9.3【。 ， 空气调节与净【化 》 《9.3.1》  本条对新风处理！机组的设置作了【。规定 】    1 — 本款？规定是为《了，很好地控制洁净【室，内的正压值同时也为！了节能 】     2  本！款规：。。定目的是使室外【含，尘空气在送入—洁净室前得以—彻底过滤从而—延长洁净《室顶部？风机过滤机组(FF！U)：内过滤器的》使用寿命《 ，。   【  3  本款规】定是为了提高新风处！。理系统的《可，靠性确保洁净—室内：的正压值和洁净【度 》。 ：    4  本款！。规定是为《。了满足工艺设备【的，防微振要求一般【功率大于7.5【。kW的风《机电机与风机—应采用直接驱动形式！   】  6  考虑到薄！膜晶体管《液晶显？示，器工厂一般建—。在工业区区内存在】不少向？。大气中排放有害气体！的工厂？薄膜晶体管液晶显示！器工厂本身就是【一个污染《物，的排放？源而恰恰薄膜晶体】管液晶显示器工厂的！有些生产工》序对这些有》害气体？比较敏感车间—内浓度超《过一定限值后会影响！产品质量采用淋水】室加湿方《式在加湿《的同时可以对这【些有害？。气体达？到，。去除：的作用可谓》一举两得而规定【采用：温，水，淋水室主《要，是为了降低加湿前】的空气温度使加热】器，的，。。热水供水温度—得以降低这样—薄膜晶体《管，液晶显示《。器工厂？大量的低《位余：。热能得以《利用：达，到最大程度的—节，能 9.！。3.2  本—条，规定是建议阵列、彩！膜、成盒《厂房的洁净室采用新！风处理机《。组＋风机过滤—器机组＋干冷却盘】管，的净化空《调系统模组》和背光源厂房的【洁净：室采用新风处理【机组＋循环空气【处理机组《＋高效过滤器送【。风口的净化空调系统！；这样规定主要考】虑了洁净室的形式、！综，合造价、综合能【耗、系统可靠性、】空间：管理、运行维—护管理等因素 】 9.3.】。3  通过CFD】(计算流体动力学)！气流模拟显示当洁】净室回风方向宽度】超过80m》时虽然采用双侧回风！如，不采取其他》措施洁净室内—的气：流偏斜？非常严重个》别地方甚至出—现涡流另外通过C】FD气流模拟结果显！示在多种改善气流偏！斜的措施中》在宽度方向布置【不同阻力的回—风高架地《板是相对简单、【有效的办法 】 ，。 ：9.3.4 —。 本：条对干冷却盘—管的设置作了规【定 【  ：  1、2  【主要是考虑到F【FU的？机外余压《有限以及降低—能源消耗 ！     3 【 主要考虑到气流】以及房间温度—的控制 】。     4  】主要是考虑》房间：相对：湿度：是由新风机组保【证的干冷却盘管不】承担去湿功能—而且为了洁净室的】维，护以及相《对湿度？的控制干冷却盘管不！应有去湿功能干冷】却盘管的供水温【度应通过计》算确定通常宜高于】洁净室(区)内的露！点温度 】     5  干！冷却盘管在正常运行！时虽无冷《凝，水析出但考虑到洁】净室在高湿环境下】启动和干冷》却盘管、《管路：系统意外渗》。漏以及干冷却盘管】及水系统需要检修】而排水等因素最好】还应设置积水盘【及排：水系统 《 9.3.！5  薄《膜晶体管液晶显【示器工厂《洁净室由于面积【。巨大所以FFU数】量，很多为？了方便调《节和节？省能耗宜采用—直流调速电机并配】置相应？的控制系统使操作人！员在控制室内很容】易对每台FFU【实现单独控制薄膜】晶，体管液晶《显示器工《厂洁净室《有些区域《FFU布置率—较高为？满足洁净室内—。的噪声要求FFU】应采：取消音措施》为保证洁《净度：以及FFU内—高效(？超高效)过》滤器的使《用，寿命消音《装，置不得采用发尘材】料聚四氟乙》。烯滤料的过》滤器具有《气，体释放量小、抗腐】蚀、滤？纸强：。。。度大等优点但由于它！是表面过滤的—机理所以容尘量【。相对较小当》房间洁净度低于6级！时，回，风，。。空气中含尘量相对】较大过滤器达到【容尘量上限的时间相！对，缩短所以规定洁净度！等级低于6》级的洁净室不宜采】用聚四氟乙》烯滤料的过滤器【 ？ 9.3—.6：  本条规定主要】考虑了能《耗FFU所能提供的！机外余压上、下技术！夹层压力《分布气流《均匀：性噪声空间合理利】用等因素 【 ： 9.3《.7  《本条对空调》冷、热源和水系统】的设：置作了规定 ！   《。  ：。1  主要是考虑】节能因为冷》冻，水温提高1℃制【冷机组的《。COP值提高3％】左右所以薄膜晶体】管液晶？显示器的一》般空调？系统和净化空调【系统应？最大限？度地使用中温冷冻水！另外从两种冷—源提供的时效—考虑低温冷冻水主要！用于处理新风—以保证室内的—相对湿度供水温度】通，常为：5℃～7℃提—供的：是季节冷源》；中温冷冻》水，主要：用于处理洁净室内】。的循环风为保—。证干冷却供》水温度？通常：为1：2，℃～14℃》常年提供《而薄膜晶体管—液晶显示《器工厂的《一，般空调系统和净化空！调系统与工艺生【产，有关：工艺设备常年有发】热负荷且生产—车间几？乎多在内《区需要常《年供给冷冻水—所以：从这个角度考虑【也应：该采用中温》冷冻水薄《膜晶体管液晶显示器！工厂洁净《室面积很大相应【干冷却盘管》水系统也很》大如不采用》同程式冷冻水—系统安装在水系【统中的远端和近【。端干冷却盘管—的资用？压力相差《很大水系《统，。很难平？衡和调节 —。   —  3  》本款规？定主要？是考：虑减少供水干—管的散冷量》降低供水干管—远端：的温升？使远端？的干冷却盘管—的热交换能力不受影！响 —     4 【 本款规定主—。要是考虑防微振的】要求防止水管系统的！振动直接传递到建筑！物结构系统中—而影：响工艺生产 ！   《 ， 5：  ：本款规定主要是考】虑避免因空调水系统！发生：意外的漏水》而影响电力系统的】正，常，工作甚至发生事故】 9.3！.9  根》。据现行国《家标准电子工业洁净！厂房设计规范GB ！50472的有关】规定单向《流和混？合流洁？净室(？区)的噪声级—(空态)不应大【于65dB(A【)非单向流洁净室】。(，区)的噪《声级(空态)—不应大于《60dB《(A)但考》虑到目前大部分薄膜！晶，。体管液？晶显示器工厂—的洁净室采用—新风处理机组＋风机！过滤器机组＋干冷】却盘管的《净化空调系》统且使用的风机【过滤器机组(F【FU)规格大部【。。分为12《00×1200按照！。现行行业标准风【机过滤器机组JG】／T 388—。的有关规定120】0×120》0的单机噪》。声，(标：准型)小《于或等于《57dB《(A)根据国内【几个工厂《洁净室？噪声的实测数—据当洁净室FFU】采用满布《时洁净室内F—FU的？叠加：噪声一般《为FFU的》单机噪声加13dB！(A)左右所以本】规范将该类洁净室的！噪声适当放宽 】