。 《7  结    构！ ： ？。 》7.：1  一般规定 ！ ： 7.1.】1，  ：。发光二？极管工厂光刻机等】精密设备基础应满足！微振：动控制？的要：。求 ： 《 7.？1.2 《 产生较大振动的设！。备，。基础宜？远离光刻机等精【密设：备区域；当无—法远离时《对产生较大振动的设！备应采取《有效的隔《振措施？ —7.1.3 — 生产厂房工—艺生产区的》结构：不宜：设置伸缩《缝 ？