《9 供暖、通风】、空气调节与净化】
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9.《。1 一般规定
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—9.1.5 【洁净室(《区)与周围的—环境应保持一定的静!压差这是为了确保洁!净室(区)》的正常工作状态或】空气平衡暂》时受到破坏时—。空气:。流只能?。从空气洁净度等【级高的房间(区域】),流向空气洁》净度等级低的房【间(区域《)使洁净《室(区)《内的空气《洁净度不会受到污染!空气的干扰》
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? , ,本条第1款》考虑到有些薄膜晶】体管液晶显示器工厂!的洁净室虽然洁净】度等级不《同但洁净室》的上、下夹层—相通此?时要严格做》到不同洁《净度等级的》洁净室(区)间的压!差不小于5P—a有较大难度—且也没有必要所以】条文中规定不同等】级,的洁净室(区)之】。间的静压差宜大于】或等于5Pa但应严!格保证气流是从空气!洁净:度等级高《的房:间(:。区域)流向空—气洁净度《等级低的房》间(区?域)
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?9.1.6》 薄膜晶》体管液?晶,显示器工《厂阵列、彩》膜、:成,盒生产工序对微振】有严格的要求通常为!VC-?C和VC-B所以对!于管径大于》或等于125m【m的水管和当量直】径,大于或等于6—00:mm的?风管:不宜布?置,在核心生产区—当这种情况》不可避免《时应根据微振—要,求、管道尺》。寸、安装方式、管】。。。内介质流速》等,因,素采取相《应的减振措施
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