，。。 4《.3  工艺—。区划 】 ，。 4.3.1  本！条规定了《核心生产区域—内工艺区划的原【则 ？    【 1  《随，着薄膜晶《体，管液晶显示器生产技！术的发展玻璃基板】的，尺寸越来越大生产线！的，经济规模也有—增加因？此核心？生产区域的面积【。也越来越大》以产能为《。60K(大片—)／月？的6代线为例其【阵列工序段的核心】生产区？域，的面积已《达35000m2】而8.5代》线则更是达到了75！000m2而且近年！来产业集成度的提高！也使得高《世，代薄膜晶体管液晶显！示器：生，产线多采取阵—列，、，。彩膜、成盒及—模组4个工》。。艺段集成在一个厂区！的建设方案这更【是加大？了薄膜晶体管液【。晶，显示器工厂》的面积需求》在如此大《的面积需求下如果仍！采取单层《平铺的方式布—置无论从节约用地还！是，平面运输距离的角度！考虑都是不太适宜的！而且从？近年来国《内多个项目的工程】实，践来看叠层布置的方！式在防微震设—计等技术方》面是可？。行的 —  ？   2《  薄？。。膜晶体管液晶显【示器生产设备对【生产环境要求很【高但其？中某些设《备，。自身也会《产生诸如振动、电】磁辐射、《热辐射和《。空，气悬浮粒子》污染等不利的—影，响常见的《设，备，及其不利影响包【括，Stocke—r(Stocke】r，是薄膜？晶，。体管液晶显示器【行业专用《术语是一种自动化】。立，体仓库？)中堆垛机(Cr】ane)产生—的振动、化学气相沉！积，机(CVD)产【生的热辐射》和其高频电源产生】的射：。。频辐射、湿法—刻蚀机产《生的酸性气》体等因？此在确定工艺区【划时应？尽量避免《此类设备对敏感设】备(：如，光刻特？别是曝光机)的不利！影，响  】   3  —。薄膜：。晶体管？。液晶显示器面板生产！中的产品《基本：采用专用的搬运【器具：和设备进行搬运搬】运器具的体积和【搬运批量较大(批量！生产时)而薄膜【晶体管液晶显—示器：面板生产《区，的人流则具有—人，员多、特定时—间段人流密度大【(如交接班期间)】的特：点将人？。员和物料入(出)口！分别设置可以避免】。。人、物流混杂交错带！来的安全事》。故隐患提高》生产效率同时减【少对：生产区内洁净环【境的不利影响 】     由！。于人：身净：化流程的需要生产】。区人员出、入口一般！为合并设置(—除应急疏《散，出口外)；》物料的出、入口则】根据生产线布置的】整体物流路径一般】采取分散《设置的方式对—于使用原材料种类较！多的：模组工艺《段还可以根据生产】。。。线布置在所》需不：同原材料的特定【位置附？近设置？多个原材料入—口 《     4 ！ 薄膜晶《体管液晶显》示器生产线》设，备众多绝大》部分设备精密度高】、价格昂《贵对搬运过程中的安！全和振动控制等【要求：很高；另外工—艺设备安装》通常在洁净室施【工基：本，完，成，。且投入？正常运行后》方可进行因》此在工艺区划和【设备布置时应规划】出空间足够的设备】搬入通道以及连接厂！房内、外的设备搬入！口由于薄膜晶—体管液晶显示器面板！生，产线(特别是阵【列和彩色滤》。。光片：工，艺段)？所用洁？净室常采用上—、下技术夹层空调净！化方式核心生产区】工作平面(》设备：安装平面)大大【高于室外地》坪此时？设备搬入《口即成？为设备？。吊装入口为方—便，吊装：需要：在设备搬入口设置】吊装搬入《平台在近年的—薄膜晶体管液—晶显示器工厂建【设，工程实践经验—中，吊装搬入《平台基本分为移动】式(临时性)和固定！式(永久性)—两种移动式平—台通常由设》备搬入专业》公，司提供并安装(在】工程设计中需考虑】提供适当《的，室外基础)》。在设：。备搬入？完成后即《予以拆除固》定式则作为生—产厂房？的附属部分在工程设！计中统一考》虑并设计施》工完成？