《9,.2 采暖、【通风与废气》处理
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9.2.1 本!条规定是为了确保动!力站及管廊内的【水系统、消》防系:统等不被冻》结也是为了检修的】需要
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9.2.2 】薄,膜晶体管液晶显示】器工厂洁净室通常有!。严格的洁《净度和温、》湿度要求《散热器表面易积灰】且不易清除另—外如采用散热器室内!的温、湿度》也不容易控制—
9【.2:.3: , 本条规定》是为了确保操—作,。人员的身体健康【和生产安全因为【薄膜:晶体管液晶显示器工!厂工艺设备》生产过程中》散发:的大多?为有毒、有害—和易燃、易爆的物】质
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9.—。2.4 本条对排!风系统的设计—作了规定
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》 , 1 本款规】定是为了《提高有害《物质的处理》效率因为《有害物质在高浓【。度的状?态,下容易实现高—效捕捉或《清除另外《对于单一有害物【质容易找到针对性的!、高效率的处理【方法
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? 2 》 本款规定是为了对!不同的有害》物质进行针对性的处!理因为?。这,四种有害物质的处】理方法是完全—不同的另外如果酸】、碱废气不》分开会生成结晶物】该结晶物不易—处理且容易沉—积堵塞管路》设置备?用风机和备用电源】是为提高工艺—排风系统的可—靠,性从而?确保工艺生》产不会因排风机的意!外,故障而?中断也保证》了操作人员的身体】健,康,和生产?安全
! 4《 因为工艺设备】局部:。排风管道中》会有凝结液产—生该凝结液如不及】时,排除将?影响排?风系统的正常—运,行,或造成安全事故该】凝结液?。应收集且应排放到】相应的废水管道中进!入废水?处,。理站进行再处理
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5!。。。 本?款规定是为了—满足消防和防腐【的,。要求因为有毒—排风:除了含有腐蚀性物质!。。外通常?还含有易燃、—易爆气体所以该排风!管应采用内涂聚【四氟乙烯或其他防腐!材料的不《锈钢板?制作
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6— 由?于薄膜晶体管液【晶显示?。器工厂的一》。般排:风、有毒和有机排】风中:通常含有易燃、易】爆气体所《以排风系统应采取相!应,的防火、防爆措施具!体措施包《括排:风管:路系统?的,法兰跨?接、系统接地以及风!机防爆等
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: 7 本款】规定是?为了防止防火—阀的:误动作而造成排风系!统的失效从》而引:发安全和生产—的事故另外即—使,发生火灾《时也不应将使此【类排:。风系统停止》运行:因,为一方面排风系统】可兼作排烟功能另】一方面薄膜晶体管液!。晶显示器工厂—。的,局部排风系统—排除的大《多是有毒物》质一旦停止运—。行,工艺设备《将向车间内散发【比烟气毒《性更大的有》害物质
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【 8 本款规定】是为了使酸、碱、】有毒:和有机?。排风:在经废气处理设备】处理前处于负压状】态这样一旦排风【系,统,发生:泄漏不会出现—未,经处理的有害气体直!接排入大气》。的现象另外也可以使!风机:处,于经:废气处理《设备处理后》的低浓度《腐蚀气体运行环境延!长风机的使》用寿命
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《 9 【考虑到有毒排—风系统?中存在一定量的【粉尘时间一》长会在排风管路中】的某些?地方(?如上升或拐》弯处等)沉》积而造成堵塞所以应!在这些地方设置观】察和清扫口
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《 11 《 本:款主:要是考虑满足防微振!的要求
!9.:2.5 本条对】废气处理系统—的设计作《了规:定
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《 《1 : 本款规定是为【了提高?就地处理《设备的转化效—率和去?。。除效率从而使整个】废气处理《系统的处理效率【得以提高提高硅烷】和二氧化硅的去【除率可以减少—。粉尘在排风》管路中的沉积量从而!降低排风《管道的?堵塞和维护频率
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【2 本款》规定是考虑》到有:毒排风中不仅含有】。F-和Cl-酸根】离子而且《还含:有NH?3以及NH4Cl和!N,H4F粉尘
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《 , 3 《本,款规定?是为了提高废—气处理的可靠性避】免因废气处》理,设备:出现故障而使—有害气体未经处理】。直接排入大》气
】 4 本款规!定是考虑到》薄膜晶?体管:液晶显示器》工厂酸、碱、—有机、有毒排风中】有,害,物质:。。的浓度较高如采用固!定床吸附剂》方式处理《吸附剂很快就会【饱和需频《繁更:换吸:附剂调查发》现采用?固定床吸附剂方式处!理废气的企业大【部分不及时更换【吸附剂从《而影响?了,废气处理《效果
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》。 5 本款!规定:主要是为了使—废气:处理设备处于最佳】的工作状态》提高废气处理设备】的,处理效率方便—日常的操作》。维护
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!7 ?本款规定主》要是考虑充分利用废!。热达到节能降—耗的目的《
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》 8 本】。款规定是考》。虑到剥离液中含有】大量高沸点和—雾状的有机物高【沸点:有机物不《易脱附雾《状的有机物会粘【在转轮表面》上不:。易脱附和清除所【以剥:离液:在进入沸石转—轮处:理设备前先》进,行预处理
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9.2.6! 排?气筒高度应》满足规范、环评【以及环保《部门等要求经处理过!的酸、?。碱、有机、有毒【废气虽然已满足排放!要求但不《等于没有《有,害物:。规定:排气筒出口处的风速!是为了使废气直接】排,入高空避免新风机】组,的,吸风:口吸入
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9.2.8 【 薄:膜晶体管液晶显【示器厂房大部—分工艺设备的一般】。排,风为热排风》几乎不含《有,。害物:该排风空《。气的:焓值夏季远低于室】外空气而冬季又远】高于室外《空气所以应作为【洁净室的回风循环】。使用以降低洁净【室的能耗
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