4.—3  工艺》区划 《 ， 4.【3.1  本—条规定了核心—生产区域《内工艺区划》的原则？ ，。 《     1  随！着薄膜晶体管液晶】显示器生产技术【的发展玻璃基—。板的尺寸越来越大】生产线的经济规【模，也有增加《因此核心《生产区域的面积也越！来越大以产能为60！K(大片)／月的6！代线为例其阵列【工序段的核心生【产区域的面积已达】。35000m2而】8.5代线则更是】达到了75000m！2而且近《年来产业集成度【的提高也使得—高世代薄膜晶体管液！晶显示器生产线【多采取阵《列，、彩膜、《成盒及模组4个工艺！段集成在一》。个厂区的建设方案】这更是加大》。了薄膜？晶体管液晶显—示器工厂的面积【需求在如此大的面积！需求下如果仍采【取单层平《铺的方式布》置无论？从，。节约用地《还，是平面运输距离【的角度考虑都是不太！适宜的而且从近年】来国内多个》项目的工程》实践来看叠》层布置？。的方式在防微震设计！等技：术，方面是可行的 】     2！  薄膜晶体—管液晶显示器生【产设：备对：生产环境要求很高】但其中某《些，设备自身《也会产生诸如振动、！电磁辐射《。。。。、热辐？射和空气《悬，浮粒子污染等—不利的影响》常见的设备》及其不利影》响包括Sto—ck：er(Sto—cke？。r是薄膜《晶体管液晶》显示器行《。业，专用术语是》一种自动化立体仓库！。)，中堆垛机(Cr【ane？)，产生：的振动、化》学气相？沉积机(CVD【)产生的热辐射【和其高频电》源产生的射频辐【射、湿法《刻蚀机产《生的酸性气》。体等因此在确—定工艺区划时应尽】量避免此类》设备对敏感设—备(如？光刻特？别是曝光机)的不利！影响 》    — 3  薄膜晶体】管液晶显示器面板】。生产中的产》品基本采用专用的搬！运器具和设备进行搬！运搬运？器具的体积》和，。搬运批量较大(批】量生产时)》。。而薄膜？晶体管液晶显示器面！板生：产区的人流则具有】人员多、特定时间】段人流密度大—(如交接班期间)】的特点将人员和物】料入(出)》口分别设置可以避】免人、物流》混杂交错带来的安】全，事故隐患提》高生产效率同时减】少对生产区内—洁净环境的不—利，影响：  【  ： 由于人《身净化流程》的需要生产区人【员出、入口一般【为合并设置(除应】急，疏，散出口？外)；物《料的出、入口—则根据生《产线布置的》整体物流路径一般】采取：分散设置的方—式，对于使用原》材，料种类较多的模组】工艺段还可以根【据生产线布置在所需！不同：原，。材，料的特定位置附【近设置多个原材【料入口 —   》  4？  薄膜晶体管【液晶显？示器生？产线设备众多绝【大部分设备精密度高！、价格昂《贵对搬运《。。过程中的《安全和振动控—制等要求很》高，；，。另外：工艺设？备安装？通常：在洁净室施》工，。基本完成《且投入正常运行后方！可进行？因，此在工？艺区划和设备布【置时应规划出—。空间足？够的设备搬》入通道以及连接厂】。房内、外的设备搬入！口，由于：。薄膜：晶，体管液晶显示—器面板生《。产线(？。特别是？阵，。列和彩色滤光片工艺！段)所用洁净室常】采用上、《下技术夹《层空调？。净化：方式核心生产—区工作平面(设备】安装平？面)大大《高于室外地坪此时】。设备搬入口即成【为设备吊《装入口为方便吊装需！。要，在设备搬入口设【。置，吊装搬入平台在近年！。的薄：。膜，晶体管液晶显示器】工厂建设工程—实践经验中吊装搬入！平，台基本分为移动式(！临时性)和固定式(！永久性)两种移动式！平台通？常由设备搬入专【业公司提供并安【装(在工程设—计中需考虑提供适当！的，室外基础)在设备】搬入完成后即予【以拆：除固：定式则作为生产厂】房的附属部分—在工程？。设计中统一考虑并设！。计，施工：完成在设备搬入完】成后可永久保—。留以便供今后设备】搬入(移出)时使用！