9.4 】 防 《排 烟
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》9.:4.3 薄膜晶】。体管液晶显示—器厂房洁净室(区)!具有大体量、—大面积、人》员密度小的》特点而其关键—工艺设?备均设有很完善的】安全设施《。且此类洁净厂房【内,各种公用动力、净化!空,调、:工艺排气和废—。。气,管道、高纯物—质供应设施等管线较!多,布置复杂使机—械,排烟管?线,的布置比较困难【为此作了本条规【定
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9.—。4.:4 洁净室(区)!的排烟?系,统与室外大气—相,通且平时不运行为】。了防止?室外空气对洁净室(!区)环境《的影响应《设置防?止室外?气流倒灌的》措施排烟风机需【要定期进行巡检为了!避免对洁净室—(区)内空气的污】染影响正常的生【产一般在《。进入:。排烟风机前》设计:旁路系统用》于平:时巡检
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9.4】.5 洁》净室(区《)内的排烟风管包】括洁净送风静压箱、!下技术夹层》、回:风夹道(墙)—。内的排烟风管—如直接采《用,。产尘的保温材料在】施工过程中保—温材料的纤》维会在空气中—飞扬难?以清除从而对洁净】空气造成污染影【响室内?洁净度等级且降【低,了送风末端》过滤器的使用寿命】
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