9》。 ，。。 供暖、通》风、：空，气调节与《净化 【 9.1】  一般规定 】 9【.1：。.5  《洁净室(区)与周】围，的环境？应保：。持一定的静压—差这是为了确保洁】净室(区《)的正常工》作状态或《空气平衡暂》时受到？破坏时空气流只【。能从空气洁净度等级！高的房间(区—域)流向空气洁净度！等，级低的房间(区【域)：使洁净室(》区)内？的空气洁净度—不会受到污染空【气的干扰 》 ：     【本条第？1款考虑《。。到有些薄膜晶体【管液晶显《示器工厂的》洁净室虽然洁净度】等级：不同但洁净室—。的，上、下夹层相通此时！要严：格做到不同洁—净度等级的》洁净室(区)—间的压差不小于5P！a有较大难度且也】没有必要《所以条文《中规定不同等级【的洁：净室(区)之间的】静压差宜大于—或等于5P》a但应严格保证气】流是从空气洁净度】等级高的房》间(区域《)流向空气》洁净度等级低的【房间(区域) 】 9.1.6！  薄膜《。晶体管液晶》显示器？工厂阵列、彩膜、】成盒生产工序对微振！有，严，格的要求通常为【VC-C和VC-B！所以对于管径大于或！等于125mm的水！管和当量直径大【。于或等于600m】m的风管不宜布【。置在核心生产区当】这种情况不可—避免时应根据微【振要：求、管道尺》寸，、，安装方式《、管：内介质流速等—因素采取相应—的减：振措施 》