4.3 】 ，工艺：区划 《。 ？ ： ，4.：3.1  本条【规定了核《心生产区《域内工？艺区划的原则—   】  1  随着【薄膜晶体管液晶显】示器生产技术的发展！玻璃基？板的尺寸《越来越大生产线【。的经济？规模：也有增加因》此核心生产区—域的面积《也越：来越大以产》能为60K(大【片)／月的6代【线为例其阵列—工序段的《核心生产区域的面积！已达35000m2！。而8.？5代线则更是—达到了750—00m2而且近年来！产业集成度的提高也！使得高世《代薄膜晶《体管液晶显示器生产！线多采取阵》列、彩膜、成盒及模！组4个？工艺段集成在一个】厂区的建《设方：案这：更是加大了薄膜【晶，体管液晶显示—器，工厂的面积需求在】如此大的面积需求】下如果仍采取单层平！铺的方式布置无论从！节约用？地还是平面运输距离！的角度考虑都是不太！适宜的而且从—近年来国内》多个项目的工程实践！来看叠层布置的方】。式在防？微震设计等技术【方面是可行的 】 《 ，   ？2  薄《膜晶体管《液晶：显示器生产》设备对生《产环境要求很高【但其中某些设—备自身？也会产生诸》如振动、电磁辐射】、热：辐射和空气》。悬浮粒子《污染等不利的影【响常见的设备及其】。不，利影响？包括Stock【er(？。Stocker是薄！膜晶体管液晶显示】器行业专用术语是一！种自动化立体仓库)！中堆垛机(C—rane)产生的】振动、化学气相沉积！机，(CVD)》产生的热辐射和【。其高频？电源产生的射频【辐，射、湿法刻蚀机产】生的酸？性气体等《因此：在确定？工艺区划时应尽量避！免此类？设，备对敏？感设备(如光刻特别！是曝光机)的不利影！响 《 ？    3》  薄膜晶体—管液晶显示器—面，板生产中《。的产品？基本采用《专用的？搬运器具和》设备进行《。搬运搬运器具的体】积和搬？运批量较《大(：批量生产时》)而薄膜《晶体管液晶显—示器面板生产区【的人流则具》有人员多、特定时间！段人流密度大(【如交接班期间)【。的特点将《人员和？物料入(出)—口分别设置可以避】免人、物流》混杂交错带来的安全！。事故：隐患提高《生产效？率同时减《少对生产区内洁净环！境的不利影》响 —   ？  由？于人身净化流程【的需要生《产区人员出、入口】一般为合并设置(除！应急：疏散出口《外)；物料的—出、入口则根据生】产线布置的整体物流！路径一般采取分散】设置的方式》对于：使用原材料种—类较多的模组工【艺段还可以根—据生产线布置在所需！不同原材料的特定】位，置附近设置多个原材！料入口 【     4【  薄膜晶体—管液晶显示器生产】线设备众多》绝大部？分设备精密度高【、价格？昂贵对搬运过程中的！。安全和？振动控制等要求很高！；另外工艺设备【安装通？常在洁？净室施工基本完成】且投入正《常运行后方可进行因！此在工艺区划和设】备布置时应规划【出空间足够的设备搬！入通道以及连—接厂房内、外的【设备搬入口由于薄】膜晶体管液晶显【示器面板《生产线(特别是阵】列和彩色滤光—片工艺段)所用【洁净室常采用上【、下技术夹》。层空调净《化方式核心生产【区工作平面(—设备安装平面—。)大大高于室—外地：坪此时设备搬—入口即成《为，设备吊装入口为【方便吊装需要在设】备搬入口设置—吊装搬入平台在近】年的薄膜晶体管液】晶显示器工厂建设】工程：实践经验中吊装搬入！平，。。台基本？。。分为移动式(临时性！)和固定式(永【久，性，)两种移动》式，平台通常由》设，备搬入专《业公：司提供并安》。装(在工程设计【中需考虑提供适【当的室外基础)【在设备搬入完成后】即予以拆除固—定式：则作为？生产厂房的附属【部分在工程设计中统！一考虑并设计施工】完成：在设备搬入完成后】可永久保留》以便供今后设备搬入！(移出？)时使用固定式【吊装搬入平台—也可分为落》地式和外挑式2种 ！。  —   吊装》搬入平台形式—的选：择一般需根》据，。建设单？位和设备搬》入专业公司》的使用要《求、搬？入技术？条件、场地条件等】因，素综合确定》 ， ？  ？   5  薄膜】。晶体：管，液，晶显示器面》板生：产工艺步骤》多、流程长具—有多重工序加工循】环、重入的特点当】采用工序集》中布置时同一类型的！工艺：设备相对《集中地？布，置，在同一区《域内有？利于生产调》度，和设备负荷调整易于！现，场操作和《设备调整《而且由于区域内生产！环境要求《基本一致动力供【应和各类排放的【品种、性质相近、】负荷集中更易—于进：行，环，。境的控制《和调整？有利于管《道布置对于节能【降耗：也有很大帮助— 《    》 从行业实践的【经验看薄膜晶体管液！晶显示器《。面板生产的核心区基！本采取了《工序集中布置的方式！以阵列？段为例核心生—产区通常分为薄膜区！、光刻区、湿法刻】蚀区、干法刻蚀【。。区和测试检测区【等分别将化学—气相沉积机》／溅射机(CV【D／Sputt【er)、涂胶／曝】。光／：显影：、湿法刻蚀机、干】法，刻蚀机？、缺陷检查机等集】中布置在上述区【域从而便于集—中设置所需的生【。产环境和动力供应】设施如黄光照—明、不同《等级的？洁净空调和》。废水排水设施等；同！时也可以很》大程：度地避免化学气【相沉积机《／溅射机、湿法刻蚀！机等所？产生：的空气污《染和设备发热对光刻！与检测？工艺(设备)—的不利影响 】 ： 4.3《.2  薄膜晶体】管液晶显示器—生产线有强》烈的高技术》特点出于企业—宣传、职工培—训、接待客户或政】府主管部门》考察等各种需—要，在生产区边缘设【置一定的与生产区隔！离的参观设施是适宜！的这样既可以避免生！。产线外人员对—生产环境和生—产秩：序的干扰也可—以更好地展示—企业：形象和高《。科技生产的》特点：参观设施的设置方式！和位置则宜》结合具体生产线【布置形式《和整体人《流，设计方案确定 】 4》.3.3 》 薄膜晶体管液晶显！。示器面板生产(特】别是高世代生产线】)物料消耗量大对】连续生产《。的要求高在厂区(或！厂房)内设置—相应的库房》是完全必要的 【     ！1  ？薄膜晶？体管液晶《显示：器面板生产中—所用原、《辅，材料种类繁》多其：中既有火《灾危险性很》低的戊类物品如玻璃！基板：等也包含有强—烈，腐，蚀，或，。火灾(爆炸)危险】的化学危《险品如？磷酸、丙酮等还有一！些原材料是需要低温！或干燥保存的(【如光刻胶等)因此】除应根？据现：行国家标准建—筑设：计防火规范GB 】5001《6的有关规定合理】划分不？同火灾危险性—的，仓库：类，型外还应根据物【料的物理化学—特性、存储环—境要求等适当分类设！置 ： 》    薄》膜晶体管液晶显示器！工艺生产中》使用：的原：、辅材料(特别是】化学品)种类众多】不同的建设》单位选择《的工艺技术路线不】同其所使用》的原、辅材料也不相！同且常？常随着产品》和工艺技《术的发展出现更新】和，变化在确定主要原、！辅材料的安全特性时！。设计人员应以—。有，关化学品供应商提供！的化学品安全技术说！明书(SDS)为设！计依据 】。   ？  2 《 薄：膜晶体管《。液晶显？示器面板《生产所需的大部分】物料：。包装单元尺寸大、重！量重且物品价值【高厂外？运输：多采用大型货运汽车！运输厂内装卸劳动量！大为提高装卸效率】、保障装卸作—业安全站台的设置】是必要的 【 4.3—.4  当核心生产！区设有技《术夹层时该区—。域通：常布置有主生产设备！的附属和《支持设备如真空泵】、特种气体柜—、有：毒废气？处理装置、光刻胶回！收装置等；另外技】术夹：。层通常安装有—。大量动力供应管线】、阀门和控制装置等！。因此为上述设—备和管线、》。。装置：等留出一定的—检修空？间，和，搬，运通道？。是，十分必？要的 ？ ，