9.3 】 ，。。空，气调节与净》化
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9.】3.1？ ：本条对新风处理机】组的设置作了规定】
— 1 【本款规？定，。是，为了很好《地控制洁净室内的正！压值同时也为了节能！
— 2 — 本款规《定目的是使室外含】尘，空气在？送，入洁净室前》得以彻底过滤从而】延长洁？净室顶部《风，机过滤机组(F【FU)？。内过滤器的》使用寿命
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3 ！本款规？定是为了提高新风】处，理系统的《。可靠性确保洁—净，。室，内的：正压值和洁净度
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— 4 本【款规定是为了满足工！艺设备的《防微振要求一般功】率，大于7.5》kW的风机》电机：与风机应采用直接驱！动，形式：
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》 6 考虑】到薄膜？晶体管液晶显示【器工厂一般建在工】业区区？内存在？不少向大气》中，排放：。有，害气体的工厂薄【膜晶：体管液晶显》示器工厂本身就【是一个污染物—。的排：放源而恰恰薄膜晶】体管液晶显示—器，工厂的有些生—产工序对《这些有害气体—比较敏感车间内浓】度超：过一定限值》后会影响产品质量采！用淋水室加湿—方式在加湿的同时可！以，对这些有害气—体达到去除的作用可！谓一举两得而规定采！用温：水淋：水室主要《是，为了降低加湿前的】空气温度使加热器的！热水：供水温度《得以降低《这样薄膜晶体管液晶！显示：器，工厂大量的低位余热！能得以利用达到最大！程度的节能
】
9.3—.2 本条规定是！建议阵列、彩膜、成！盒厂房？的洁净室采》用新风？处理：机组＋风机过滤器机！。。。组＋干冷却盘管的】净化空调系统—模组和背光》源厂：房的洁净室采用新】风处理机组》＋循环空气处理机】组＋高？效过滤？器送风口的》净化：空调系统；这样规定！主要考？虑了洁净室的形式、！综合造？价、综合能耗、【系，统可靠性、》空间管？理、运行维护管【理等：因素
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9：.3.？3 通过》CFD(计算流体动！力学：)气流？模，拟显示当洁净室【。回风方向宽度—超过80m时虽然】采用：。双侧回风如不采【取其：他措施洁净室—内的气流偏》斜非：常严重个《别地方甚至出现涡流！另外通过CF—D气流模《拟，结果显示在》。多种改？善气流偏斜的—措施：中在宽度方向布置】不同：阻力的回《风高架地板》是相：对简单、有效—的办：法
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9.3.【4 ？本条：对干冷却盘管的设】置作了规定
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— 1、2 主】要是考虑到F—FU的机外余压有】限以及降低能源消耗！
》
》3 主《要考虑到气流—。以及房间温度的控制！
—。 4》 主要是考虑房】间，相对湿度是由新风机！组保证的干冷却盘管！不承担去湿功能而且！为了洁净室的—维护以及相对湿度】的控制干冷却盘管不！应有去湿功能干冷】却盘：管的供？水温度应通过计算确！定通常？宜高于洁净》室(区)内的露【点温度
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， 5 干冷！却盘管在正》常运：行时虽无冷凝水析出！但考虑到洁净—室在高湿《环境下启动和—干，冷却盘管、管路系】。统意外渗漏以及【干，冷却：盘管及水系》统需要检修而排水等！因素：最，好还应设《置积水？盘及排水系统
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9.？3，.5 薄膜晶体】管液晶显示器工【厂洁净室由于面积巨！大所以F《FU数量很》多为了方便调节和节！省能：。耗宜采用直流—调速电机并配置相】应的控制系统使操】作人员在控制室内很！。容易对每台FFU】实现单独控》制，薄膜晶体管液—晶显示？器工厂洁净室有些】。区域FFU》。布置率较高为满足】洁净室内的》噪声要求FFU【应采取？消音措施为保证【洁净：度，以及FF《U，内高效(超高效【)过滤器的使—用寿命？消音装？置不：得采用发尘材—。料，聚，四氟乙烯滤料—。的，过滤器？具有气体《释放量小、》抗腐蚀、滤纸强度大！等优点但《由于它是表》面过：滤的机理所以—容尘量相《对较小当房间—洁净：度低于6级》时回风空气中含尘】量相对较大过滤器达！到容尘？量上限的时间—相对：缩短：。所以规定洁净度等级！低，于6级的洁净室【不，宜采用？聚四氟乙烯滤—料的过滤《器
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《9.3.6 — 本：条规定主要考—虑了能耗《FFU所能》提供的机外余压上、！下技术夹层》压，力，分布气流《均匀性？噪声空间合理—利用等因素
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9.3.7】 本条对空—。调冷、？热源和水系统的设】置作了规定》
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？ 1 主要是】考虑节能因为冷冻水！温提高1℃制—冷，机组的COP值提高！3％左右所》以薄：膜晶：体管：液晶显示器的一般空！调系：统和净化空调系统】。应最：大限度地使用中温冷！冻水另外从两种冷】。源提供的时效考虑】低温冷冻《水主：要用于处《理新风以保证室【内的相对湿度供水】温度通？。常为5？。。℃～7℃提供的是季！节冷源；中温冷冻】水主要用于处理洁净！室内的循环风为保证！干，冷却：供水温？度通常为12℃【～14℃常年提【供而薄？。膜晶体管液晶显示器！工厂的一般空调系】统和净化空调系统与！工，艺生产？有关工艺《设备常年有发热负荷！且生产车间几乎多】在内区需《。要常年供《给冷冻水所以从【这个角度考虑—也应该采用中温冷冻！。水薄膜晶体管液晶】。。显示：。器工厂洁净》室面积很大》相应：干冷：却盘管？。水系：统也很大如不—采用同程式冷冻【水系统安装在水系统！中的：远，端和近端干冷—却盘管的资用压力】相差很大《水系统？很难平衡和》调节
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《 3 本款】。规定主要是》考虑减少供水—干管的散冷量降低供！水干管远端》。的温：升使远端的干冷却盘！。管的热？交换：能力不受影响—
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？ 4《 本？款规定主要是—考虑防微振的—要求防止水管系统】的振动？直接：传递：。到建筑物结》构系统中而影响工】艺生产？
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】 5 《本款规定主要—是考虑？避免因空《调水系统发生—意外的漏《水而影响电力系统的！。正常工作甚至发生】事故：
9【.3：.9 根据现【行国：家标准电子工—业洁净厂《房设计规范G—B 5047—2的有关规定—单向流？和混合？。流洁净室(区)【的噪声级(空态)不！应大于65dB【(，A)非单向流—洁净室(区)的噪】声级(空态》)，不，应，大于60dB(A)！但考虑？到目前大部》分薄膜？。晶体管液晶显示【。。器工厂？的洁净室《采用新风处》理机组？＋风机过滤器机组】＋干冷却盘》管的净化空》调系统且使用的风机！过滤器机组(—FFU)规格—大部分为1200】×，1200按照现【行行业标准风机【过滤器机《组JG？／T 388的有关！规定12《00×1200【的单机噪声》(标准型)小于【或，等于57d》B(A)根据国【内，几个工厂洁》净室噪？声的实？测数据当洁净室【FF：U采用？满布时洁净室内F】FU的叠加》噪声一般为》。FFU的单机噪声加！13dB(》A)左右《。所以：本规范将该》类洁净室的噪声【适，当放宽
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