9 — 供暖、通》风、空气《。调节与净化
【
【
9:.,1, 一般规定—
:
》
9.1.5 洁!净室(区)与周【围的环?境应保?持一定的静压—差这是为了》。确,保洁净?室(区)的正常工作!。状态或空气》平衡暂时受到—。破坏时?空,气流只能《从空气洁净》度等级高的房间(】区域)流向》。空气洁净度等—级低的房间》(区域)使》洁净室(区)内的空!气洁净度不会—受到污染空气的干】扰,
?
》 本条第1款考】虑到有些薄》膜晶体?管液晶显示器工厂】的洁净室虽然洁【净度等级不同但洁】净室:的上、下夹层—相通:此时要严格做到【不同洁净度等级的洁!净室(区)》间的压差不》小于5Pa有较【大难度且也》没有必要所以条文】中规定不《同等级的洁净室【(区)?。之间的静压差—宜大于或等》于5Pa但应严【格保证气流是—从空气洁《净度等?级高:的房间(区域)流】向空气?洁净度等级低的房间!(区域)
【
9.1.6 ! 薄膜晶体管液晶】显示器工厂阵列、】彩,膜、成盒生》产,工序对微振有严【格的:要求通常为》VC-C和VC-B!所以对于管径大【于或等?于,125mm》的水管和当》。量直径大于或等于】。。60:0,mm的风管不宜布】置在核?心生产区当这种情】况不可?避免时应根据微振】要求、管道尺—寸、安?装方式、《管内介质流》速等因?素采取?相应:。。的减振措施
【