， 9  供【暖、通风、空气【调节与净化》 】 ， 9.1  一般】规定 — 《9.：1.5  洁净【室(区？)与周围的环—境应保？持一定的静压差【这是为了确保洁净室！(区：)的正常《工，。作状态或空》。气平衡？暂时受到破坏时空气！流只能从空气洁净】度等级高《的，房间(区域)流【向空气洁净度等级低！的房：。间(区域)使洁净】室(区)内的—空气洁净度》不会受到污染空【气，的，干扰  ！ ，  本条第1—款考虑到有》些薄膜晶体管液晶】显示器工厂》的洁净室虽然—。洁净度等级不同【但，洁净室的上、下夹】层相：通此时？要严格做到》不同洁净度等级【的洁净室(区)【间的压？差不小于5Pa有】较，大难度？且也没有必要所【以条文中规定—不同等？。级，的洁净室(区)【之，间，的静压差宜大于或等！于5Pa但应严【。格保证气流是—从空气洁净》度等级高的房间【(区：域)流？向空气洁《净度等级低》的房间(区域—) 》 9.1.6【  薄膜晶体管液晶！显，示器工？厂阵列？、彩膜、《成盒生产工序—对微振有严格—的要求？。通常为？VC-C和V—C-B所以》对于管径大于或等】于125《mm：的水管和当量直【径大于或等于—600m《m，的风管？不宜布置《。在核心生产区当这种！。情况：不可避免时应根【据微振要求》、管道？尺寸、？安装：方式、管内介质【流速：等因素采取相—应的减振措施— ：