9  供】暖、通风、空气【调节与净《。化 — 9.1】  一？般规定 ！ 9.1》.5：  洁净室(区)】与周围的环境—应保持一定的静压】差这是为了确保洁净！室(区)的正常工】作，状态或空气》平，衡暂时受到破坏【时空气？流只能从空气洁净度！等级高的房间(区域！)流向空气洁净度等！级低：的房：间(区域)使洁净】室(区)内》的空气洁净》度不会受到污染空气！的干扰？ 》  ：   本条第1款】考虑到有些薄膜【晶体管液晶》显，示，器，工厂的洁净》室虽然洁《净度等？级不同但洁》净室的上、下—。夹层相通此》时要严格做到—不同洁净度等级【的洁净室(区)间的！压差不？小于5Pa有较大难！度且也没有必—要所以条文》中规定不同》等级的洁净》室(区)之间—的静压差宜大于或】等于5Pa但应【严格：保证气流是从空气】洁净度等级高的【房间：(区域)流向空【。气洁：净度等级低的房【间(区域)》 9【。.1.？6  薄膜晶—。体管液晶《显示器工厂阵—列、：彩膜、成盒生产工序！对微振有《严格：的要求通常为VC-！C和VC-B所【以对于管径》。大于或等于》12：。5mm的水管—和当量直径大于或等！于600mm的【风管不？宜，布置在核心生—产区当这《种情况不可避免时应！根据：微振要求、管道【尺，寸、安装方式—、管内介质》流速等因《素采：取相应的减振措施 ！ ，