， ， 9  》供暖、通风、空气调！节与净化 【 9】.1  一般规定】 【 9.1.5  】洁净室(区)与【周，围的环境应保持一】定，的静压差这》是为了确保洁—净室(区)的正常】工作状态或空气平衡！。暂时受到破坏时【空气流只能》从空气洁净度—。等级高的房间—(区域)流向—空气洁净度等级低的！房间：(区域)使洁—净室(区)》内的空气洁净度不】会受到污染空气的】干扰 《。 ：。     —本条第1款考—虑到有些《薄，。膜晶体管《液，晶显示器《工厂：的洁净？室虽然洁净》。度等级不同但洁净室！的上、？下，夹层：。相通此时要严格做到！不同洁净度等级【的洁净室(区)间的！压差不小《于，5Pa有《较大难度且也没有必！。要所以条《文，中规：定不同等级的洁净室！。(区：)，之间的静压差—宜，大于或等于5Pa】。但应严格《保证气流是从空气】洁净度等级高的房间！(区域？)流向空《气洁：净度等级低的房【间(区？。域) 】9.1？.6 ？ 薄膜晶《体管液晶显》示器工厂阵列、【彩膜、成盒》生产：工序：对微振有严》格的要求《通，常为VC-》C，和VC-B所—以对：于管径大于或等于】125m《m，的，水管和当《量直径大《于或等于600m】m的风管《。不宜布置在核心生】产区：当这种情况不可避免！时应根据《微振要求、》管道：尺寸、？安，装方式、管内介质】流，速，等因素采取相应的】减振措施 —