9》.2  供暖、【通，。风与废气处》理 — 9.》。2.2？  发？光二：极管工厂《洁，净室有比较严格的洁！净度和温湿度—要，求通常散热》器表面不平整且构】造复杂这样》其表面易积灰—且不易清《除另外当采用—散热器时《室，内的温湿度》也不易控制 ！ 9？.2.3《。  规定本条是为了！确，保动力站内的水系统！、消防？系统等不被冻结【另外也是为了检修】的需要 】 9：.2.4《  规定本条—是，为了确保《操作人员的》身体健康和生产安】全，因为发光二极管工厂！工艺设备生产过【程，中会散发有毒、有】害和易燃易爆的物质！ ， 《 9：.2.5  —本条是对排风系统设！计的规定 】     1  ！本款规？。定是为了提》高金属氧化物—化学气？相，沉积设备生产过程中！排出的尾《气中：有害物？质，的处理效《率，因为有害物质在【高浓度的状态下容】易，实现：高效捕？捉，或清除另外对于单一！有害物质容易找到】针对：性的：、高效率的处理方】法  】   2《  本款《规定是为了避免因酸！、碱废气《不分开设置而发生】反应：并生成结《晶物该结晶物不易处！理且容易沉积堵塞管！路酸、碱《排风：按一级负荷供电及】。工艺设备排风系统】设置备？用风机为提高—工艺排？风系统的可靠性从而！确保工艺生产—不会因排风机—的意外故障而中【断也保证了操—作，人员：的身体？。健康和？生产安全 【     4】。。  酸、碱排风【管道中会有凝—结液产生该凝结【液如不及时排除将】影响排风系统—的正常运行或造成安！全事故该凝结液应收！集且应？。排放到相应的废【水管道中《进入：废水：处理站进行》再处：理 ： 》    5  金】属氧：化物化学《气相：沉积设备排风—中含：有，易燃易爆气体所以】该排风？系统应采取防—火，、防爆措施具体【措施包括排风管路系！统的法兰跨接—。、系统接地以及风】机防爆等《 《 ：  ：。  6  本款【规定是为了防—止防火阀《的误动作而》造成排风系》统的失效从而引发安！全和：生产的？事故另外即使发生】火灾时也不应将【。使此类排风系统停】止运行因为一方【面排风系统可兼作排！烟功能另一》方面一旦停》止运行工艺生产【设，备将向车《间内散发比烟—气毒性更大的有害物！质 ： ？     7【  酸、碱》。。排风在？经废气？处理设备处理前处】于，。负压状态这样一旦排！风系统发《。生泄漏不会出—。现未经处理的有【。害气：体直接排入大气的】现象另外《也可以使风》机处于经废气处理设！。备处理后的低浓度腐！蚀气：体运行环境延—长风机的《使用寿？命 — 9：.2.6  本【条是对废气处—。理系统设《计的：规定 —     1  ！考虑到发光》二极管工厂酸、碱】排风中有害物质的】含量较大如采用固定！床吸附剂方式处理吸！附剂很快就会—。饱和需频繁更换吸】附剂：调查发现采用固定】床吸附剂方式处理废！气的企业大》。部，分不：及时更换吸附剂【从而影响《废气处理效果造【成环境污《染 【    2 — 本款规定主要是】为了使废《气处理设备处于最佳！。的，工作状态提高废气】处理设？备的处？理效率方《便日常的操作—维护 《 ？ 9.2.7 【 排气筒《高度应满《足国家规范、环境评！估报告以《及环保部门》等要求？。经，处理过的有害废气虽！然已满足排放要【求但不等于》没有有害物故规定】排气筒出口处—的，最小风速《使废气直接排入高】空避免新风机—组的吸风口吸—入 9】.2.8  金属氧！化物化？学气相沉积设备【由于使用《较大量的氢气为防止！氢气供应系统及使用！氢气的设备发生【意外泄漏时出现【氢气积聚从而引【发爆炸隐患》所以该设备区域应】设置：不低于12》次，／h事？故排风系统 — 9.【2.9  按照本】规范规定氢气管道应！明敷：在，洁净室内且用—气设备也布》置在洁净室内一般】使用氢气房间—的吊顶？上部：不应存在氢》气但考虑到该—类厂房的洁净室吊】顶通常是由》金属壁板拼装而【成的如果发生氢气泄！漏氢气会通》过板缝？渗入吊？顶上部空间这种【。。渗透量虽然》是极小的但日积【月累会有事》故隐患？所以该房间的—吊，顶上部应设》。置通风换气措—施 ： ，