？ ，9.3  空—气，调节与？。净化 ！ 9.3.1—  本条《对新风？处理机组的》设置作了规定— ？。     【1，  本款规定是为了！很好地控制洁净【室内的正压值同时】也为了节能 【 ？     2 【 本款？。规定目的是使—室，外，。含尘空气《在送入洁净室—前，得以彻底过滤—从，而延长洁净室—顶部风机过滤机【组，(，FFU)内过—滤器：的使用寿《命   ！  3 《 本款规定》是为了提高新风处】理系统的可》靠性确保洁净室【内的：正压值和洁净度【 ？。 ：。     4—  本款规定—是为了满足》工艺设备的防—微振要求一般功率】大于7.5》kW的风机》电，机与风机应采用直】接驱动形式 ！ ：    6  考】虑，到薄膜晶体管液晶显！示器工厂《一般建在工业区【区内：存在不少向》大气中排放有害气体！的工：厂薄膜晶体》管液晶？显示器工厂本身就】是一个污染物的排】放，源而恰恰《薄膜晶体《管液晶显示器工厂】的有些生产工序对这！些有害？气体比较敏感—车间内？浓度超过《一，定限值后会影响产品！质量采用淋》。。水室加？湿方式在加湿—。。的同时可以》。对，这些有害气体达【到去除的作用可【谓一举两得而—规定采？用温水淋水》室主要是为》了降低加湿前的空】气，温度使加热器的热水！供水温度《得以：降低这样薄膜晶体】管液晶显示器—工厂大量《的低位？余，热能得以利用达【到，最大程度的》节能： 9.3！.2 ？。 本条规定是建议阵！列、彩膜、成盒厂房！的洁净室采用新【风，处理：机组＋？风机：过滤器机《组＋干冷却盘管【的净化空调系统【模组和背光源—厂房的洁《净室采用新风处【理机组＋循环空【气处理机组》＋高效过《滤器送风口的净化】空调系统；这样规】定主：要考虑了《洁净室的形式—、综合造价、综【合能耗、系统可【靠性、？空间管理、运—行维护管理等因素 ！ 《 9.？3.3  通过CF！。D(计算流体动力】学)：气流模？拟显示当洁净—室回风方向宽度【超过80《m时虽然采用双【侧回风？如不采取其他—措施洁净室内的【气流偏斜非常—。严重个别《。地方甚至出现涡流另！。外通过CFD—气流模？拟结：果显示在多种改【善气流偏斜的—措施中？在宽度方向布置【不同阻力的回风高】架地板是《相，对简：单、有？效的办法 》 ： 9.3.4 ！ 本条对干冷却盘】管的设置作》了规定 【     1、2！  主要《是，考，。虑，到FFU的机—外余压有《限以：及降低能《源消耗 【     —3 ： 主要考虑到—气流以？及房间温度》的控：。制， ， ？   《  4 《 主要是《考虑：房间相对湿》度，是由新？风机组保证的干冷】却盘管？不承担去湿功能而】且为了洁净室的维】护以及相《对湿度的控制干【冷，却盘管不应》有去湿功能干冷却盘！管的供水温》度应通？。过，计算：确，定通：。常宜高于洁净室(】区)内的露点温度 ！ 》。    5  干冷！。却盘管在正常运行】时虽无冷凝水析【出但考虑《到洁净？室在高湿环》境下启动和干冷却盘！管、管路系统—意外渗漏以及干冷】却盘管及《水系统需要检修而排！水等：因素最好还应—设置积水盘及排水系！统 — 9.3.5  薄！膜，晶体管液晶》显示器工厂》洁净室由于面积巨】大所以FFU—数量很多为了方【便调节和节省—。能耗宜采用直流调速！电，机并：配置：相应的？控制系？统使操作人员—在控制室内很—容易对？每台FFU实现单】独控：制薄膜晶体管液晶显！。示器工厂洁净室有些！区域F？FU布置率较—高为满足洁》净室：内的噪声要求—FFU应采取消音措！施，为保证洁净度以及】FFU内高》效(：超高效)过》滤，器的使用寿命—消音装？。置不：得采用？发尘材？料，聚四氟乙烯滤—料的过滤《器具：有气：体释放量小、抗【腐蚀、？滤纸强度大》等优点但由于它是】表面过？滤的机理所以容尘量！相对较小当房间洁】净度低于6级—时回风空气中含【尘量相对较大过滤】器，达到：容尘量上限的时间】相对缩？短所以？。规定洁净度等级【低于6级的洁净室】不，宜采用聚四》氟乙烯滤料的过滤器！ —9.：3.6  本条【规定：主要考虑了》。能耗FF《U所能提供的机外余！压上、下技术夹层】压力分布《气流均匀性》噪，声空间？合理利用等因素【 9.3！.，。7  本条对空调】冷、热源和水系统】的设置作了规定【 —    1  主】要是：考虑节能因》为，冷，冻水温提高1℃制冷！。机组：的CO？P值提高3％左右】所以薄？膜晶体管液晶—显示：。。器的一般空调系【统和净化空》调系统应最大限【度地使用中温冷冻】水另外？从两种冷源提—供的时效考虑低温冷！冻水主要《用于处理新风—以，保证室内的》相对湿度供》水温度？通常为5℃～7℃】提供的是季节冷【。源；：中温冷冻水主要【用于处？理洁净室内的循环】。风为：保，证干冷？却，供水温度《通常为12℃～【14℃常《年提供而薄》膜，晶体管液《。晶显示器工厂—的一般空调系统和净！化空调？系统与工《。。艺生产有《关工艺设备常年有发！热负荷且生产车间】几乎多在内区需【要常年供给冷冻水】。所以从这个角—度考虑？也应该采用中—温冷冻？水薄膜晶体管—液晶显示器工厂【。洁净室面积很大相】应干冷却盘管水系统！也很：。大如不采用》同程式冷《冻水系统《安装在水系统中【的远端和近端干冷】却盘管的资用压力相！差很大水《系统很难平衡和调】节 《    — 3  《本款规定主要是考】虑减少供《水干管的散》冷量：降低供水干管远端的！温升：使远端？的干冷？却盘管的热交换能力！不受影？响 ？ ，     【4  本款规定【主要是考虑防微振】的要求？防止水管系统的振】动直接传递到建筑】物，结构系统中》而，影响工艺《生产  ！   5  本【款规定主要是考虑避！免因空调水系—统发：生意外的漏》。水而影？响电力系统的正常】工作甚至《发生事？故， 》 ，9.3.9  根】据现行？国家标准电子工业】洁净厂房设计规范】GB 50》472的有》关规：定单向流和混—合流：洁净室？(区)的噪声—级(空态)不应大于！。65dB(》A)非单向流—。洁净室？(，区)：的噪声级《(空态)不》应大于60dB【(A：)但：考虑到目前大部分薄！膜晶体管液晶显【示器：工厂的洁净》室采用新风》处理机组＋风机过】滤器机组＋干冷【却盘管的净》化空：调系统且使用—的风机过滤》器机组(《FFU)规格大部分！为12？00×1200按照！现行行业标准—风，机过：滤器机组J》G／T 38—。8的有？关规定1《200×1》200的单机—噪声(标准型)【小，于，或等于57dB(A！)，根据国内几》。。个工厂洁净》室噪声的实测数据】当洁净室FFU【采用：满布时洁净室—内，FFU？的叠加噪声》一，般为FFU的—单机噪？。声加：。。1，3dB(A)—左右：所以本？规范：将该类洁净室—的噪：声适当放宽》 ：