： 9.3  【空气调节与净化 ！ —9.3.1 — 本条是对新风【处理机组设》置的规定 》。  —   ？1  本《款规定？是为了很《好地控制洁净室内】的正压值同时也【为了节能 ！。     2  】本款规定的》。目的是室《外含尘空气在送【入洁：净室前彻底过滤从而！延长洁净室顶部【FF：U内过滤器或—洁，净室：顶部末端高效过滤】器的：使用寿命 【 ？。9.3.2 — 规定本条是—建议光刻《间采用“新风处理】机组＋？风机过？滤器：机组：＋干：冷却盘？管”的净化空调系统！；其他清净》室采用“新风处【理机：组＋循环空气处【理机组？＋高效过滤》器送风口《”的净化空调系【统作此规定主要【考虑了洁净室的形】。式、综合造价—、综合能耗、系【统可靠性、空间管理！、运行维护》管理等因素 】 9《.3.3  规定】本条主要是防止【。金属有机化合物【化学气相沉积间的危！险气体？窜，到，别的房间 》 ， 《9.：3.4  规定【本，条主要是《考虑房间相对湿度是！由新风机组保证的干！冷，却盘管不应》承担去湿《功能避？免在冬季出现新风处！理机组？加湿而循环空气处】理机组去湿的相互抵！消现象发生 — ： 9.3—.5  规定本条主！要是考虑净化—空调系统的末端高效！过滤器随运行时间】增加而积《尘量上升从而导【致阻力加《大且末端高》效过：滤，器的初、终》阻力相差《悬，殊若循环空》调机组内风机不【采取变？。频调速措施》风机始终以满足末端！高效过滤器终—阻力状态运》行明显不节能— 9.】3.6  发光【。二极管？。工厂冬季有大量的余！热如制？冷机：组的冷凝器余热工】艺冷却？。水系统余热》空，压机组的压缩余热等！这部：分余热量很大—但能提供的温度【相对较低所以设计加！热和加湿系统时【应考虑最大限度的利！用这部分余热如【采用温水加湿方式】“两级加热＋—。两级加？湿”方式等 】 ， 9.3.9  ！目前对于洁净度严】于等于？6级的洁净室—大多采用“新—风，处理机？组＋风机过滤器机】组＋：干冷却盘管”的净】化，空涮系统且使用【的风机过滤》器，。机组(？FF：U)规？格大部分为》1200《mm×1200【m，m按照？国家现行行业标准】风机过滤器机组JG！／T 388的有关！规定120》0mm×1200m！m的单机噪声(标准！型，)≤57dB(A)！。根据：国内几个工厂洁【净室噪？声的实测《数据当洁《净室FFU采—用满布时《清净室？内FFU的叠加【噪，。声一般为FFU【的单机噪声加—13：dB：(A)左右所以本】规范将该类洁—净室的噪《声适当放《宽 ？