《4.3  》工，艺区划 】 4.3.【1  本条规—定，了核心生产》区域内工艺区划【的，原则： — ，  ： 1 ？ 随着薄膜》晶，。体管液晶《显示器生《产技术的发展—玻璃基板的尺寸越来！越大生产线的经【济规模也有增—加因此核心生产区】域的面积也越来【越大以产能为—60：K(大片)／—月的6代线为例【其阵列工序》段的：核心生产区域的面】积已：达35000—m2而8.》5代：线则：更是达到了750】00m2而且近【年来：产业集成度的提【高也使得《高，世代薄膜晶体管液】晶显示器生产—线多采取阵列、【彩，膜、成盒及模—组，4个工艺《段集成在一个厂区的！建设方案这更是【加大了薄膜》晶体管液晶显—示器工厂《的面积需求在如【此大的面积》。需求下如果仍采取单！。层平铺的方式布置无！论从节约用地还是平！面运输距离的角度考！虑都是不太》适宜的而且从近年来！国内多个项目的工】程实践来看叠层布】置的方式在防—微震设计等技术方】面是：可行的 】 ，    2 — ，薄膜晶体管液晶显】示器生产设》备对生产环境—要求很高但其中【某，。些设备自身》也会产生诸如—振动、电《磁辐射？、热辐射和》空气悬浮粒》子污：染等不利的影—响，常见的设备及其【不利影响包括S【to：cker(Stoc！ker是薄膜晶【体管液？晶显示器行业专用】术语是一种》自动化立体》仓库)中堆垛机(C！rane)产生的】振动、化学气相沉】积机(CV》D)产生的热辐【射和其高频电源产】生的射频辐》射、湿法刻蚀机【。产生的酸《性气体等因此在【确定工艺区划时应尽！。量避免此类设备对】敏感设备(如光刻】特别是曝光机)的不！利影响 》 ：   《  3  薄—。膜晶体管《液晶显示器面—板生：产中的产《。品基本采用》专用的搬运器—具和：设备进行搬运搬运器！具的体积和搬运【。。。批量较大(批量生】产时)？而，薄膜晶体管液晶显示！器面板生产区的人】流则具有人员—多、特定时间段【人流密度大(如交】接班期间《)的特点将人员【和物料入(出)口】分，别设置可以避—免人、物流混杂交】错带来？的安全事故隐患提高！生产：效，率同时减《少对生产区内洁净】环境的不利》影响 《 ，    —。 由于人身净—化流程？的需要生产区人员】出、入口《一，般为合并设置—(除应急疏散出【口外)；物料的出、！。。入口则根《据生产线布置的整】体物流路径》一般采？取分散设置的方式】对于使用原材料种】类，。较多的模组工艺段】还可以根《据生产？线布置在《所需不同原材—料的特？定位置？附近设置多个原【材料入口 —  》 ，  4  》薄膜晶？体，管液晶显示》器生产线设备众多绝！大部：分设：备精密度高、价格】昂贵对？搬运过？程，。中的：安全和振动控—制等要求很高；另】外工艺设备安装通】常，在洁净室施工—基本完成且投入【正常运行后方—可进行因此在工艺区！划和设？备布置时《应规划？出，空间足够的设备【搬入：通道以及连接厂【房内、外的》设，备搬入？。口，由于薄膜晶体管【液晶显示器》面板生产线(—特别是？阵列和？彩色滤光片》工，艺段)所用》。洁净室常采用上、】下技术夹层空—调净化方式核心【生产区工《。作平面(设备安【装平面)大大高【于室外地《坪此：。时设备搬入口即成为！设备吊装入口为方便！吊，装，需要在设备搬入口设！置吊装搬入平台在】近年的？薄膜：晶体管液晶显示器工！厂建设工《程实：践，经验中吊装搬入平台！。基本分为移动式(】临时性)《和，固，定式(永久》性)两种移动式平】台，通常由设备》。搬入专业公司提供并！安装(在工》程设计中需考虑【提供适当的室—外基础)在设—备搬入完成后—即予以拆《除固定式则作为生产！厂，房的附属部分在工程！设计中？。统一：考虑并设计施—工完成？在设备搬入完成【后可永久保》留以便供今后设备搬！入(移？出)：。