： 7  》结    构 ！ 《。 ： 7.1  一般】规定 ？ 【7.1.《1  发《光二极管《工厂光刻机》等，精密设备《基础：应满足微振动控制的！要求 《 7.1.2！  产？生较大振动》。。的设备基础宜—远离光？刻机等精密设备【区域；当无法—远离时对产生较【大，振动的设《备应采？取，。有，。效的隔？振措施 【 7.1.—。3  生产厂—房工艺生产》区的结构《不，宜设置伸缩缝— ：