9 供暖!。、通风、空》气调节与净化
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9.1 【 一般规定
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—9.1.5 【洁净室(《区)与周《。围的环境应保持一定!。的静压差《这是为了确保洁净室!(区)的正常—工作状态或》空气平衡暂时受到】破坏:时空:气流只能从空—气洁净度等级高的房!间(区域)》流向空?气洁净度等级低的】房间(区域)—使洁净室(区)【内的空气洁净度不】会受:到污染?空气的干扰》
— 本条—第1款?考虑到有些薄膜【晶体管液晶显示【器工厂的《洁净室虽然洁净度等!级不同但洁》净室的上、下夹层】相通此时要严格做】到不同?洁,净度:等,级的洁净室(—区):间的压差《不小于?5Pa有较大难【度且也没有必—要所以条《文中:。规定:不,。同等级的洁》净室(区)》之,间的静压差宜大于或!等于5Pa但应严】格保证气流》。是从空气洁净度等】级高的房《间(区?域)流向空气—洁净度等级低的【房间:(,区域)
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9?.1.6《 薄?膜晶体管液晶显示】器工:厂阵:列、:彩膜、?成盒生?产工序对《微振有严《格的要求通常为【V,C-C?和VC-B》。所以对于管》径大于或等于—125mm的水管】和当量?直径大?于或等于600mm!的风管不宜布置在核!心生产区当这种【。情况不可《避免时应根据—微振要?求、管道尺》寸、安装方式、【管,内介质流速》。等,因素采取相应的减振!措施
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