:
:9.4 防 【 排: 烟
》
:。。
,
,
9.《4,.3 薄膜晶体管!。液晶显示器厂房洁】净室(区《)具有大体》量、:大面积、人员—密度小?的特点而其关键工】。艺设备均设有—很完善?的,安全设施《且此类洁净厂房【内,各种公?用,动力、净化空调【。、工艺排气和废气管!道、高纯物质供【应设:。施等管线较多布置】复杂使机械排—。烟管线的布》置比较困难为此作了!本条:规定
【
9.4.4— 洁净《。室(区)的排—烟系统与室外大【气相通且平时—。不运行为了防—止室外空气对洁【。。净室(区)环境【的,影响应设置》防止室?外,。气流倒灌《的措施排烟风机需要!定期进行巡检—。为了避?免对洁净《室(:区,)内空气的污染影】响正常的生产一般】在进入排烟风—机前设计旁路系统用!于,平,时巡检?
》
9.?4.5 洁净室(!区)内的排烟风管包!。括洁净送风静压【。箱、下技《术夹层?、回风夹道》。(墙)内的排烟风管!如直接采用产尘的】。。保温材料《在施工过《程中保温《材料的纤维会在空气!。中飞扬难以清除从而!对洁净空气造—成污染影响室内【洁净度?等级且降低了送风末!端过滤器的使用寿】命
?