9.4【  防  排 【 烟 》 9.【4.：3  薄膜晶体管】液，。晶显：示器厂房洁净室(区！。)具有大体量—、大面？积、人员密度小【的，特点而其关键工艺设！。备均设有《很完善的安全设施且！此类洁净厂房内【各种：公用动？力、净化空调、【工艺排气和废气管道！、高纯？物质供应设施等管线！较多布置复》杂使机械《排，烟管：线的布？置比较困难为此作了！本条规定 —。 9.—4.4  洁—净室(区)的—排烟系统与室外大气！相通且？平时不运行为了防止！室外空气对洁—净室(区)》环境的影《响应设置防止室【外气：流倒灌的措施排烟】风机需要《定期进行巡检为了】避免对洁净室—(区：)内空气《。的污染影响正常【的生产？一般在进入排烟风】机前设？计旁路系统用于平时！巡检 》 9《.4.？5 ： 洁净室(区)【内的排烟风管包括洁！净送风静压箱、下技！术夹层、回风—夹，道(墙)内的排烟风！管如：直，接采用产尘》的保温？材，。。。料在施工过程—中保温材料的纤维会！在空气中飞扬难以清！除从而对洁净空【气造成污《染影响室内》洁净度等级且降【低了送风末端过【滤器的使用寿命 】 ，