： ：9，  供？暖、通风《、，空气调节与净化 】 ， ： —9.：1  ？一般：规定 — 9.1.5！  洁净室(区【)与周围的环—境，应保：持一定的静》压差这是《为了确保洁净室【(区)的正常工作】状态或空《气平衡暂《时受到破坏》时空气？流只能从空气洁净】度等级高的房—。间(区域)流向空气！洁净度等《级低的？房间(区《域)：使洁净室《(区)？内的空气洁净度不会！受到污？染空气的《干扰  ！   ？。本条第1《。款考：虑到有些薄膜—晶体管？液晶：显示器工厂的洁净室！虽然洁净《。度等级不同但洁净】室的上、下夹层相】通，此时要严格》做到不？同洁净度等级—的洁净室(区)间的！压差不小于5Pa有！较大难度且也没【。有必要所以》条文：中规定不同等—级的洁净室(区【)之间的静压差宜大！于或等于5Pa【但应严？格保证气《流是从？空气洁净度等—级高的房间(区【域)流向空气洁净】度等级低的》房，间(区域) — ？ 9.《1，.6  薄膜晶体管！液晶显示器工厂阵列！、彩膜、成盒—生产工序对微—振有严格的》要求通常为VC-C！和VC-B》所以对于管》径大于？或等于125—。mm的水管和—。当量直径《大于或等于6—00mm的风管不宜！布置在核心生产区】当这种情况不可避】免时应根据微振要】求、：管道尺？寸、安装方式、管】。内介质流速等因【素采取相应》的减振措施 【