4.3 】 工艺区划》 》。。。 ， 4？.，3.1  本—条规定了核心—生产区域《内，工艺：区划的原则 【。     】1  随着薄—膜晶体？管液晶显示器—生，产技术？的发展玻璃基—板的尺寸越来越【大生：产线：的经济规模也—有增加因此》核心生产区域的面】积也：越来越大以产能【为6：0K(？大片)／《。月的6代线为—例，其阵列？工，序段的？核，心生产区域》的面积已达》350？00m2而》8，.5代线则更—是达到了《750？00m2而且近年】来产业集成度—的提高也《使得：。高世代薄膜晶体管】液晶显示器》生产线多采取阵列】、彩膜、成盒及模】组4个工艺段集【成在一个厂区的【建设方？案这更是加》大了薄膜晶》体管液晶显示器工厂！的面积需求在如此大！的面积需《求，下如果仍采取—单层：平，铺的方式布置无论】从节约用地》还是平面运》。输距离的角》度考虑都是》不太适宜的而且【从近：年，来，国内多个项目—的工：程，实践来看叠层布置的！方式在防微》震设：计等技术方面是可行！的 ：  —   2《  薄膜晶体管【液晶显？示器生产设》备对生产《。环境要求很高—。但其中某些》设备自身《也，。会产生诸如振动、电！磁，辐射：。。、热辐射和空气悬浮！粒子：污染等不利》的影：响常见的设备及【其不利影响》包括Stoc—ker(St—。。ock？er是薄膜晶—体管液？晶显示器行业—专用术语《是一种自动化立体仓！。库)中堆垛机(【Cran《e)产生《。。。的振动、化学气相沉！积机(C《V，D)产生的热辐射】。和，其高频电源产—。生的射频辐射、湿法！刻蚀机产生的酸性】气体等因《此在确？定工艺区划时应【尽量避免此类—设备对？敏感设备(如光【刻，特别是曝光机)【的不利影响 】 ？    3  薄膜！晶体：管液晶显《示器：面板生产中的产品】基本采用专用的【搬，运器具和设备进行搬！运搬运器《具的体积和搬运批】量较大(批》。量生产时)而薄膜】晶，体管液晶显示—器面板生产区的【人流则具有》人员多、特定时【间段人流密》度大(如交》接班期间《。)的特点《将人员和物料入【(出)口分别设置可！以避免？人、物流混杂—交错：带来的安全事故【隐患提高生产效率同！时减：少对生产区内洁【净，环境的不利影响【。 —。    由于人身净！。化流程？。的需要生产区人【员出、入口》一，般为：合并设？置(除应《急疏散出口》外)；物料的出、入！口则根据生》产线：布置的整《体，物流：路径一般采取分散设！置的方式对于使用原！材料种类较多的模】组工艺段还可—以根据？生产线布《。置在所需不同原材】料，的特定位《置附近设置》多个原材料入口 】    】 ，。4  薄膜晶体管液！晶显示器生产—线设备众多》绝大部分设备精【密度：高、价格昂》贵对搬运过程—中的安全《和振：动控制等要》求很高；另》外工艺设备安装通】。常在：洁，净室施工基本完【成且投入正常运【行后方可进行—因此在工艺区划和设！备布置时应规划出】空，间足够的设备搬入】通道以及《连接厂房内、—外的设备搬》入口：由，于薄膜晶体》管，液晶显示器》面板生产《线(特别是》阵列和？彩色滤光片》。工艺段)所用洁净】室常采用上、—下技术夹层空调【净化方式核心生产】区工作平面(设【备安：装平面)《大大高于室》外，地坪此时设备搬入】口即成为设备—吊装入口为方便吊装！需要在设备搬—入口设置吊装搬入平！台在近年的薄—膜晶体管液晶显【示，器工厂建设工程实践！经验中？吊装搬入平台基本分！为，移动：式(临时性)和固定！式，(永久性)两种移动！式平台通《常，由设备？搬入专业公司提【。供并安装(在工程设！计中需考《虑提供适当》的室：外基础？)，。在设备搬入完成【后即：予以拆除固》定式则作为生产【厂房的？附属部？分在工程设计中【统一考虑并设计施】工完：成在设备搬》入完成后可》永久保留《以便供今后设备【搬入：(移出)时》。