。。。 9》。.3：  ：空，气调节与净化 ！ ， 9.3.1！ ，。 本条？对新风？处理机组的设置作】了规定 《     ！1，。  本？款规定是为了—很好地控制洁净室内！的正压值同时也【为了：节能  ！。。 ，  2  本款【规定目的是使室外】含尘：空，气在送入洁》净室前得以彻底【过滤从而延长洁【净室顶？部风机过滤机—组(：FFU)内过滤【器的使用寿命 【 ：    — 3 ？ 本款规定是为了提！高新风？处理系统的》可靠性确保洁净【。室内的正压值—和洁净度 【  《   4  本款规！定是为了《满足工？艺设备的《。防微振？要求：一，般功：率大：于7.5kW的风机！电，机与风？机应采用直接驱【动形式 ！    6》  考虑到》薄膜晶体管》液晶显示《器工厂一般建在【工业区区内存在【不少向？大气：中，排放有害气体的工厂！薄膜晶体管》液晶显示器工厂【本身就是一个污染物！的排放？源而恰？。恰薄膜晶体》管液晶显示器工厂的！有些生？产工：序对这些有害—气，体比较？敏感车间内浓—。度超过？。一定限值后》会影响产品》质量：采用淋水室》。加湿：方式在？。加湿：的同时可《以，。对这些有害气体【达到去除的作—用可：谓一：举两得而《规定采用温》水淋水室主》要是：为了降低加湿前【的空气温度使加热器！的热：水供水？温，度得以降低这样薄膜！晶体管液《晶显：示器工？厂，大量的低位余热能得！以利用达《到最大？程度的节能 — 9.【3.2  本—条规定是建议阵列】、彩膜、《成盒厂房的》洁净室采用》新风处理机组—＋风机？。过滤器机组＋—干冷却盘《管的净化空调系统模！组和背光源厂—房的洁净室采—用新风？处理机组＋循环空】气处理机组＋高效过！滤，器送风口《。的净：化空调系统；—这样：规定主要考虑了洁净！室的形？式，、综合造价、综【。合能耗、系统—。可靠性、《空间管理、运—行维护管理等—。因素 】9.3.3》  通过《。CFD(计算流体动！力学)气流模拟显示！当洁净室回风—方向宽度《超过80m时虽然】采用双侧回风—如不采取其他措施】洁，净室：内的气流偏斜非常】严重个别地方甚至】出现涡流另》外通：过CFD气流模【。拟结果？显示在？多，种改善气《流偏斜的措施中在】。宽度方向《布置不同阻力的回】风高架地板是—相对简单、有效【。的，办法 】9.3？.4  本》条对干冷却盘管【的设置作了规定 】 《     1、2】 ， 主要是《考虑到F《FU的机外余压有】限以及降低能源消】耗 》。 ：    3  主】要考虑到气流以及房！间，。温度的控制 】    — 4  主要—是考虑？房间相对湿度是【由新风机组保证【的，干冷却盘管》。不承担去湿》功，。能而且为了洁—净室的维护以及【相对湿度的》。控制干冷却盘管不】应有去湿功能—。。干，冷却盘管《的供水温度应—通过计算确》定通常宜高于洁净】室(区)《内的：露点温度 】     5 】 干冷却盘管在【正常运行时》虽无冷凝水析出但考！虑到洁净《室在高湿环境—下启：动和干冷《却，。盘管、管路系统意】。外渗漏以及干—冷却盘管及水系统】需要检修而排水【等因素最好》还应设？置积水盘《及，。。排水系统 ！ 9.3《.，5  薄膜晶体管】。液晶显示器工厂洁净！室由于？。面，积巨大所《以F：FU数量很》多为：了方便调节和—节省：。能耗：宜采用直流》。调速电机并》。配置相应的控制系统！使操作人员在控【制室内很容易对每】台FFU实现单独控！制薄膜晶《体管：液晶显示器工—。厂，洁净室有《些区域？F，FU布置率较高为】满足洁净室内的噪声！要求F？FU应采《。取消音措《施为保证洁净度【以及FFU内高效】(超高效《。)过滤器的》使用寿命消音—装置不得采》用发尘材《料，聚四氟乙烯》滤料的过滤》器，具有气体释放量小、！抗，腐蚀、滤纸》强度大等优点但由于！。它是表面过滤—的机理？所以容尘量相对较】小当房间洁净—度低于6级时—回风空气中含尘【。量相对较大过滤器达！。到容尘量上限的时】间相对？缩短所？以规定洁净度等【级低于6级的洁净】室不宜采用》聚，。四氟乙？烯滤料的过滤—器 — 9.3.6  】本，条，规定主要《考虑了能耗FFU所！能，提，供的机外《。余压上、下》技，术夹层压力》分布气流均匀性噪】声空间合理利用等因！素 【。9，.3.7  本条】。对，空调冷？、，热源和水系》统的设置作了规【定，。 《     —1  主要是考虑节！能因为冷冻水温提高！1℃制冷机组的C】OP值提高3％左】右所以薄膜晶体管液！晶显示？器，的一般空《调，系统和净《化空调系统应—最大限度地》使用中温冷冻—水另外从两》种冷源提供的时效】考虑低温冷》冻水主要用于—处理新风以保证【室内的相对》湿度供水温度通常】为，5℃～7℃》提供的是季节冷源；！中温：冷冻：水主要用于》处理：洁净室内的循环【风为保证干冷—却供水温《度通：常为12℃～14℃！常年提供而薄—膜晶体管《液晶显示器》。工厂的一般空—调系统？和净化空调系—统与工艺生》产有关工艺设备【常年：有发热负荷且生产车！间几乎多在内区【需要：常年供给冷》冻水所以《从这个角度考虑也】应该：采用中温冷冻水薄膜！。晶体管液《晶显示器工》厂洁净室面》积很大相应》干冷却盘《。管水系统也》很大如不采》用同程？。式冷冻水《系统安装在水系统】中的远端和近端【干，冷却盘管的资—用压力相差很大水】系，。统很难平衡和调节】   】  3？ ， 本款规定主要是考！虑，减少供水干管的散】冷量降低供》水干：。管远端的温升使【。远端的？干冷却盘管》的热交换能力—不受影？响  】   4《 ， 本款规定主要是考！。。虑，防微振的要求防止】水管：系统的振动》直接：传递到？建筑：物结构系统》中而影响工》艺生产 【  ？   5  本款】规定主？要，是考虑避免因空【调水：系统发生意》外的漏水《而影响电力系—统的正常工作甚至】发生事故 【 9《.3.9  根据】现行：国家标准电子—工业洁净厂房设计规！范G：B 5？047？2的：有关规定单向流【和，混合流洁净室(区)！的噪声级(空态)】不应大于65d【B(A)非》单向流洁净室(区】)的噪声《级(空态)不应大】于60dB》(A)？但考虑到目前—大部分薄膜》。晶体管液晶显示【器工厂的洁》净，室采用新风》处理机组＋风—机过滤器机》组＋干冷却盘管的】净化空调系统—且使用？的，风机：过滤器机组(—FFU)规格大部分！。为1200×12】00按？照，现行行业标准风机过！滤器：机组J？G／T 388的有！关，规定1200×12！00的单机》噪声(标《准型：)小于或《等，于57dB(—。A)根据国》。内几个工厂洁净室噪！声的实测数据当洁】净室FFU》采，用满布时洁净室内】FFU的叠加—噪声一般为F—FU的单机噪声【加13？d，B(A)左右所以】本规范将该类洁【净室的噪声》。适当放宽 》 ，