？ 4.3  —工艺区？划 》。 4》.3.1  本条规！定了核？。心，生，产，区域内工《艺区划的原则—   】  1 《 随着薄膜晶体【管液晶显示器生【产，技术的？发展：玻璃基板《的尺寸越来越大【生，产线的经济规模也】有增：加因此核心生—产区：域的面积也越来越】大以产能为60K】。(大片)／月的6代！。线为例其阵列工【序段的核心生产【区，域的面积已达35】0，00m2而8.【5，。代线则更是》达到了？75000m2而且！近年来产业集成【度的提高也使得【高世代薄膜晶—体管液晶显示器生产！线多采？取阵列？、彩膜、成盒—。及模：组4个？工艺段集成在一个】厂区的建设方案这】更是加大了薄膜晶】体管：液晶显示器工—厂的面积需求在如】此大的面积需求下如！果仍采取单层—平铺的方《式，。布，置，无论从节约用地【还是平面运输距离】的角度考虑都—是不太适宜》的而且从近年—。。来国内？多个项目的工程【。实践来看叠层布置】的方式在《。防微震设计等—技术方面是可—行的  ！   2《  ：。薄膜晶体管液晶【显示器生产设备【对生产环境要求很】高但其中某些设备自！身也会？产生诸如振动—、电磁辐《射、热辐射和空气】悬，浮粒子？。污染：等不利的影响常见】的设备及其》不利影响包括—Stocker(S！t，ocker是—薄膜晶体管液晶显】。。示，。器，行业专用术语是【。一种自动化立体仓】库)中堆垛机—(C：ra：ne)产生的—振动、化学气相沉积！机(CVD)产生】。的热辐射《和其高？频电源产生的射频】辐射、湿法刻蚀机产！生的酸？性气体等因此在确定！工艺：区，划时应尽量避免此】类设备对敏感设备(！如光刻特别是—曝光机)的不利影】响   ！  3  薄膜晶】体管液晶《显示器面板生产【中的产品基》本采用？专用的搬运器—具和：。设备进行搬》运搬运器具的—体积和搬运批量【较，大(批？量生产时)而薄膜】晶体管液晶显示器】面板生产区的—人流则具有人员多、！特定时间段人流【。密度大(《如交接班期间)的】特，点将：人，员，和物料？入(出)口分别设置！可以避免人、物【流混杂交错带来的】安全事？。故隐患提高》生产效率同时减少对！。生产区内洁净环境的！不，利影响 》    【 由于？人身净？化流程的需要—生产区人员出、入口！一般为合并设置(】除应急疏散出—。口外)；物料的【出、入口则根据生产！。线布置的《整体物流《路径一般采取分散设！置的：方式对于使》用原材？料，种类较多的模—组，工艺段还可以—根据生？产线布置在所需不同！原材料的特定位【置附近设《置，多个：原材料入口 — ： ，  ？   4  薄膜】晶体管液晶显—示，器，生产线？设备众多绝大部【分设备精密度高【、价格昂贵对搬运】过程中？的安全和振》。动控制？等要求？很高；另外工艺设】备安装？通常在？洁净室施《工基本完成且投【入正常运行后方可进！行因此在工》艺区划和设备布置】时应规？。划出空间足够的设备！搬入通？道以及？连接厂房内》、，外的设备搬入口由】于薄膜晶体管—。液晶显示器面板生】产线(特别是—阵列和彩色滤—光片：工艺段)所用洁【净室常？采用上、下技术【夹层空调净化方式】核心生产区工作【平面(设备安—装平：面)大？大高于室外》地坪此时设》备搬入口即成为设备！吊装入口为》方便吊装需要在设】。备搬入口设置吊【装搬入平台在近【年的薄膜晶体管液】晶显：示器工厂建设—工程实践《经验中吊装》搬入平台基本—分为：移动式(临时性)】。和固：定式(永久》。性)两种移动式【平台通常由》设，备搬入专业公司【提供并安装(在【工程设计中需—考虑提供适当—。的室外基础)—在设备搬入完成后即！予以：拆除固定式则作为生！产厂房的附属—。部分在工《程设计？中统一？考虑并设计施工完】成在设备搬入—完，。成后可永久保留以】便，供今后设备》。搬入：(移出)时使—用，固，定式吊装搬入平台也！可分为落地式和外】挑式2种 》。 ，  》。   ？吊装：搬入平台形式的选】择一：般需根据《建设单位和设备【。搬入专业公司的使用！。要求、搬入技—术条件、场地条件】等因素综合》确，定  】   5《 ， 薄膜晶体》管液晶显《。示器面板生产工艺】步骤多？、流程长具》有多重工序加工【循环、重《入的特点当采用工序！集中布置《时同一类型的工艺设！备相对集中地布【置，在同一区域内—有利于生产调度和】设备负荷《调整易于《现场操？作和设备调整而且由！于，。区域内生《产环境要求基—本一致？动力供应和各类【排放：的品种、性》质相近？、负荷？集，中更易于进行环境的！控制：和调整有《利于管道布置—。对于节能降》耗，也有很大帮助 【  —   从行业实【践的经验《看薄膜？晶体：。管液晶显示器面板】生产：的核心区基本采取】了工序？集中布置的方式【以阵列段《。为例核心生产区【通常分为薄膜区、】光刻：区，。、湿法刻蚀区、干】法刻蚀区和测—。试，。检测区等《。分别将化学气相沉】积机／溅《射机(CVD—／S：putt《er)、涂胶—／曝光？／显：影、湿法刻蚀机【、干法刻蚀机、【缺，陷检查机等集中【布置在上述区—域，从而便于集中—设置所需的》生产环境《和动力供《应，设施如黄光》照明、不同等级的洁！。净空：调和废水《排水：设施等；同》时也可以很大程度地！避免化学气相沉【积机／溅《射机、湿法刻—蚀机等所产》生的空气污染和【。设备：发热对光《刻与检测工》艺，。(设备？)的不利影响 【 《 ，4.3？。.2  薄膜晶【体管液晶显》示器生产《线有强烈的高技术】特，点，出于企业宣》传、职工培训—、接待客户或政府】主管部门考察等各】种，需要在生产区边【缘设：置一：。定的与生产区隔离】的参观设施是—适宜的这样》既可以避免生产【。线，外人员对《生产环境和生—产秩序的《干扰也可以更好【地，展示企？业形象和《。高科技？生，产的特点参观设【施的设置方式—和，位置则宜结合—具体生产线布—置，。形式和整体人—流设计？。方案确定 ！ 4.3.3  薄！膜晶：体，管液晶显示器—面板：生产(特别是高世代！生产线)物料消耗量！大对连续生》产，的要求高在厂区(或！厂房)内《设置：相应的库房是完全必！要的 ？    】 1  薄膜晶体管！液，。晶显示器面板生产】中，所用原、辅》材料种类《繁多其中既有—火灾危？险，性，很低的戊类》物品如？玻璃基板等也包【含有强烈腐》蚀或火灾(爆炸)】危险的化《。学危：险品如磷酸》、丙酮等《还有一？。些原材料是需要低】温或干？燥保存的(》如光刻胶等》)因：此除：应根据？现行国？家标：准建筑？设计防火规范GB】 ，50016的有关规！定合理划分不—同火灾危《险性的仓库类型外还！应根据？物料的物《理化学特性》、存储环境要求【等适当分类》设，置 《    — 薄膜晶体管液晶】显示器工艺》。。生产：中使用的原、—辅材料(特别是【化学品？)种类众多不—同，的，建设单位《选择的工艺》。技术：路线不同《其所使用的原、辅材！料也不相同且常【常随着产品和工艺】技，术的发展《出现更新和》变化在确定主—要原：、辅材料的安全特性！。时设计人员应以有关！。化学品供应商提供的！化学品安全》技术说明《书(SDS)为【设计依据 ！     2  】薄膜晶体管液—晶显示器面板—生，产所需？。的大部分物》料包装单元》尺寸大、重》量重且物品》价值高厂外运输多】采用大型《。货运汽？车运：输厂：。内装卸劳动量大为】提高装卸效率、保】障装：卸作：业，安全：站台的设置是必要的！ 4.】。3.：4  当核心生【产区设有技术夹【层时该区《。域通常布置有—主生产设《备的附属《和支持设备如真【空泵、？特种气体柜》、有毒？废气处理装》置、光刻胶回—收装置？等；另外技》术夹层通常安装有大！。量动力供应管线、】阀门和控制装置【等因此为上述设备】和管线、装置等【留出一定的检—修空间和搬运通道】是十分必要的 】