安全验证
7.2 】 ,。结,构设计 — , ? ,。7.2.1  【发,光二极?管生产?厂,房可:根据工?艺生产要求采用【下列结?构体系 — ,     —1  单《层排架结《构体系; 》     !2  单层门式【刚架钢?结构体系;》   】  3?  多层框架结构体!系; 【  :   4  多层】框排架结构体—系 《 ?7.2?.2  精密设备基!础宜避开厂房柱基】。础;无?法避开时应考虑厂房!柱基础沉降引起精密!设备基础的》地基变?形,计算 《 7.2.】3  光刻机等精密!设备基础《在首层的微振动控制!应根据其特》性采取?防微:振措施并《应符合下列规—定 《 ,     1  !首层应做钢筋混【凝土地面厚度不【宜小于?250mm;—  【   2《 , 设备基础》厚度不宜小》于800mm并应】与首层的钢筋混凝土!地面连?为一体;《   】。  3?  有冲《击荷载的设》备应远离光刻机等精!密设备且宜在—有冲击荷载设—备的周边设置隔振沟!; 【    4  精】密设备的基础安全等!级应不低于二级 ! : 7.2.4 】 楼层和屋》顶的:普通设备基础应符】合下列规定 】 :     1  不!。宜采用?整片的钢筋混凝土基!础宜:根,据,设备:支承点位置》采用钢筋混凝土支墩!。。。或钢筋混凝》土条形基础;— :     】2  设备基础不应!。跨越伸缩缝》; 》 :    3  设】。备基础宜《布置在柱顶、主【梁或次梁上 】 : 7:.2.5  应考虑!楼层:上设备的布置范围和!运,输,安装区域《的荷载并对受此荷】载影响的梁、柱【和基础根《据正:常使用极《限状态和承载能力】极限状态《。的要求进行验算 ! 7.—2.6  生产厂】房楼层、屋顶应按】照实际吊《挂的管道、》吊顶建筑做》法等计算吊挂荷【载标:准值但不宜小于【0.5?0kN/m2 【 7—.,2.:7  用于》吊挂管道《的预:埋件宜在钢筋混凝】土梁的梁侧设置应根!据水管的重量—和吊挂点的间—。距验算预埋件的承载!力 ?