？ 9.3  空【气调节与《。。净化 【 9.》3.1  本条对】新风处理机组的【设置作了规定 】 ， ：     1 【 本：款规定是为了—很，好地控制洁净室内】的正压？值同时？也为了？节能 》     2 ！ 本：款规定目的是使室外！含尘：空气在送入》洁净室前《得以彻底过滤从而延！长洁净室顶部—风机过？滤机组(FF—。U)内过滤器的使用！寿命： 》     3 【 ，本款规定是为了【提高新风处理系统】的可靠性确保—。洁净室内的正压值】和洁净？度 《   》  4  本款【规定是为了满足工】艺设备的防微振【要求：一般功？率大于7《.5kW的风机【电机与风机》应，采，用直接？驱动形式 》 《     6  】考虑到薄《膜晶体？管液晶显示器—工厂：一般建？在，工，业区区？内存在不《少向大气中排—放有害气体的工厂薄！。。膜晶体管液》晶显示器工厂—本身：就是一个污染—物的排放源而—恰恰薄膜晶体管【液晶显示《器工厂的《有些生产工序—对这些有害气—体比较敏感车—间内：浓度超过一定限值后！会影响产品质量采用！淋水室加《湿方式在加湿的同】。时，可以：对这些有害气—体达到去除的作用可！谓一举？两得：而规定？采用温水淋水—。室主要？是为了？降低加湿《前的空气《温，度使加？热器：的热水供《水温：度得以降低这样薄】膜晶体管液晶显示】器工厂大《量的低位余热能【得以利用达到最【。大程度？的节能 】 9.3.2—。  本条规定是建议！阵列、彩《膜、：成盒厂房的洁—净室采用《新风处？理机组＋《风机过滤器机—组＋干冷《。却盘：管的净？化空调系统模组和背！。光源厂房的洁—净室采用《。。新，风处理机组》＋循：环空气处理机组＋高！效过滤器送》风口的净化空调【系统；这样》。规定主要考》虑了洁净《室的形式《、综合造价、—综合能耗、系—统可靠性《、空间管理、—运行维？护管理等因素— —9，.3.3  通【过CFD(计算流体！。动力学)气流—模拟显示当洁净【室回风方向宽度超】过80？m时虽然采用双侧回！风如不采取》其他措施洁净室内】的气流偏《斜，非常严？重个别地方甚至出现！涡流另？外通过CFD—气，流模拟结果显示【在多种改善气流偏斜！的措施中在宽度方】向布置不同》。阻力的回《风高架地板是相对】。简，单、有效的办法【 《 9.3.4【  本条对干冷【却盘管的设置—作了规？。定 ？ ？。 ，    1、2 】 主要是《。考，虑到FFU的机【。外，余，压有：限，以及降低能源—消耗：   】  3 《 主要考虑》到气流以及房—间温度的控制 【 》    4  【主要是考虑》房间：相对湿度是由—新风机组保证—的，干冷却盘管不承担】去，湿功能而且为了【洁净：。室，。的维护以及相—对湿：度的控制《干冷：却盘管？不应有去湿功能干冷！却盘管的供水—温度应通过计算【确定通常宜高于洁净！室(区？)内的露点温—度 【    5  干冷！。却，盘管在正常运行时虽！无冷：。凝水析出但考—虑到：洁净室在高湿环【境下启动和干—冷却盘管、》管路系统意外渗漏以！及干：冷却盘管及水系统】需要检修而排水等因！素最好？还应设置积》水盘及？排水系统 】。 ，。。 9.3.5  薄！膜晶体？管液：晶显：示器工厂洁净室【。由于面积巨大所以】FFU数量很多【为了：方便调节和》节省能耗宜采用直】流调速电机并—。配置相应的控—制系：统使操作人》员在：控制室？内很容易对每台F】FU实？。现单独控制薄膜【晶体管液晶》。显示器工《厂洁净室有些区域F！FU布？置，率较高为满足—洁净室内《的噪声要求》FFU应采取—消音措施为保证洁净！。度以：及FFU内高—。效(超高效)过滤】器的使用寿命消音装！置不：得采用发尘材料聚】四氟乙烯滤料的过】滤器具？有气体？释放量？小、：抗腐蚀、滤纸强度大！等优点但由于—它是表？面过滤的机理所以】容尘量相对较—小当房间洁净度【低于6？级时回风空气中【含尘量相对较大过滤！器达：到容尘量上限的【时，间相对缩短所以【规定洁净度等级低】于6级的洁净室【不宜采用聚四—。氟乙烯滤料的过【滤器 9！.3：.6  本条规【定主要考虑了能耗F！FU所能《提供的机外》余压上、《下技术？夹层压力《分布气流均匀—性噪声空《间，合理利？用，等因素 【 ：9.3.7  本条！对空调冷、热—源和水系统的设置】作了规定 】     1【  主要是考虑节】能因：为，。冷冻水温提高1℃制！冷机组的COP值提！高3％左右所以薄膜！。。晶体管液晶》显示：器的一般空调系【统和净化空》调系统？应，最大限度地》。使用：中温冷冻水另外从】两种冷？源提供？的时：效考虑低温冷冻【水主：要用于处理新风以】保证室内的相对湿】度供水温度》通常为5《℃～7℃提》供的是季节冷源；】。中温冷冻水主要用】于处：。理，洁净室内的循环风为！保证干冷却》供水温度通常为1】2℃～14》℃常年提供而—薄膜晶体管》液晶：显示器工《厂，的一：般空调？系统和净化空调系】统与工艺生产有关】工艺设备常》年有发热负荷且【生产车间几乎多在内！区需要常《。年供给冷《冻水所以《从这个角度考—虑也应该采》用中温冷冻水薄膜】晶体：。管液晶？显示器工厂》洁净室面积》很大：相应干冷《却盘管？水系统也很》大如不采用》同程：式，冷冻水系统安装在水！系，统中的远端和近【端，干冷却盘管的资用】。压力相差很大水系】统很难平衡和—。调节 《。    【 3  本款规定】主要是考虑减少【供水干管的散冷量】降低供水干管—远端的温升使远端】的干冷却盘管的【热交换能力》不受影响 》 《     4—  本款规定—主要是考《虑防：。微振的要求防止【水，管系统的振动—直接传递到建筑物结！构系统中而影响工】艺生：产 》   《  5  本款【规定主要是考虑避】免因空调水系统【发生意外的漏水而】影响电力系统—的正常工《作甚至发生事故【 9.3！.9  根据现行】国家标准电子工【。业洁净厂房设—计规范GB 5【0472的有关【规定单？向流和混合流洁净】室(区)的》噪声级(空态)不】应大于65dB(A！)非单向流洁净【室(区)的噪声【级(：空态)不《应大：于60dB(A)】但考虑到目前大部】分薄：膜晶体管液晶—显示器工厂的洁净室！采，用新风处理机—组＋风机过滤器【机，组＋干？。。冷却盘管的净化空调！系统且使用的风机过！滤，器，机组(FFU)【规格大部《分为1200×1】200按照现行行】业标准风《机过滤器机组—JG／？T 388的有关规！定1200×12】00的单机噪声(】标准型)《。小于或？等于57dB(A】)根据国内几—个工厂洁《净室噪？声的实测《数据当洁净室FFU！采用满布时洁净室】内，。FFU的叠加噪声一！般为FFU的单【机，噪声：加13dB》(A)？左右所以本规范【将该：类洁净室的噪声适】当放宽 》