。 9》  供暖《、，通风、空《气调：节与净化 ！ 9.1 ！ 一般规定 】 》9.1.5》  洁净《室(：区)与周围的环【境应保持一定的静】压差这是《。为了确保洁》净室：(区)？的，正常工作状态或空气！平，衡暂时受到破坏时】。空气流？只能从空气洁净【度，等级高的房间(区域！)流向空气洁净【度等级低的》。房间(区《域)使洁净室—(，区)：内，的空气洁净度不会受！到污染空气的干扰】 ？     本条！第1款考《。虑到有些薄膜—。晶体管液晶显示器】工厂的洁净室虽然】。洁净度等级不同但洁！净室的上、》下夹层相通此时要严！格做到不同洁净度】等级的洁净室(区】)间的？压差不小《。于5Pa《有较大难度》且，。也没有必《要所以条文中规定】不同等级的洁净室(！。区)之间的静压差宜！大于或等《于5Pa但应严格保！证气流是从空—气洁净度等》级高的房间》(区：。域)流向空气—洁净度等级低的房】间(区？域) 【 9.1.6  】薄膜晶体管》液晶显示器工厂【阵，列、彩膜《、成盒生产工—序，对微振？有严格的要求通常】为VC-C和V【C-：。B所：。以对于管径大于或】等于125m—m的水管和当量直】径大于或等于60】0mm的风管不宜布！置，在核心生《产区当这种情况不可！避免时应根据—微振要求、管—道尺寸、安装方式】、管：内介质流速》等因素？采取相？应的减振措施 】