时使用固定式吊【装搬入平台也—可分为落地式—和外挑式2种— 》     吊—装搬入平台形—式的选择一般—需根据建设单位和】设备搬入《专业公司的使用要求！、搬入技《术条件、场地条件等！因素：综合确定 — ， ，     5【  薄膜晶》体管液晶《显示器面板》。生产：工艺步骤多、—。流程长具有多—重工序加工循环、】重入的特点当采【用工序？。集中布置时同一类】型的工艺设备相【对集：中地布置在同一区域！内，有利于生产调度和】。。设，。备负荷调整易于现】场操作？和设备？调整而且《由于区域《内生产环境要—求基：本一致？动力供应和各类【排放的品种、—性质相？近、：负荷集中更易于【进行环境的控制【和调整有利》于管道布置对于【节能降？。耗也有很大》帮助  ！   从行业实【践的经验看薄膜晶】体管：液晶显示器面板【生产的核心》区，基，。本，采取了工序集中布】。置，的方式以阵》列段为例核》心生产区通常—分，为薄膜区、光刻【区、湿法刻蚀区【、干：法刻蚀区《和测试？检测区等《。分别将化学气相【沉积机／溅射机【(CVD／S—。putte》r)、？涂胶／曝《光／显影《。、湿法刻《蚀，机、：干法刻蚀机、缺陷检！查，机等集中布》置在上述区域从而便！于集：中设置所《需的：生产：环境和动力供应设】施如黄光照明—、，不同等级的洁—净，。空调和废《水排水设施等；同时！也可以很大程—度地避免化学气相】沉，积机／溅射》机、湿？法刻蚀机等所产生】的空气污《。染和设备发热对光】刻，与检测工艺》(设备)的不—利影响 — ？。4.3.2  【薄膜晶体《管液：晶显示器生产线【。有，强烈的高技术特点】出于企业宣传、职工！培训、接待客户或政！府，主，管，部，门考察等各》。种需要在生产区边】缘设置一定》的与生产区隔离的参！观设施是《适宜的这样既可以】避，免生：产线外人员》对生产环境和生产秩！。序的干扰也可—以更好地展》示，企，业形象和高科技生产！的特点参观》设施的设置》方式和位置》则宜结合具》体生产线《布，置形式和整体人流设！计方案？确定 ？ 4.3】.3  薄膜晶体】管液晶显示器面板生！产(：特别是高《世，代生产线)物—料消耗？量大对连《续生产的要求高在】厂区：。(或厂房)内设【置相：应的库房是》完全必要的 】  《   1  薄膜】晶体管？液晶显示器面—板生产？中所用原、》辅材料种类繁多【其中既有火灾危险】。性很低的戊》类物品如玻璃—基板等也包含—有强烈腐蚀》或，火灾(爆炸)危险】的化学危险品如磷酸！、，丙酮等还有》一些原材料是—。需要：。。低温或干燥保存的】(如光？刻胶等？)，因此：除应根据现行国家】标准建筑设计防火】规范GB 500】16的？有关规定合理划分不！同火灾危险性的【仓库类型外还应根据！物料的？物理化学特》性、存储环境—要求等适当分类设置！ ： ，。 ：     薄膜晶体！管液晶显示》。器工艺生产中使【用的：原、辅材料(特别是！化学品？)种类众多不同的】建，设单位选择》的工艺技术》路线不同其所—使用的原《、辅材料也不相【同且常常《随着：。产品和工《艺技术的《。发，展出现更新和—变化：在确定主要原—、辅材料的安全特】性时：设计人员应》以有关？化学品供应》商提供的化学—品安全？技术说明书(SD】S，)为设计依据 】 ， ？   ？ 2  薄》膜晶体管液晶显示】器面板？生产所需《的大部分物料包装单！元尺寸大、重量【重且物品价值高厂】外运输？。多采用大型》货运汽车运》输，厂内装？卸劳动量大为提高装！卸效率、保障装卸】作业安全站台的【。。设置是？必要：的 ？ 4.3.】。4  当《。核心生？产区设有技》术，夹层时该区域—通常布置《有主生产设备—的附属和支持—设，备如真空泵、特种气！体柜、有《毒废气处理》。装置、光刻》胶，回收装置等；另外】技术夹？层通：常安装有大量动【力供应管线、阀【门和控制装置等因此！为，上，述设备和管线—、装置等留》出，一，定的检修空间和【搬运通道是十分【。必要的 》