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9 — 供暖、通》风、:空气调节与净化 ! 》。 9.1  】一般规定 ! 9《.1.5 》 洁净室(区)【与周:围的环境应》保持一定《。的静:压差这?是为了确《保,洁净室(《区)的?正常工作状态—或空气?平衡暂时受到破【坏,时空气流《只能从空气洁净度等!级高的房间(区域】)流向空气洁净【度等级低的》房间(区域)—使洁净室(区)【内的空?。气洁净度不》会受到污《染空:气的干扰 — ? ,    《本条第1款考虑【到有些薄膜晶体管液!晶,显示器工厂的洁【净室虽然洁净度【等级不同但洁净室的!上、下?夹层相通此时要严格!做到不同《。洁净度等级》的洁净室(区)间的!压差:不小:。于5:Pa有较大》难度且也没有必【要,所,。以条:文中规定不同等级】的洁净室(区)之间!。的静压差宜大于或等!于5Pa但》应严格保证气流是从!空气洁净度等—。级高的房间(区【。域)流向空气洁净度!。等级低的房间—(区域) — : 9.1.6  !薄膜晶体《管液晶显示》器工厂阵列、—彩膜、成盒生产工序!对微:振有严格的》。要求通常为VC【。-C和VC-B【所以对于《管,径大于或等于1【25mm的水管和】当量:。直径大?于或等于6》0,0m:m的风管不宜—布置在核心生产【区当这种《情况不?可避:免时应根《据微:振要求、《。管,道尺寸、安装—方式、?。管内介质流》速等因?素采取相应的—减振措施 》 ,