？ 9.4 》 ，防排烟 》 ？ ？9，.4.3  发光二！极管工厂的金属有机！化合物化《学气相沉积车间【是，。整个厂房中危险【性相对较高的—车间从人员安全角度！考虑必须设置—机械排烟系统 【 ： ： 9.？4，.4  洁净室(区！)，的排烟系统与室外】大，气相通且平时不【运行为了防止—室外空气对》洁净室(区)—环境：的影响必须设置【防，止室外气流》倒灌的措施排烟【风机需？要，定期进行巡检为【了避免对洁净室(区！)内空气的污染【影，响，正常的生产一般在】进入排烟《风机前设计旁路【系统用于平》时巡检 — 9.4—.5  洁净室(】区)内的《排烟：管道：如直接采用》产尘的保《温材：料在：施工过程中保—温材料的纤维会在空！气中飞扬难以—清，除从而对洁》净空气造成》污染影？响室：内，洁净度等级且降低送！风末端过滤器的使用！寿命建议《采用双面金属板材内！含保温？材料的成品风管【作为排烟风管 】