9.4 !防 排 烟
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9.4】.3 《薄膜:晶体管液《晶显示器厂房—洁净室(区)具有】大体量?、大面积、人员密】度小的特点》而其关?键工艺设备均设【有很完善的安全设施!且此类洁净厂房内各!种,公,用,。动力:、净化空调》、,工艺排?气和废气《管道、高《纯物质供应设施【等管:。线较多布《置复杂使机械排烟】。管线的布置》比较困难为》此作了?本条规定《
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9.【4.4 洁净室】(区:)的排烟系》统,与室外大气相通【且平时不运》行为了防止室外【空气对洁净室(区)!。环境的影响应设置】防止室外气》流倒灌的措施排【烟风机需要》定期进行巡检为了】避免对洁净室(【区)内空气的—污染影响《正常的?生产一般在进入【排烟风机前设计旁】路系统用《。于平时巡检》
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9—.4.5《 洁净《室(区)内的排烟】。风管包括洁净送【风静压箱《、下技术夹》层、回风夹道(【墙)内?的排烟?风管如直接采用产】尘的保温材》料,在施工过程中保【温材料的纤维—会在空气中》飞扬难以《清除从而《对洁净空气造成污染!影响室内洁净度【等级:且降低了送风末端】。过滤:器的使用寿命
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