使用固定式》吊装搬入平台也可】分为落地式和—外挑式2种 — 》    吊装搬入】平台：。形，式的选择一般需【。根据建设单位和设】备，搬入专业《公司的？使用要求、搬—入技术条件》、场地条件等—因素综？合确定 【     5【 ， 薄膜晶体管液【晶显示器面板生产】工艺：步骤多？、流程长具有多【重工序加工循环、】重入的特点》当采用工序集中布】置时同一类型的工艺！设备相对集中地【布置在？同一区域《内有利于生产调度和！设备负？荷调整易于现场【操作和设备》调整而且由》于区域内生产环境要！求基本一致动力供应！和各类排放》的品种、性》质相近、负》荷集中？更易于进行环境的控！制和调整有利—于管道布置对于节】能，降耗也有很大帮助 ！     ！。从行业实践的经验看！薄膜晶体管液晶显】示器面？板生产的《核，心区基本采取了【工序集中《布置：的，方式以阵《列段为例核》心生产？区通常分为薄膜区】、光：刻区、湿《法刻蚀区、干法【刻蚀区和《测试检测区等分别将！化学气相沉积机／】。溅，射机(C《VD／Sput【te：r)、涂胶／—曝，光／显影、》湿法刻？蚀机、干法刻—蚀机、缺陷检查机】等集中布置在—上述区域从》而便于集中设置所需！的生产环境和动力】供应设施如黄光照】明、不同等》。级的洁净空》调和：。。废水排？水设施等；同时【也可以很大》程度地避免化学气相！沉积：机／溅射机、湿【。法刻蚀机《等所产生的空气污染！和设备？发，。热对光刻与检测工】艺(设备)的不利影！响 《。 ， 4.3.2【  薄膜晶体管液晶！显，示，器生产线有强—烈的：高技术特点出于【企业宣传、职工培训！、接待？客户或政府主管部门！考察等各《种需要在生产区边缘！设置一定的与生【产区隔离的参观设】施是适宜的这样【既可以避免生产线】外人员对生产环境和！生产秩序的干扰也】可以更好地展—示企：业形：象和高？科技生产《的特点参观》设施的设置方式和】位置则宜结合具【体生产线《布置形式《和整体人流》。设计方案确定 ！ ？4.3.《3  薄膜晶体管液！晶显示器面板生【产(：特别是高世代生产】线)物料消耗量大对！连续生产的要求【高在厂区(》或厂房)内设置相】。应的库房是完全必】要的 【     》1  薄膜》晶，体管液晶《显示器面《板生：产中所用原、辅材料！种，类繁多其中既有火】灾危险性很低的【戊类物品如玻璃基】板等也？包含有强烈》腐蚀或火灾(—爆炸：)危险的化学危险】品如磷酸、丙酮【等还：有一些原《材料：。。是需要低《温或干燥保存的【(，如光刻胶《。等)因此除应根据现！。行，国家标准《建筑：设计防火《规范GB 50【016的有关规定合！理划分？不同火灾危》险性的仓库类型外还！。应根：据，物料的物理化学【特性、存储》环境要求等适当【。分类设置《  【 ，  薄膜晶体—管液晶显示器工艺】生产中使用的原【、辅材料(》特别是化学品—)种类众多不—同的建设单位—选择的工《。艺技术？路线不？同其所使用的原、辅！材，料也不相同且常常随！。着产品和工艺技【术的发？展出现更新和—变化在确定主要原】、辅材料的安全【特性时设计人员【应以有关化学品供应！商提供？的化学品安全技【术，说，明，书(：SDS)为》设计依据 【     【2  薄膜晶—体管液晶显示—器面板生产所需的】大部：分物：料包装？单元尺寸大、重量】重且物品价值—高厂外运输多采用】。大型货运《汽车：运，输厂内装卸》。。劳，动量大为提高装【卸效率、保障装卸】作业安？全站台？的设置是必》要的 4！.3.4《  当核心生产【区设有技《术夹层时该区域通常！布置有？主生产设《备的附属《和支持？设备如真空泵、特种！气体柜？、有毒废气处—理装置、光刻胶【回收装？置等；？另外技术夹层—通常安装有大量【动力供？应管线、《。阀门和控制装置等因！此为上述设备和【管线：、装置等留出—一定：的，检，。修空间和搬运通道是！十分必要的》 ：