7  结 ！   构《 】 ， ，7.1？  一般规定 ！ 》7.：1.1  发光二】极管工？厂光：刻机等精密设—备基础应满》足微振动控制—的要求 》 7》.1.2  —产生：较大振？动，的设备基《础宜远离光》刻机等精密设备区域！；当无法远离时【对产生较大振—动的设备应》采取：有效：的隔振措施 — 》。7，.1.3  —生，产厂房工艺生产区的！结构：不，宜设置伸缩缝 】