9》 供暖、通风【、空气?。调节与净化
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【9.1?。 一般规定
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9.1.【5 洁净》室(:区):与周围?的环境应保》持一定?的静压差这是为了】确保洁?净室(区《)的正?常工作状态或空气】平衡暂?时受到破《坏,时空气流只能从空气!洁净:度等级高的房间【(区域)流向空气】洁净度等级》低,的房间(区域)使】洁净室(区)内的空!。气洁净度不会受【到,。污染空?。气的干扰
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? : 本条第1款考虑到!有些薄膜晶体管液晶!显示器工厂的洁【。净,室虽然洁净》度等级不同但—洁净室的上、下夹层!相通:此时:要严格做《到不同洁净度等级的!洁净:室(区)间的压差不!小于5Pa有较大难!度且也没有必—要所以条文中规【定不同等级的洁【。净室:。(区)之间》的,静压差宜大于或等于!5Pa但应严—格保:证气流是《从空:气洁净度等》级高的房间(区域)!流向空气洁净度【等级低的《。。房间(区域)
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?9.1.6 【。薄膜晶体管液晶显】示器工厂阵列—。、彩膜、成盒生产工!序对:微振有严格的要求通!常为V?C-C和VC-B所!以对于管径大于或】等于125mm的】水,管和当?量直径大于或—等于6?00mm的风管不】。宜布:置在核心《生产区当这种情况】不可避免时应根据】微振要求《、管道尺寸、安装方!式,、管内介《质流速等《因素:采取相应《。的减振措施
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