《9.4  防—  排  烟 】 9.4！.3 ？ 薄膜晶体管—液晶显示器厂房洁净！室(区)具》有大体量、大—面积、人员》密度小的特点而【其关键工《艺设：备均设有很》完善的安全设施【且此类洁净厂—房内各？种公用动力、—净化空调、工—艺排气和《废气管道《、高纯物质供应设】。施等管线较多布置复！杂使机械排》。烟管线？的布置比较》困难为此作》了本条规定 【 ： 9.《4.4  洁—净室(区)的排【烟系：统与室外大气—相通且平时》不运：。。行为了防止室外空气！。对洁净室(区)【环境：的影响应《设置防止室外气流倒！灌的措施《。排烟风机需》要定期进行》巡，检为了避免》对洁净室(》区)内空《气的污染影响正常的！生产一般在》进入排烟风》机前设计旁路系统用！于平时巡《检 ？ ？ 9.4《。.5  洁净室(】区)内？的排：烟风管包括洁净【送风静压箱》、下：技，。。术夹层、回》风夹道(墙》)内的排《烟风管？如，直接采用产尘的保】温材料在施》工过程中保》温材料的纤》维会：在空气中飞扬难以清！除从而对洁净空气造！成污染影响》室内洁净度等级【且降低了送风末端】过滤：器的使用寿命 【 ，