， 9.3  空！气调节？与净化 ！ 9.3》.1：  本条对新风【处理机组的》设置作？了规定 《。 ：     1 ！。 ，本款：规定是为了很好【地，控制洁净室内的【正压：值同时？也为了节能 】 ？  ：  2  本款规】定目的是使室外【含尘：空气：在送入洁净室—前得以彻底过滤从而！延长洁净室顶部风】机过滤机组》(F：FU)内过》滤器的？使用寿？。命，。 ， 》   ？ 3：  本款规定是为】了，提高新风《处理系统的可—靠性确保洁净室内的！正压：值和洁？净度  ！   ？4  本款》规定是为了满足工】艺设备的《防微：振要求一般功—。。率大于7.5k【。W的风机《电机与风机应采用】直接驱动《形式 》  《   6  考虑到！薄膜晶体《管液晶显示器工【厂一般建在工业【区区：内存在不少向—。大气中排放有—害气体的工厂薄【膜晶体管液晶显示器！工厂本身就是—一个污染《物，的排放？源，而恰：恰薄膜晶体管液晶显！示器工？厂的有些生产工序对！这些有害气》。体比较敏《感，车，间内浓度超过一【定限值后会影响产品！。质量采？用，。淋水室加湿》方式在加湿的同时】可以：对这些有害气—体达到去除》的作：用可：谓一举两得》而，规定：采用：温水淋水室主要是为！了，降低加湿《前的空气温》度，使加热器的热水供水！温度得以降低这【样薄膜晶体》管液晶显示器工【厂大量的低》位余热能得》以利用达《。到最大程《度的节能 》 ： 9.3—。.2：  本条规定—是建议阵列、彩【膜、成盒《厂房的洁净室—采用新风《处理机组＋风机过】滤器：机组＋干《冷却盘管的净化空】调系统模组和背光源！。厂房的洁《净室：采用新风处理机【组＋：。循环空？气处理机组＋—高效过滤器》送风口的净》。化空调？系统；这样规定【主要考虑《了洁净室的》形式、综合造价、综！合能耗？、系：统可：。靠性、空间管理、运！行维护管理等—因素 《 9.3.】3  通过C—FD(计《算流体动《力学)气流》模拟显示当洁净室回！风方向宽度超过【80m时虽然采用双！侧回风如《不采取其他措施洁】净室内的气流—偏斜非常严重—。个别：地方甚至出现涡【流另外通过CF【D气流？模，拟结果显示在—。多种改善《气流：偏斜的？。。。措施中在《宽度方向《。布置：不同阻力的回风【。高架地板《。是相对？。简单、有效的办法】 —9.3.4  【本条对干冷却盘【管的设置作了规【定 —     》1、2 《。 主要是考虑到【FFU的《机外余压有限—以及降低能源—消耗 《     】3  主要考虑到】气流以？及房间温度》的控制 ！    4 — 主要？是考虑房《间相对湿《度是由新《风机组保《证的干？冷却盘管不承担去】湿，。功能而且为》了洁：。净室的维护以及相对！湿度的控制干—冷却盘管不应有去湿！功能干冷却盘管【的供水温《度应通过计算确定通！常宜高？于洁净室(区)【内的露点温度—   】  5  干冷却盘！管在：正常运行时》虽无冷凝水析出但】考虑到洁净室在【高湿环境下启—动和干冷《却盘管、管路系统意！外渗漏以及干冷【却盘管及水系统需】。要检修而排水—等因素最好还应【设置积水《盘，及排水？系统： ？ 9.3.5】  薄膜《晶体管？液晶显示《器工厂洁《净室由于《面积巨大所以F【。FU数量《很，多为了方《便调节和《节，省能：。耗宜采用《直流调速《电，机并配置相应的控制！系统使操作人—员在控制室内—很容：易对每台FFU【实，现单独控制薄膜晶】体管液晶《。显示：器工厂洁净室有些区！域FFU布》置率较高为》。满足洁净室内—。的噪声要求FFU应！采取：消音措施为》保证洁净《度以及FFU内高】。。效(超高效)过【滤，器的使？用寿命消音》装置不？得采用发尘材—料聚四氟乙烯滤料】的过滤器具有—气体：。释放量小、抗腐蚀、！滤纸强？度大等优点》但由于它是表—面过滤的机》理所以容尘量—相对：较小当房间洁—。净度低于《6级时回《风，空气中含尘量相对较！大过滤器达》到容尘？量上限的时间相【对，缩短：所以规定洁净度【等级低于6级的洁净！室不宜采用聚四氟乙！烯滤料？的过滤器 】 9.3》.6  本条规定主！要，考虑了？能耗FFU所—能提供的机》外余压上、下技【术，夹层压力分》布气流均匀性—噪声空间合》理利用等因》素 【9，.3.？7  本《条对空调冷》、热：源和水系统的设置】作了规定 【    — 1  主要—是考虑节能因—为冷：冻水温提高1℃制】冷，机组的COP—值提高3％》左右所以薄》膜晶体管液晶显示器！的一般？。空调系统和净—化空调系统》应最大限度地使用中！温冷冻水另外从【两种冷源《提供的？时效考虑低》温，冷冻水？主要：用于处理新风以保】证室内的相》对湿度？供水温度通常为5℃！～7℃提供的—是季节冷源》；中温冷冻水主要】用于处理洁净室内】的循：环风为保证干—冷，却供水温度通—常为：12℃～14℃常年！提供而？薄膜晶体管液晶显】示器工厂的》一般空调《系统和净化空调系统！与工：艺生产有关》工艺设备常年—有发：热负荷且《生产车间几乎多在内！区，需要：常年供给冷》冻水所以从这个角度！考虑：也应该采用中温【冷冻水薄膜晶体【管液晶显《示器工？厂洁净室面积很【。大相应干冷却盘管】水系统也很大如不采！用同程式冷》。冻水系统安装—在水系统中的远【端和近端干冷—却盘管的资用压【力相差很大水系统很！难平衡和调节 ！ ？    3  本款！规定主要《是考虑减少》供水干管的散冷量】。降，。低供水干管远—端的：温升：使远端的干冷却盘管！的热交换能力不受影！响 《 ？  ：  4  本款规】定主要是考虑防微振！的要求防止水管系统！的振动？直接：传递到建筑物结构】系统：中而：。影响工艺生产—    ！ 5  本款规定】主要是考虑》避免因空调水系统】发生意外的漏水而影！响电力系统》的正常工作》甚至发生事故 ！ 9.3.9】  ：根，据现行国《家标准电《子工业洁净厂—房设计规范》GB ？50472的—有关规定单》向流和混合流洁净】室(区)的噪声级(！空态)不应大于65！。dB(A)非—单向流洁《净室(区)的噪声】级(空态)不—应大于60dB【(A)但考》虑到目前大部分【薄膜晶体《管液晶显示器—工，厂的洁净《室采：用，新风处？理机组＋风》机过滤器机组＋干】冷却：盘管的净化空调【系统且？使用的风机过滤器机！组(FFU》)，。规格大部《分为120》0×：1200按照现行】行业标准风机过滤】器，机组JG／T 【388？的，有关规定12—00×1200的】单，。机噪声(标准型)小！于或等？于57dB(A【)根据国内几个工厂！洁，净室噪？声的实测数》据当洁净室FFU采！用满布时洁净室内F！FU：的叠加噪《声，一般为FFU的单】机噪声加13dB】(A：)，左右所以本》规范将该类洁净室的！噪声适当《放宽 《