固定式吊装搬入平】台，也可分为《落地：式，和外挑式2种—  【   吊装搬入【平台形式《的选择一《般需根据建设单位和！设备搬入专业公【司的使用要求、搬入！技术条件、场—地条：件，。等因素综合确定 ！ ？     5  薄！膜晶体管液晶显【示，器面板生产工—艺步骤多、流—。程长具有多重工序加！工循环、重入—的特点当采用工序】集中布置时同一类】。型的：工艺设备相对集中】地布置在同》一区域内有利于【生产调度和设备负荷！调整易于现》场操作和《设备调整而且由于】区域内生产环—境，要求基本一》致动力供《应和各类《排放：的品种、《性质相？近、负荷集中更易于！进行环境《的控制和调整有利】。于管道布置对于节】能降耗也有很大【帮助 【     从行业实！践的：经验看薄膜晶体【管液晶显示》器面板生产的核【心，区基：本采取了工序集中布！置的方式以阵列段】为例核心生产区通】常分为？薄，。膜区：、光：刻区、湿法刻蚀【区、干法刻蚀区【和测试检测区等【分别：将化：学，气相沉？积机：／溅射机(C—VD／？Sp：utter)、【涂胶／曝光／显影、！湿，。法刻蚀机、干法刻】蚀机：、缺陷检查》。机等集中布》置在上述区》域，。从而便于集中设【置所需的生产—环境和？动，力供应设施如—黄光照明、》。。不同等？。级的洁净空调和【废水排水设施—。等；同？时也可以很大—程度地避《免化学气相沉—积机／溅射》机、湿法刻蚀机等所！产，生，的空气污染》和设备发《热对光？刻与检测工艺(设】备)的不利影响 】。 ， 4.—。3.2  薄—膜晶体管液晶—显示器生产线—有强烈的高技术【特点出于企业宣传、！职工培训、》接待客户或政府主管！部门考察等各种需要！在生产区边缘设【置一定的与生产【区隔离的参》观设施？是适宜的这样既可】以避免生产线—外人：员对生产《环境和生产秩序的干！扰也可以更》好地展示企》。业形象和《。高科技生产》的特点参观设施的设！置方式和位置则宜】结合：具，。体生产？线布置形式和整体】人流设计方》案确定 】 4.？3.3？  薄膜《。。晶体管？液晶显？。示器面板生》产(特别是高—世代生产线)物【料消：耗量大对连》续生产的要求高【在厂区(或厂—房)内设置相应的】库，房是完？全必要的 】   《  1  薄—膜晶体管液晶—显示器面板生—产中所用原》、，辅材料种类繁—多其中既有火灾危】险性很低的戊类【物品如？玻璃基板等也包含有！强烈腐蚀或火—灾(爆炸)危险的化！学，危险品如磷酸—。、丙酮等还》有，一，些原材料《是需要低温或—干，燥保存的(》如光刻胶《等)因此除应根【据现：行国家？标准建？筑，设计防火规》范GB？ 50016的有】。关规定合理划分不同！。火灾：危险性的仓库—类型外还应根—据物料的物理化学特！性、存储环境要求等！适当分类《设置 《   —  薄膜晶体管【液晶显示器工—。艺生产中使用的原】。、辅材料(特别是化！学品)种类众多【不，同的建设单位—选择的工艺技术路线！不同其所使用的原】、辅：材料也？不，相同：且常常随着产品和】工艺：技术的发展出现更】新和：变化在确定主要【原，。。、辅材料的》安全特性时设计人员！应，以有关？化学品？供应商提供的化学】品安：全技：术说明书(SDS)！为，设计依据 》   【  2  薄膜晶】体管液晶显示器【面板生产《所需：的大部分《物料包装《单元尺寸《大、重量重且—物品价值高厂外运输！多，采用大型货运—汽车运输厂内装【卸，劳动量大《为提高装卸效率、】保障装卸作业—。安全：站台的设置是必【要的 《 4.—3.4  》当核心生《产区设有技术夹层】时该区域通常布置有！主生产设备》的附属？和支：持设备如《真空泵、特种气【体柜、有毒废气处理！。装置、光刻胶回收】装置等？；另外？技，术夹层通常安装有】大量动力供》应管线、阀门和【控制：装置等因此为上【述设备？和，管线、装《置等留？出一定？的，检修空间和搬运通】。道是十分必要—的， ：