安全验证
7 — 结: , ,  构 】 7.1】。  一?般规定? — 7.《1.1  发光【二极管工厂光刻【机等精?密设备?基,础,应满足微振动控制的!要求 ? 7.【1.2  产生较】大振动的设备基础宜!远离光刻机等精【。密设备区域;当无法!远离时对产生较大振!动的设备应采取有】效的隔振措施 ! 7.1.3 ! 生产厂房工艺生】产区的结《构不宜设置伸缩缝 ! ,