9.2【。 ， 供：暖、通风与废气处理！ ， 》 9.2.2【  发？光二：极管：工厂洁净室有—比较严？格的洁净度和温【湿度要求通常—散热器表面不平整且！构，造复杂这样其表面易！积灰且？不易清除另外当【采用：散热器？时，室内的？温湿：度也不易控制— 9【.2.3  规【定本条是为了确保】动力：。站内的水《系统、？消防系统《等，不被冻结另外也是】为了检修的》需要： ？ 9.2.【4  规定本条【是为了？。。确保操作人员的身】体健康和生产安全】因为发光二极管工厂！工艺设备《生，产过程中会散发有毒！、有害和易燃易【爆的物质《 9【.2.5  本【条是对排《风系统设《计的规定 ！     1  】。本款：规定是？为了提高金属氧【化物化学气相沉积】。设，备生产过程中排出】的尾：气中有害物质的处理！效率因为有》害物质在高浓度【的状态？下容易实现高效捕捉！或清除另外》对于单一有害—。物质容易找到针对】性的：。、高效率的》处理方法《 —   ？ 2  本》款规定是为了避免】因酸、碱废》气不分开设》置而发生反应—并生成结晶》。物该结晶物不易【处理且容易沉积堵塞！管路酸、碱排风【按，。一级负？荷供电及工艺设备排！风系统设置》备用风机为提高工艺！排风系统的可靠性】从而确保工艺生产不！会因排风机》。的意外故障而中断】也保证了《操作人员的身—体健康和生产安【全   ！ ， 4  酸、碱【排风管道中》会，有凝结液产生该凝】结液如？不及时排除将—影响排风系统—的正常运行或造成安！全，事故该凝结液应收集！且应排放到》相应的废水管—道中：进入废水处理—站进行再处理 ！     5】  金属氧化物化】学气相沉积设—备排风中含有易【燃易爆气《体所：。以该排？风系统？应，采取防火、》防爆措施具体措施】包括排风管路—系统的法兰》跨，接、：系统接地以及风【机防爆等 —  》   6  本款】规定是为《了防止防火》。阀的误动《作而造成排》风系统的《失效从而《引发安全和生产【的事故另外》即使发生《火灾：时也不应将使此【类排风系统停止运行！因，为一方面排风系统可！兼作排烟功能—。。另一方面《一旦停止运行工艺】生产设备将向—车间：内散发比烟气毒性】更大的有害物质【  【   7  酸、】。碱排风在《。经废气处理设备【处理前处于负压【。状态这样一旦排【风系统发生泄漏【不会出现《未经：处理的有害气体【直，接，。排入大气的现象另】外也：可以使风机处于【经废气处理设备处】理后的低浓度腐蚀气！体运行环境延长风】机的使用寿命 】 《9.2.6 — 本条是《对，废气处理系统设【计的：规定 — ， ，    1  【考虑到？发光二极管工—厂酸、碱排风中【有害物质《。的含量较大如采【用固定床吸附剂方】式处理吸附剂—很快：。就，会饱和需频繁—更换吸附剂调—查发现采用固定床】吸附剂方式处理废】气的企业大部分不】及时更换《。吸附剂从《而影响废《气处理效果造成环境！污染 【     2  本！款规定主要是为了使！废气处理设》备处于最佳的工【作状态提高》废气处理设》。备的处理效率方便】。日常的操作维—护 ？ 《9.2？.7  排》气筒高度《应满足国家》规范、环境评估报】告以及环《保部门等要求经处理！过的：有害废气虽然已【满足排放要求但【不等于没有有—害物故规定排气筒】出口处的最小风速使！废气直接排入—高空避？免新风机组的吸风】口吸入 【 9.2.—8  金属氧化【物化学气相沉积【设备由于使用较大】量的氢气为》防止氢气供应系【统及使用氢气的设】备发生意外泄漏时出！现氢：气积：聚从：而引发爆炸》隐患所以《该设备区域应设置不！低于12次》／h事？故，排风系统 》 ？ 9.《2.9  按照本】规范：规定氢气管道应明敷！在洁净室内》且用气设备也布【。置，在洁净？室内一般使用—氢气房间的吊顶上】部不应存在氢气但考！虑到：该类：。厂房的洁《净室吊顶通常是由】金属壁板拼》装而成的如果—发生氢气泄漏氢【气会通过板缝渗入】吊顶上部空间—这种渗透量》虽然是极小》的但：日积月累会有—事故隐患所以—该房间？的吊顶上部应设置】。通风换气措》施 ？