9》.3  空气调节】与，净化 《。 —9.3.《1  本条是对新风！处理机组设置的规定！    ！ ，1  本款规定是】为了很好地控—制洁净？室内的正压值—同时也为了节能 ！ ？     》2  本款规定的】目的是室外含尘空气！在，送入洁净室前彻底过！。滤从：。而延长洁净》室顶部FFU内过】滤器或洁净》室顶部末端高效过滤！器的使用寿》。。命 9.！3.2？  ：规定：本条是建议光刻间】采用“新风处理机组！。＋风机？过滤器机《组＋干冷却盘—管”的净化》空调系？。统；其？他清净室采用“【新风：处，理机组＋循环空气处！理机组＋《高效过滤《。器送风口”的净化】空调系统《作此规定主》要考虑了洁净室【的形式、综合造价】、综合能《耗、系统《可靠性、空间管【理、运行维护管理】等因素 ！9.3.《3  规定本条主】要，是防止金属有机化合！物化学？气，相沉积间《。的危险气《体窜到别《的房间 》 《9.3.4》  规定《本条主要是考虑【房，间相对湿度是—由新风机组保证的】干冷却盘管不—应承担去《湿功能避免在冬季出！现，新风处理机组—加湿而循环空气处理！。机组去湿的相互抵】消现象发生 【 《9.3.5  规定！本条主要是》考虑净化空调—系统的末端》高效过滤器》随运行时间增—加，而积尘量《上升从而导致阻力加！大且末端《高效过滤《。器的初、终阻力【相差悬殊若循环空调！机组内风机不采取变！频调速措施风机始终！以满足末端》高效过？滤器终阻力状态运行！明，。显不节能 — 9.3【.6  发光—二，极管工厂《。冬季有？大量：的，余热如制冷机组的】冷凝器余《热工艺？冷却水系统余热空压！。机组的压缩余热等】这部分余热量很大】。但能提供的温度相对！较低所以设计加热】和加：湿系：统时：应考：虑最大？限度的利用》这部分余热如—采用温水加湿方式“！两，级加热＋两级—加湿”方《式等 【 9.3.9  目！前对于洁净》度严于等《于6级？的洁净室大多采【用“新风处理机组＋！风机过滤《。器机组＋干》冷却盘管”的净化】空涮：系统且使用的风机】过滤器机组》。(FFU)规格【大部分为120【0mm×1200】。m，m按照国家》现行行业《。标准风机过滤器机】组JG／T 3【88的有《关规定12》00：mm×12》00mm的单机【。噪，声(标准型》)≤57dB—(，A)根据国》内几个工厂洁净【室噪声的实》测数据当洁净室【F，FU采用满布时清】净室内FFU—的叠加噪声一般为】FF：U的单机《噪声加13dB(A！)左右？所以本规范将该【类洁净？室的噪声适当放宽】 ：