化空调】系统；其《。他清：。净室采用“新风处】理机组＋循环空气】处理机组＋高—效过滤？器送：风，口”的净化空调【系统作此规定—主要考虑了洁—净室：的，形式：、综合造价、综合】能耗、系《。统可靠性、空间【管理、运行维—护管理等因素 【 9.3.！3，。  ：。规定本条《。主要是防止金属【有机化合《。物化学气相沉—积间：的危：险气体窜到别的【房间 9！.3.4  —规，定，。本条主要是考虑【房间相对湿度是由】。新风机组保证的【干冷：却盘管不应承担【去湿功能避》免在：冬，季出现新《风处理机组加湿【而，循环空气处理机组】去湿：的相互抵消现象【。发，生 9.！3.5  规—定本条主要是考虑】净，化空：调系统的末》端高效过滤器—随运行时间增—加而积尘量上升从而！导致阻力《加大且末端高效过滤！器的初、《终阻力？相差：悬殊：若循环空调机组内风！机不采取变频调【速措施风机始终以】满足末端高效过滤】器终阻力状态运行明！显不节？能 9】.3.6《  发光《二，极管工厂冬季有大量！的余：热如制冷机组的【冷凝器余热工艺冷却！水系统余热空压机】组的压缩余热等这部！分余热量《很大但能提供的【温度相对较低所以】设计加热和加湿【系统时应考》虑最大？限度的利用这部分】余热如采用》温水加？湿方式？。“两：级加热？＋两级加湿》”方式等 】 9.3.9【  ：目前对于《洁净：。度严于等《于6级的洁净室大多！。采用“新风处理【。机组：＋风机？。过滤：器机：组＋干冷却盘管”的！净化空涮系统且【。使用的风《机过滤器《机组(FFU—)规格大部》分为12《00mm×12【00mm按照—国家现行行业标准】风机：过滤器机组》JG／T 3—88的？有关规定12—。00mm×120】0m：m的：。单机：噪声(标准型)【≤57dB(A【)根据国内》几个工厂洁》净室噪声的实—。测数据当洁净室【FFU？采用满布时清净室内！FFU的叠加噪声】一般为？。FFU？的单机？噪，声加13dB(A)！左，右，所以：本规范将该类洁【净室的噪声适当【放宽 《