， 4.3 【 工艺？区划 】 4.《3.1 《 本条规《定了核心生产—区域内工艺区划的原！则   ！  1  随—着薄膜晶体管液【晶显：示器生产技术的发展！玻璃基板的尺寸【越来越？大生：产线：的，经济规模也有—。增加因此核心生产】区域的？面，积也越来越大以产能！为60K(大片)】／月的6代线为例】其阵列工序段的核】心生产区《域的面？积已达35》000m2而—8，.5代线则》更是达？到了：75000m2【。而且近年来产业【集，成度的提高也—使得高世代薄膜晶】体管液晶《显示器生产线多采取！。阵列、彩膜、成盒】及，模，组4：个工艺？段集成在一个厂区的！。建设方？案这：更是加大《了薄：膜晶体管《液晶：显示器工厂的面积】需求在如此》大的面积需求—下如果仍采》取单：层平铺的方式—布置无？论从节约用地还是平！面运输距离的—角度考虑都是—不太适宜的》而且从近年》来国内多个》项目：的工程实《。。践来：看叠层布《置的方？。式，在防微震设计等【技术方面是可—行的 —。   《  2 《 薄：膜晶体管液晶显示】器，。生产设备对生产【环境要求《很高：但，其中某些设》。备自身也会》产生诸如振动、电】磁辐射、热》辐，射和：空气悬浮《粒子污染等》不利的影响常见【的设备及其不利【影响包括St—ocker》(St？oc：ke：r是薄膜晶体管液】。晶显：示器行业专用术【语是一种自动化立】体仓库)中堆垛机(！Crane)产生的！振，动，、化学气相沉积机】(CVD)产生【的热辐射和其高频】电源产生的》射频辐射《、湿法刻蚀机产【。生的酸性气体等因此！在确定？工艺区划《时应尽量避免此类设！备对敏感设备—(如光刻特》别是曝光机)的不】利影响 】     3  】薄膜：。晶体管液晶显示器面！板生产？中的产品基本采【用专用的搬运器具和！设备进行搬运搬运器！具的体积和》搬运批量较大(批量！生产：时)而薄膜晶—体管：液晶显示《器面：板生产区的》人，流则具有《人员多、特定时【间段人流密度—大(如？交接班？期间)的特点将人员！。和物料入(出)口分！别设置可以避—免人、物流混—杂交：错带来的安全事故】隐患提？高生产效率》同时：减少：对生产？区内洁净环境的不】利影响 —     由】。于人身净化流程【的需要？生产区人员出、入口！一般为合并设置(】除应急？疏散出口外)—；物：。料的出、入口则根】据生产线布》。置的整体物流路径一！般采取分散设置【的，方式对于使用原材】料，种类较多的》模组工艺段》还可：以根据生产线布置在！所需不同原材料的特！定位置附近设—置，多个原材料入口【。 ， ？。   《  4  薄膜晶】体管液晶显示—器生产线设备—众多绝大部分—。设备精密度高—、价格昂《贵对搬运过程中【的安全和振》。动控：制等要求很高；另】外工艺设备安装通】常在洁净室施工【基，本，完成且投入正常运行！后方可进行》因此在工《艺区划？和，设备布置时应规划】出空：间足够？的设备搬入通道以】。。及连：接厂：房内、外的设备【搬，入口：由，于薄膜晶体管—。液晶显示器面板生】产线(特《别是：阵列和彩色滤光【片工艺段《)所用洁《净室常？采用上、下技术夹层！空调净化方》式核心生产区工作平！面，。(设备安装平面)大！大高于室外地坪此时！设备搬入口》即，成为设备吊装—入口为方便吊装需要！在设备搬入口—设置吊？装搬入平台在近年的！薄膜晶？体管：液晶显示器工厂【建设工程实践经验中！吊装搬入平台—基，本分为移动》式(临时性)和【固定式(永久性)】。两种移动式平—台通：常由设备搬入专【业公司？提供并安装(在【工程设计中需考【虑提供适当的室外】基础)在设备搬入完！成后即予以拆除固定！式则作为生产厂【房的附属部分在工】程设计中统一考【虑并设？计施工完成在设【。备，搬入完？成后可永久保留【以便供今后设—备搬入(移》出)时？使用固定式》吊装：。