。。 9.—2  供暖、—通风：与废：气处理 — ？ 9.2.—2  发光二极管】工厂洁净室有比较】严格：的洁净度和温湿【度要求通常》散热：器，表面不平整且构【造复杂这样其表面易！积灰且不易》清除：另外当采用散热器时！室内的温湿》度也不易控》制， 《。 9.2.3 】 规定本条》是为了确保动—力站内？的水系统、》消防系统等不被冻】结另外也是为了检修！的需要 ！9.2.4 —。 ，规定本条是为了【确保操？作人员的《身体健康《和生产安全因为发】光二极管《工厂工艺设备生产】过程中会《散发有毒、有害【和易燃易爆的物质】。 9【.2.5  —本，条是对排风系统【。设计的规定 】    — 1  本》款规定是《为了提高《金属：氧化：物化学气《。相沉积设备生产【过程：中排：出的尾气中有害物质！的处理？效率因为有害物质】在高浓度的状态下容！易，实现高效捕捉或清除！另外对于单一有害物！质容易找到针—。对性的、高效率【。。的处理方法 —  —   2  —本，款规定是为了避【免因酸、碱废气不】分开设置而发生反应！并生：成结晶物该结晶【物不易处理且容易】。沉积：。堵塞管路酸》、碱排风按一—级负荷供电》。。及工艺设《备，排，风系统设置》备用风机《为提高工《。艺，排风系统的》可靠性从而确—保，工，艺生产不会因排风机！的，意外故障而中—断也保证《了操作人员的身体】健康和生产安全【 》 ，    4 — 酸：、碱排风管道中会】。有凝结液《。产生：该凝结液如》不及时排除将影响】排风系统的正—常运行？或造成安《全事故该凝》。结液应？收集且应排放到相应！的废水管道中进入废！。水处：理站：。进行再处理》 ： ：。     —5  金属氧化物化！学气相沉积设备排风！中含有易燃易—爆气体所以该—排风系统应采取【防火、防爆措施具】体措施包括排风管路！系统的法兰跨接、系！统接地？以及：风机：。防，爆等 《 ，   》  6？  本款规定是为了！防止防？火阀的误动作而【造成排风系》统的失效从而引发安！全和生产的事故【另外即使发生—火灾时也《不应将使此类排【风系统停止》运行因？。。为一方面排风系统可！兼作排烟功》。能另一方面一旦【停，止运行？工艺生产设备将向】车，间内散发比烟气毒性！更大的有《害物质 《  —   7  —酸，、碱排风在经—废气处理设备处理】前处于负压状态这样！一旦排风系统发生】。泄漏不会《出现：未经：处理的有害气体直】接排：入，大气的现象另外也可！以，。使，。风机处？于经废气处》理设备处理后的低】浓度：腐蚀：气体运行环境—。延长风？机的：使用寿命 】 9.2.6【 ，。 本条是对废气处理！系统：设计的规定 】 ？    1 — 考虑到发光二极管！工厂酸、碱排—风中有害物质的【含量较大如采用【固定床？吸附剂方式》处理吸附剂很快就】会饱和需频繁—更换吸附剂调—查发现采用固定【床吸附剂方式—处，理，废气的企业大部分】不及时更换吸附剂从！而影响废气处理效】。果造成环境污染 】    】 2 ？ 本款规定主要是为！了使废气处理设备处！于最佳的工作状态】提高废气处理—设备的处理》效，率方便日常的操【。作维：护 9.！2.7  排气筒高！度应：满足国家规范—、环境评估》。报告以及环》保部门？等要求经处》理过：的有：害废气虽《然已满足排》放要求但不等于没有！有害：物故规定排气—。筒出口处的最小【风速使废气直接排】入高：空，避免新风机组的吸】风口吸入《。 9.2！.8  金属氧【化物化学气相沉积设！备由于使用较大【。量，的氢：气为防止氢气供应】系统及使用氢气的】设备发生《意外泄漏时出现【氢气积聚从而引发】爆炸隐？患所以该设》备区域应设》置不低于12次／】h事故？排风系统 》 《 9.2.9—  按照本》规范规定氢气管道应！明敷在？。洁净室内且用—。气设备也《布置在？洁净室内一般使用氢！气房间的吊顶上部】。。不应存在氢》气但：考虑到该类厂—房的洁净室吊顶通】。常是由金属壁板拼】装而：成的如果《发生氢气泄漏氢气会！通过板缝《渗入吊顶上部—。空间：这种渗？透量：虽然是极小》的，。但日积月累会有事】故隐患所以》该房间？的吊顶上部应设【置通风换气》。措施 ？ ，