9》。  供？暖、通风、空—气调节与净化— 《 9【.1  一》般规定 】 ，。 9.1.—5 ： 洁净室(区—。)与周？围的环境应保—。持一：定的：静压：差这是？为了确？保洁净室《(区：)的正常工作状【态或空气平衡暂时受！。到破坏？时空气流只能—从空气洁净度—等级高的《房间(区域)流向空！气，洁净：度等：。级低的房间(—区域：。)使洁净室(区【)内的空气洁—净度：不会受到污染空气的！干扰 —   《  本条第1款考虑！到有些？薄膜晶体管液晶【显示器工厂的洁净室！虽，然洁净度等》级不同但洁净—室的上？。、下：夹层相通此时要【严格做到不同洁净】度等级？的洁净室(区)间】的压差不小》于5Pa有较—大难：度且：也没有必要》所以条文中》规定不同等级的【。洁净室(《区)之间的静压【差宜大？。于或等于5Pa但】应严：格保证气流》是从空气洁》。净度等级《高的房间(区域)】流向空气洁净度等】级低的房间(区域】) 》 9？.1.6《  薄膜《晶，体管液晶显示器工】厂阵列、彩》膜，、成盒生产工序对微！振有严格的》要求：通常：为VC？-C和V《。C-B所《。以对于管《。径大于或等于—125mm的水管】和当量直径大于或等！于600mm的风管！不宜布置在核—心，生产区当这种情【况不可避《免时应根据微振要】求、管道《尺，寸、：安装方式、管内介质！流速等因素》。。采取相？应的减振措施 【 ，