搬入平台《也，可分为落《地式和外挑式2【种  】  ： 吊装搬入平台形】式的：选择一般需根据【建设单位和设备搬入！专业公司《的使用要求、搬【入技：术条件、场》地条件等因素综【合确定 《   【  5  薄膜晶体！管液晶显示器面【板生产工艺步—。骤多、流程长—具有多重工序加工】。循环、重入的特点当！采用工序《集中布置时同一类】型的工艺设备相【对，集中地？布置在同一区—域，。内有利于生产—调度和设备负荷调】整易于现场操—作和：设，。备调整而且由于【区域内生产环境要】求基本一致动—。力供应？和各类？排放：的品种、性质相近、！负荷集中更易于【进行环境的控制和调！整有：利于管道布置对【于节能降《耗也有很大帮助 】  —   从行业实践的！经验看薄膜晶体管】液晶：显示器面《板生产的核心区【基本采取《了工序？集，中，布置的方《式以阵？列段为？例核心生产区通【常分为薄膜》区、光刻区、—湿，法，刻蚀区、干法—刻蚀区和测试检测】。区等分别将化学气】相沉积机《／溅射机(C—VD／Sp》utter)、【涂胶／曝光／—显影、湿《法，刻蚀机、干法刻蚀】机、缺陷检查机等】集中布置在》上，述区域？从而便于《集中设置所需—。的生产？环境和动力供应设】施如黄？光照明、不同—等级的？洁净空调和废水【排水设施等》；同时也可以—。很大程度地避免化学！气相沉积机》／溅射？。机、湿法刻蚀机【等，。所产生的空》气污染和设备发热】对光刻与检测工【艺(设备)》的不：利影响 【 4.3.2【。  薄膜晶体管液晶！显示：器生：产线：有强烈的高技术特】点，。出于企？业宣传、职工培训、！接待客户或政—府主管部门考察等】各种：需要在？生，产区边缘设置—一，定的与生产区隔离】。的参观设《施是适宜的这样【既，。。。可以避免生产—线外人员《对生产环境和—生产秩序《的干扰也可以—。更好地展示企业形】象和高科技》生，产的：特点参观设施的【设，置方式和《位置：则宜结合具体生【产线布置形式和整】体人流设计方案确定！ ， 《 4.3《.3  薄膜晶体管！液晶显示器面板生】产(特别是高世【代生产线《)，物料消耗量大—对连续生产的—要，求高：。在厂区(或厂房)内！设置相应的库房是】完，全，必要的 》 《    1》  薄膜晶》体管液晶显示—器面板生产中所用】原、辅材料种类繁】多其：中，。既有火灾《危险性很低》的戊类物品如—玻璃基板等》也包：含有强烈腐》蚀或火灾(爆炸【)危险的化学危险品！如磷酸、丙酮—等还有一些原—材，料是需要低温或干】燥保存的(如—光，刻胶等？。)因此？除应根据现行—国家：标，准建筑？设计防火规范GB】。 5：0016的有关【规定合？理划分？不同火灾《危险性的仓》库类型外还》应根据物料》的物理化学特性【、存储环境要求【等适当分类设置【    ！ 薄膜晶体管—液晶显示器工艺生产！中，使用的原、辅材料(！特别是化学品)【种类：众多不同的建设单位！选，择的工艺《。技术路线不同其【所使用的原、辅【材料也？不相：同且常常随着—产品和工《艺，技术的发展出现更新！。和变化在确定主【要原、辅材》料的安全特》性时设计《人员应以有关化学】品供应商提供的化学！品安：全技术？说明书(《。S，DS)为《设，计依据 ！  ：  2  薄膜【。晶体：管液晶显示器面【板生产所需》的大部分物料包装】单元尺？寸大、重量重—且物品价值》高，厂外运输多采用大型！货运汽车运》输厂内装卸劳动量大！为提：高装卸效率、保障】。装卸作？业安全站台的设【置是必要的 【 4.3.4！  当？核，心生产区《设有：技术夹层时该区域通！常布置有《主生产设备的附属和！支持设备如》。真空泵？、特种气体柜—、有毒废气处—理装置、光刻胶回】收，装置等；《另外技术夹》层通：常安装有《大量动？力，供应管？线、阀门和控制装】置等因此为上述设备！和管：线、装置等留出一】定的检修《空间和？搬，运通道是十》。分必要的 —