在设备搬入完成【后，可永久保留以便【供今后设备》搬入(移出)时【使用固定式》吊装搬入平》台也：可分为落地式—和，外挑式2《种 【    吊装搬入】平台形式的选择【一般需根据建设单位！和设备搬入专业公】司的：使，用要求、搬入技术】条件、场地条件【等，因素综合确定—   】  ：5  薄膜》晶体管？液晶：显示器面板生—。产工艺步骤多、流】程长具有多》重工序？加工循环《、重入？的特点当采用工序】集中布？置时同一类型的【工艺设备相》对，集中：地布置在同一区域内！有利于生产调度和】设备负荷调整易于现！场操作和设备调整】而且由于区域内【生产环？境要求基《本一致动力供—应和各类排》放的品种、性质相】近，、负荷集中更易【于进行环境的控【制和调整有利于管】道，布，置对于？节能降耗也》有很大帮助 ！   《  从？行业实践的经验看】薄膜：晶体管液晶显示【器面板生产》的，核心区？基本采取了》工序集中布置的方式！以阵列段为》。例核心生产区—。通常分为薄》膜区、光刻区、【湿法：刻蚀区、干法—刻蚀区和测试检测区！等分别将《化学：气相沉积机／溅射】机(CVD》。／S：putter)【、涂胶／曝光／【显影、湿法刻—蚀机、干法》刻，蚀机、缺陷检—。查，机等集中布置—在上述区域从而【便于集中设置所需】。的生产环境》和，动力供？应设施如黄光—。照明、不同等级的洁！净空调和废水—。排水设施等；同【时也可以《很大程度地避—免，。化学气相沉积机／溅！射机、湿《法刻蚀？。机等所产生的空【气污染和设》备发热对光刻与【检测工艺(设备【。。)的不利影响 【 》4.3.2  【薄膜晶？体管：液晶显示《器生产线有强烈的高！。技术特？点出于企业宣传【、职工培训、—接待客户或政—府主管部《门考察等各种—需要在生产区边缘】设，置一定的与生产区隔！离的参观设施是适宜！。的这样既《可以：避，免生产线外》人员对生《产环：境和：生产秩序的干扰【。也可以更好地展示企！业，形，象和高？科技生产的》特，点参观设施》。的设：置方式和位置—则宜结合《具体生产线》布置形式和整体人】流设计方《案确定？ ？ 4《.3：.3  薄膜晶体管！液晶显示器面板【生产：(特别是高》世代生产线》)物料消耗量大对】连续生产的要求【高在厂区(》或厂房)内设置【相应的库房是—。完全：。。必要的 【     1 】 ，薄，膜晶体管液》晶显示？器，面板生？。产中所用原、辅【材料种类繁多其中既！有火灾？危险性很《低的戊类《物品如玻璃基—板等也包含有强烈】腐蚀或火灾(爆【炸，。)危险的化学危险品！如磷酸？。、丙酮等还有一些】原材料？是需要低温或—干燥：保存的(如》光刻胶等)因此除应！根据现行《国家标准建筑设计】。防火规范GB 50！016的有》关规定？合理划分不同火灾】。危险性？的，仓库类型外还应根】。据，物料的物理》化学特性、存—储环境要《求等适当分》类设：置 ？ ？     薄膜晶体！管液晶显示器工艺生！产中使用的原、辅】材料(特别是化学】品)：。种类众多不同—的建设单位选—择的工艺技术路线不！同其所使用的原【、辅材料也》不相：同且常常随着产品】和，工艺技术的发展出现！更新：和变化在确定主【要原、辅材料的安全！特性时设计人员【。应以有关化》学品供应商提—供的化学《品安全技术说—明书(？SDS)为设计依据！   】  2  薄膜【晶体管？液晶显？示器面板生产所【需的大？部分物料包装单元尺！寸，。大、重量《。重，且物品价值高—厂外运输多》采用大型货运汽【车，。运输厂内装卸—劳动量大为提—高装卸效率》、保：障装卸作业安全站台！的设置是必要—的 《 4.3.【4  当核》心生产区《设有：技术夹层时该区【域通：常布置有《主生：产设备的附》属和：支持：设备如真空泵、特种！气体柜？、有毒废气》处理装置、光刻胶回！收，装置等？；另外技术夹—层，通常安装《有大：量动力供应》管线：、阀：门和控？制装置？等因此为上述—设备和管线、装置】等留出一定的检修空！间和搬运通道是【十分必要的 【