9.—3  空气调节与净！。。化 【 ：。9.3.1 — 本条？是对：新风处理机组设置的！规定 【    《。 1  本款—规定：。是，为了很好地控制洁净！室内：的正压值同时—也为了节《能 【    2  本】款规定的《目的是？室外：。含尘空气在送—入洁净？室前彻？底过滤从《而延长洁净室顶部F！FU内？过滤器或洁净—室，顶，部末：端高：效，过滤：器的使用寿》命， 9【.3.2  —规定本条是建—议光刻间采用“【新风处理机》组＋风机过滤器机】组，＋干冷却盘管—”，的净化空调系统；其！他，清净室采用“新【风处：理机：组＋：循环空气处》理机组＋《。高效过滤器送风口”！。。的净化空调系统作】此规定主要》考虑了洁净室的形】。式、综？合造价、《。综合能耗、系统可】靠性、空间管理、运！行维护管理等因素】。 ， ： 9.3.3 ！ ，规定本条主要是防】止金属有机》化合物化学气—相沉：积间的危险》气体窜到别的—房间： 《 9.3.4【  规定本》条主要是《考虑房间相对湿度是！由新风机组保证的干！冷却盘管不应—承担去湿功能避免】。在冬：季出现新风》。处理机组加湿而循环！空，气处理机组去湿的】相互抵消现象—发，生 ？。 9.3.】5 ： ，。规定本条主要—是考虑净化空调系统！的末：。端高效过滤器随【运行时间增加而积】尘量上？升从而导致阻力【加大且末端》高效过？滤器的初、终—。。阻力相差悬》殊若循环空调机组内！风机不采取》变，频，。调速措施风机始【终以满足末端高效】过滤器终阻力—状态：。。。运行明显不节能 ！ 9》.3.6  发光】二极管工《厂冬季有大量的余】。热如制？冷机组的冷凝—器余热工艺冷却水】系统余热《空压机组的压—缩余热等这部分余】热量很大但能提供的！。温度相对较低所【以设计加《。热和加湿系统—时应：。考虑最大限度的【。利，用这部分余热如【采用温水加湿方式“！两级加热＋两—级，加湿”？方式：。等 【9.：3.9  目前对于！洁净度严于等于【6级的洁净室大多】采用“新风处理【机组＋风机过滤器】。机组＋干冷》却盘管”的净—化空涮系统且使【用的风机《过滤器机组(—FFU)规》格大部分为1200！mm：×，。1200mm按照国！家现行行《业标准风机过—滤器机组J》G／T 388【的有关规定1200！mm：×1200mm的】单机噪？声，(标准型)》≤，57dB(A)根】。据国内几《个工厂洁净室噪声】的实测数据当—洁净室F《FU采用满布时清净！室内：F，FU的叠加噪声一般！为FFU的》单机噪声加13dB！(，A)左右所以—本规范？将该类？洁净室的《噪声适当放宽— ：