： 9.3  【空，气，调节与净化 — — 9.3.1—  本？条是对新风》处理：机，组设置的规定—。    ！ 1  本款规定】是为了很好》地控：制洁：净室：内的正压值同时也为！了，节能 】   ？ 2  本款规【定的目的《。是室外含尘空气【在送入洁《净室前彻底过—滤从而延长洁—净室顶部FFU内过！滤器或洁净室顶【部末端高效过—滤器：的，。使用寿命 】 9？.3.2  —规定本条是建议【光刻间采用》“新风？处理机组＋风机过】滤器机组＋干—冷却盘管”的—净化：空调系统；其他清】净室采用“新风处】理机组＋循》环空气处理机组【＋高效过滤器送风】口”的净化空调系】统，。作此规定主要—考虑了洁《净室的？形式、？综合造价、综合【能耗、系统》可靠性、空间管理、！运行：维护管理等因—素 9】.3.？3  规《定本条主要是防止金！属有机化合物化【学气相沉积间的危】险气体窜到别的【房间 — 9.3.4  ！规定本条主要—是考虑房《间相对湿《度是由新风机组【保证的干冷却盘管不！应承担去湿功—能，避，免，在冬季出现新风处理！机组加湿而循环空】气处理机组去湿的相！互抵消现象发生【。 》 9.3.5—  规定本条—主要是考虑净—化空调系统的—末端高效过》滤器随运行时—。间增加而积尘量上】升从：而导致阻力加—大且末端高效过滤器！的初、？终阻：力相差？悬，殊若循环空调机组内！风机不采取变频【。调速措施风机始终以！满足：末端高效过滤器【终阻力状态》运行明显不节能 】 《 9.3.6 【 ，发光二极管》工厂冬？季有大量的余热如制！冷机组？的冷凝器余热—工，艺冷：却水系统余热空压】机组的？压，缩，余，。热等这？部分余热量》很大但能提》供，的，温度相对较低所以设！计加：热和加湿系统时应】考虑最大限度的利】。用这部分余热如采用！。温水加湿方式“两】级加热＋两级加湿】”方式等 】 9.3.9 】 ，目前对于洁净度【严于：等于6级的洁净室大！多采用？。“新风处理机组【＋风机过滤器机组】＋干冷却盘管”的】净化空涮系统且使用！的风机过滤器机组】(，FFU)《规格大部分为120！。0mm×1200】mm按照国家—。现行行业标准—风机过滤器机—组，JG／？T 388的有【关规定12》00mm《×12？00mm的单机【噪声(？。标准型？)≤57dB(【A)：根据国？内几个工厂洁净室噪！声，的实测数《据当洁净室FFU采！用满：布时清净室内—FF：U的叠加噪声一般】为FFU的单机【噪声加？1，。3，dB(A《)左右所以本规范】将该类洁净室的噪声！适，当放宽 《 ，