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7 【结 构— 【 , 7.《1 一般规定【 》 : ,7.1.1 【发光二极管》工厂光刻机》等精密设备》基础应满足》微振动控《制的:要求 7!.,。1.2 产—生较大振动的设备基!。础宜远离光刻机【等精密设备》区域;当无法—远离时对产生较大振!动的:设备应采取有—效的隔振措施 【 7.【。1,.3 ? 生产厂房工—艺生:产区的结构不宜设置!伸缩缝 》