9.—3  空气调节与净！化 ：。 — 9.3.1  本！条对新？风处：理机组的设置作【了规定？   】  1  本—款规定是为了很好】地控制洁净室内的】正压值同时也为了节！能 —     2 【。 本款规定目的是】使室外？含尘：空气在送入洁净【室前：得以彻底过滤—。从而延长洁净—。室顶：部风机过滤机组(】。。FFU)内过滤器的！使用寿命 】     —3  本款》规定是？为了提高新风处理】系统的？可靠：性确保洁《。净室内的正压—值和洁净度》    ！ 4 ？ 本款？规，定是为了满足工艺设！备的防微振要求一】般功：率大于7.5—kW的风机电机与风！机应采用直》接驱动形式 ！。     6 】 考虑到薄膜—晶体管液晶》。显示器工厂一般建在！工业区区内存在不】少，向大气？中排放有害气—体的：工厂薄膜晶体管液晶！显示器工厂本身就】是，一个：污染物的排》放源而恰恰薄膜【晶体管？液晶显示器工厂的】有些生？产工序？对这些有害》气，体比：较敏感？车间内浓度超—过一定限值》后，会影响？产品质量采》用淋水室《加，湿方式在《加湿的同时可以对】这些有害气体—达到去除的作用【可谓一举两得—而规：定采：用温：水淋水室主要—是为了降低加湿前的！空气温？度使加热器的热水供！水温度得以降—低这样薄《膜晶体管液》晶显示器工厂大量的！低位余热能得—以利用？达到最大程》度的：。节能： —9.3.2》  本条规定—是建议？阵列：、彩膜、《成盒厂房《的洁净室采用—新风处理机组＋【风机过滤器机组【＋，。干冷却盘管》的净化空调系统模组！和背光源厂》房的洁净《室采用新风处理机】组＋循环空》。气处理机组》＋高效过滤器—送风口？的，净化：空调系统；这—样规定主要考虑了】洁，净室的形式》、综合造《。。价，。、，综合：能，。耗、系？统可靠性、空间管理！、运行维护管理等】因素 】。9，.3.3 》 通过CFD(【计算流体动》力学)气流模拟显示！当洁净室回》风方向宽《度超：过80m《时虽然采用双侧回风！如，不采取其他》措施洁净室》内的：气流偏？斜非常严《重个别地方甚至【出现涡流《另外：通过CFD气流模】拟，结果显示在多种【改善气流偏斜的【措施中在宽度方向布！。置不同？阻力的回风高—架地板是《相对简单《、有效的办》法 》 ：9.3.4 — 本条对干冷—却盘：管的设置作了—规定 《。     1！、2  主》要，是考：虑到FFU》。。的机外余压》有限以及降低—。能源消耗 】     —3  主要》考虑到气流》以及房间温度—。的控制 】   ？  4  主要是】考虑房间相对湿【度是由新风》机组保证的干—冷却盘管不承担去湿！。功能而且为了洁净】室的维护以及相对湿！度的控制《干冷却盘管不应有去！湿功能干冷却盘管】的供水温度应通过】计算确定通常宜高于！洁净室(区)—。内的露点温度 【 《     5—  干冷却盘管【在正常运行时虽无冷！凝，水析出但考虑—到洁净室在高湿环境！下启动和干》冷却盘管、管—路系统意外》渗漏以及干冷—却盘管及水系统【需要检修而排水等因！素最好还应设置积水！盘及排水系统— —9.3.5  薄】膜晶体管液晶显示器！工厂洁净室由于【面积巨大所以—FFU数《量很多？为了方便调节—。和节省能《耗宜采用直流—调速电机并配—。置相应的控制—系统使操作人员【在，控，制室内很容易—对每台FFU实现】单，独控制薄膜晶体管液！晶显：示器工厂洁净室有些！区，域F：FU布置率较高【。为满足洁净室内的噪！声要求？FFU应《。采取消音措施为保证！洁净度以及》FFU？内高：。。效(超高效)过滤】器的使？用寿：命，。消音装置不得—采用发尘《材料聚四氟》。乙烯滤料的过滤器具！有气体释放量小、抗！腐蚀、滤纸强度大】等优点但《由于它是《表，面，过滤的机理所以容】尘量相对较小—当房间？洁净度低于6级时】回风空气中含尘【量相对较大》过滤器达到容尘量】上限的时《间相对缩《短所：以规定洁净度—等级低？于6级的洁净—。室不宜采用聚四【氟乙烯滤《料的过滤器 【 ， ： 9：.3.6 》 本条规定主要考虑！了能耗FFU所能】提供的机外余—压上、下《技术夹层压》力，分布气流均匀性噪】。。声空间合理利用等因！素 9.！3.7  本条对】空调冷、热源和【水系统的设置—作了规定 —     】1，  ：主要是？考虑节能《因为冷冻水温提【高1℃制冷机组【的COP值提高【3％左右所以薄膜晶！。体管液晶显示器的】一般空调系统和净化！空，调系统应《最，大限：度地：使用中温冷冻水另】外从两种冷源—提供的时效考虑低】温冷冻水主要用于】处理新风以保证【室内的相《对，湿度供？。水温度？通常为？5℃：～7℃提供的—是季节冷《源；中温冷冻水主要！用于处理《。洁净室内的》循环风为保证—干冷却供水温度通】常为12℃～14℃！常年提供而薄膜晶】体管液晶显示器【工厂：。的一般空调系—统和净？化空调系统与工【艺生：产有关工艺设—备常年有发》热负荷且生产车间几！乎多在内区需—要常年供给冷冻【。。水所以从这个角度】考虑也应该采用中】温，冷冻水薄膜晶—体，管液晶显示器工厂洁！净室面积《很大相？应干冷？却盘管水系》统也：很大如不采》用同程式冷冻水系统！安装在水《系，统中的远端和近端干！冷却盘管《的资用压《力相：差很大水系统很难平！衡和调节 】    》 3  本款规【。。定主要是《考，虑减少？供水干管的散冷量】降低供？水干管远端》的温升使远端的干冷！却盘管的《热交换能力不受影】响 — ，    《4  本款规定主要！是考虑防微振的【要求防止水管系统的！振动直？接传递到《建筑物结构系统中而！影响工艺生》产 ？     】5  本款规定【主要是考虑避免【因空调水系》统发生意外的—漏水而影《响电：力系统的《。正常：工作：甚，。至发生事故 — 9—.3.9  根据】现，行国家标准》。电子工业洁净厂房设！计规范？G，。B 50472的】有关规定单向流和混！合流洁净《室(区)的》噪声级(空态)【不应：大于65d》B(A)《非单向流洁净—室，(区)的噪声—级(：空态)不应大—于60？dB(A)但考【虑，到目前大部分薄膜】晶体管？液晶显示器》工厂的？洁净室采用新—风处理？。机组＋风《机过：。滤，器机：组＋干冷却盘管的】净化空调系统且使】用的风机过滤—。器机组(FF—U)规格大部—分为1200×12！00按照现行—行业：标准风机过滤器机组！JG／T 》3，88的有《关规定1200【×1200的—单机噪声(标准型)！小于或？等于5？。7dB(《A)根？据国内几《个，工厂洁净室噪—声的实测数据当洁】净室FFU采用【满布时洁《净室内F《FU的叠加噪声一】。般为：FFU的单机噪【声，加13？dB(A)》左右所以本规范【将该类洁净》室的噪声适》当放宽 》