安全验证
, : ,。9  供暖、通风】、空气?调节与?。净化 《 】9.1  一般规定! — , 9.1.5—。  洁净室(区【)与:周围的环境应—保持一定的静—压差这是为》了确保洁净》室(:区):。的正常工作状态或】空气平衡暂时受到破!坏时空气《流只能?从空气?。洁净度等级高的房间!(区域)流》向空气洁净》度等级低的房间【(区域)使洁净室】(区)内的》空气洁净度不—会受:到污染空气》的干扰?。 :     】本条第?1款考?虑到有些薄膜晶【体管液?晶显示器工厂的【洁净室虽然洁净度等!级不同但洁净室的上!、下:夹层相通此》时要严格做到不同】洁,净度等级《的洁净室(区)间】的压差不小于5Pa!。有较:大难度且也没有必要!所以条文中规定不】同等级的洁净室(区!)之间的静压—差宜大?于或等于5Pa但】应严格保《。证气流是《从空气洁净度等【级高的房间》(,区域)流向空气洁净!。度等:级低的房《间(区?域) ? 9.1】.6  薄膜晶【体,管液晶显示》器工厂阵列、彩【膜、成盒《生产工?序对微振有严格【的要求通《常为VC-C和【VC-B《所以对?于管径大于或等于1!25mm的》水管和当量》。直径大于或等—于600m》。m的风管不》宜布置在核》心生产区《当这种情况不可避】免时应根据微振【要求、管道尺寸、安!装方式、管内介质流!速等因素《采取相应的减振措】施 : ,