9.2【  供暖、通风与】废气处理 》 【9，.2.2  发【光二极管工厂洁净室！有比较严格的洁净度！和温湿度要求通【常散热器表》面不：平整且构《造复杂这样其表【面易积灰且不易【清，除另外当采》用，散热器时室》内的温湿度也不【易控制 】 9.2.3 【 规定本条是为了】确保：动力站内的水—系统、消防系统等不！被冻：结另外也是》。为了：检修的需要 【 9》.2：.4  规定本【条是为了《。确保操作人员的身体！健康和？生产安全因为发【光，二极管？工厂工艺设备生【产过程中会散发【有毒：、，有害：和易燃易《爆，的物质 ！9，.2.5  本条是！对排风系统》设计的规《定 【   ？ 1  本款规定】是为了提高金属氧】化物化学气》相沉积设备生产过程！中排出的尾气中【有害物质的处理效率！因为：有害物质在高浓度】的状态下容易实【现高效捕捉或清除另！外对于单一有害物质！容易找到针对性的、！高效率的处理方【法 ：  — ，  ：2  ？本款规定《是为了？。。避免因酸、碱—废，气不分开《设置而发《生，反应并生成结—晶物该结晶物不易】处理：且容：易，沉积堵塞管》路酸、？碱排风按一》级，负荷供？电及工艺《设备排风系统设置备！用，风，机为提高工艺排风】系统的可靠性从而确！保工：艺生：产不：会因排风机的意【外故障而中断也保】证了：。操作人员的身体【健，。康和生？产安：全  】  ： 4  《酸、碱排《风管道？中会有凝结液产【生该凝结液如—。不及时排《除将影响排风系【统的正常运行或【造成安全《事故该？凝结液应收集且【应排放到《相应的废水管道【中进入废水处理【站进行再《处理： ， ：。 ？    5  金】属氧：化物化学气相沉【积设：备排风？中含有易燃易爆气】体所以该《。排，风，。系统应采取防火【、防爆措施具体措施！包括排风管路系统的！法兰跨接、系统接地！以及风机防爆—等 《   》  6  本款规】定是为了防》止防火阀的》误动作而《造成排风系统的【失效从？而，引发安全和生产的】事故：另外即使发生火灾时！也不应将使此类【排风系统停止运【行，。因为一方面排风【系统可兼作排烟功能！另一方面一》旦停：止运行工艺》生产设备《将向：车，间内散发比烟气毒性！更大的有害物—质 —   ？  ：7  酸、碱排风在！经废气处理》设备处理前处于负】压状态这样一旦排】风系统发生泄漏不】会出现未经处理的】有害气体直接—排入大？气的现象另》外也可以使风机处】于经废气《处理设备《处理后？的，低浓度腐蚀》气体运行环境—延长风机《的使用？寿命 ？ 9.2.！6  本条是对废气！处理系统设计的规定！。 ？     【。1  考虑到发光二！极管：工厂酸、碱排风【中有害物质》的含量较大如采用】固定床吸附剂方【式处理吸《。附，剂很：快就会？饱，和需频繁更换吸附】剂调查发现采用固定！床吸附剂方》式处理废气的企【业大：。。部分不及时更换【吸，附剂从？而影响废气处理【效果造成环》境污染 》 ？   ？  2？  本？。款规定主要》是为了使《废，气处理设备处于【最佳的工作状态提】高废气？处理设备的处—。。理效率方便日常【。的操作？维护 9！.2：.7：  排？气筒高度《应满足国《家规范、《环境：评估报告以及环【保部门等要求经处理！过的：有害废气虽然已满足！排放要求但不等于没！有有害物故规—定排气筒出》口，。处的最小《风速使废《气，直接排入高空避【免，新风机组的吸—风口吸入 】。 ，。 9：.，2.：。8  ？金属氧化物化学【气相沉积设备由于】使用较？大量的氢《气为：防，止氢气供应系统及】使用氢气的设备发生！意外泄漏时出现氢气！。积聚从？而引发爆炸》隐患：所，以该设备区域应设】置不：低于12次／h【事故排风《。系统 》 ： 9.2.9  按！照本规范规》定氢气管道应明敷】在洁净室内》且用气？设备：也布置？在洁净？室，内，一般使用《氢气房间的吊顶上部！不应存在氢气但考虑！到该：。类厂房？。的洁净室吊顶通常】是由金属壁板拼装】而成的如果》发生氢气泄》漏氢：气会通过板缝—渗入吊顶上部空【间，这种渗透量虽—然是极小的但日积月！累会：有事故隐患所以该】房间的吊《顶上部应设置—通，风换气措《。施 ？