7  结】  ： ， 构 】 7》.1  一般—规定 】 ：7.1.1 — 发：光二极管工厂光刻机！等精密设备基—础应满？足微振动控》制的要求《 ： 7.1.2！  产生较大振动】的设备？基础宜远离》。光刻机等精密设【备，区域；当无法—远离时对产生较大振！动的设备《应采取有效》的隔：振，措，施 《 7.1.3】  生产厂房工【艺生：产，区的结构不宜设【置伸：缩缝 《